技术特征：
1.一种光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，包括：利用基准光源对拍摄模组进行平场校正；获取由拍摄模组对光学系统的曝光面拍摄生成的灰度分布图像；将所述灰度分布图像分割为包含多个分割区域的网格图像，并计算每一分割区域的拟合灰度值；在计算得到的所有拟合灰度值中选取最小拟合灰度值作为基准灰度值，并根据所述基准灰度值计算其他分割区域对应的灰度补偿系数，以生成得到数字掩膜；利用所述数字掩膜对光学系统发出的投光图像进行掩膜补偿，得到曝光面具备均匀辐照度值的打印图像。2.根据权利要求1所述的光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，所述利用基准光源对拍摄模组进行平场校正，包括：基准光源根据预设灰度值，投影出具备均匀辐照度值的曝光面；拍摄模组对基准光源的曝光面拍摄，得到基准光源图像；根据所述基准光源图像，获取感光芯片中各像素单元的灰度输出值，将基准光源的预设灰度值和各像素单元的灰度输出值对比，得到各像素单元的灰度校正系数；根据各像素单元的灰度校正系数对拍摄模组进行平场校正。3.根据权利要求2所述的光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，所拍摄模组对基准光源的曝光面拍摄，得到基准光源图像，包括：基于基准光源的曝光面尺寸，将拍摄模组的取像面划分为若干个取像子区域；移动基准光源，基准光源分别对各取像子区域投影，得到若干个对应于各取像子区域的基准光源子图像；将所述若干个基准光源子图像拼接，得到所述基准光源图像。4.根据权利要求1所述的光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，还包括：限定所述拍摄模组的曝光量；调节基准光源曝光面的辐照度值，并利用拍摄模组获取对应的灰度值，以此拟合生成灰度与辐照度值的关系曲线；基于所述关系曲线，利用拍摄模组对光学系统发出的投光图像进行灰度读取，得到对应的辐照度值。5.根据权利要求1所述的光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，所述获取由拍摄模组对光学系统的曝光面拍摄生成的灰度分布图像，包括：调节拍摄模组的曝光量，使拍摄得到的灰度分布图像在灰度最大值以下。6.根据权利要求1所述的光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，利用拟合算法计算每一分割区域的拟合灰度值，所述拟合算法为最小二乘法、多项式拟合算法或者三次样条拟合算法。7.根据权利要求1所述的光学系统的曝光面校准方法，其特征在于，所述在计算得到的所有拟合灰度值中选取最小拟合灰度值作为基准灰度值，并根据所述基准灰度值计算其他分割区域对应的灰度补偿系数，以生成得到数字掩膜，包括：将所有拟合灰度值按照对应分割区域的顺序依次标记为p
11
、p
12
、
……
、p
mn
，得到项数为
m*n的的灰度数组；在所述灰度模组中选取最小值p
min
作为最小拟合灰度值，并将最小拟合灰度值与灰度数组中的其他数据进行归一化比值计算，得到一比值矩阵；将所述比值矩阵中包含的比值作为对应的灰度补偿系数，然后将需求图像灰度值与所述比值矩阵中的各比值相乘，得到对应的数字掩膜。8.一种光学系统的曝光面校准装置，其特征在于，包括：平场校正单元，用于利用基准光源对拍摄模组进行平场校正；图像获取单元，用于获取由拍摄模组光学系统的曝光面拍摄生成的灰度分布图像；拟合单元，用于将所述灰度分布图像分割为包含多个分割区域的网格图像，并计算每一分割区域的拟合灰度值；选取单元，用于在计算得到的所有拟合灰度值中选取最小拟合灰度值作为基准灰度值，并根据所述基准灰度值计算其他分割区域对应的灰度补偿系数，以生成得到数字掩膜；掩膜补偿单元，用于利用所述数字掩膜对光学系统发出的投光图像进行掩膜补偿，得到曝光面具备均匀辐照度值的打印图像。9.一种计算机设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任一项所述的光学系统的曝光面校准方法。10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的光学系统的曝光面校准方法。
技术总结
本发明公开了光学系统的曝光面校准方法、装置、计算机设备及存储介质，该方法包括：利用基准光源对拍摄模组进行平场校正；获取由拍摄模组对光学系统的曝光面拍摄生成的灰度分布图像；将所述灰度分布图像分割为包含多个分割区域的网格图像，并计算每一分割区域的拟合灰度值；在计算得到的所有拟合灰度值中选取最小拟合灰度值作为基准灰度值，并根据所述基准灰度值计算其他分割区域对应的灰度补偿系数，以生成得到数字掩膜；利用所述数字掩膜对光学系统发出的投光图像进行掩膜补偿，得到曝光面具备均匀辐照度值的打印图像。本发明通过获取曝光面的像素级分布，并进行灰度值的对应补偿，可提高对于光学系统曝光面的校准精度和校准效率。效率。效率。
技术研发人员：丁鹏 胡骏 曾宏庆 万欣
受保护的技术使用者：广州黑格智造信息科技有限公司
技术研发日：2021.07.22
技术公布日：2021/10/8