线宽识别方法、装置、介质及电子装置与流程

本技术属于量子计算，特别是线宽识别方法、装置、介质及电子装置。

背景技术：

1、随着半导体制程的发展，集成电路元件越来越精密。因此在半导体制程中，掩模或晶圆的细微线路图形的线宽等关键尺寸(criticaldimension，cd)的控制是一个很重要的环节。在制备集成电路元件时，需要对线路图形进行线宽检测，来判断该线路图形是否准确，有无偏移。随着半导体尺寸的缩小，其制程上所能容忍的线宽误差也越来越小，而当前识别线宽的主要方式仍然是人工识别。人工识别的方式极大依赖于人的主观，导致对于同一个线路图形的线宽，不同的人得出的结果不一样，误差较大，对于纳米级别的半导体制程是不可容忍的。因此如何精准的识别线路图形的线宽是一个亟需解决的问题。

2、申请内容

3、本技术的目的是提供一种线路识别方法、装置、介质及电子装置，旨在提高线路图形的线宽的识别准确率。

4、本技术的一个实施例提供了一种线宽识别方法，所述方法包括：

5、获取待识别图片；

6、确定所述待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸，以及所述待识别图片中线路图形的边界之间距离的第一像素数；

7、将所述第一物理尺寸与所述第一像素数的乘积作为所述待识别图片中线路图形的线宽。

8、可选的，所述确定所述待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸，包括：

9、确定所述待识别图片中的标尺，所述标尺的长度为第二像素数；

10、将所述标尺对应的第二物理尺寸与所述第二像素数之商作为所述待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸。

11、可选的，所述确定所述待识别图片中的标尺，包括：

12、若所述待识别图片的类型为第一类型，则确定所述待识别图片中像素值大于或等于第一预设阈值且像素数大于或等于第二预设阈值的第一线段，以及将所述第一线段确定为所述待识别图片中的标尺；

13、若所述待识别图片的类型为第二类型，则确定所述待识别图片中尺寸大于或等于第三预设阈值且像素值大于或等于第四预设阈值的第一矩形；若所述第一矩形的第一数量大于或等于第五预设阈值且沿着第一方向均匀分布，则将所述第一数量的所述第一矩形确定为所述待识别图片中的标尺。

14、可选的，所述边界包括左边界、右边界、上边界和下边界，所述第一像素数包括第一子像素数和第二子像素数；所述确定所述待识别图片中线路图形的边界之间距离的第一像素数，包括：

15、对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片；

16、确定所述中间过程图片中像素值为第一目标值的像素组成的竖线，以及确定所述中间过程图片中像素值为第二目标值的像素组成的横线；

17、基于所述竖线确定左边界和右边界，以及基于所述横线确定上边界和下边界；

18、确定所述左边界和右边界之间距离的第一子像素数，以及确定所述上边界和下边界之间距离的第二子像素数。

19、可选的，所述基于所述竖线确定左边界和右边界，包括：

20、将所述竖线两两之间分别进行配对，得到竖线对；

21、若所述竖线对中存在竖线之间距离满足第一预设范围的第一竖线对，则将所述第一竖线对的其中一条作为左边界，另外一条作为右边界。

22、可选的，所述基于所述横线确定上边界和下边界，包括：

23、将所述横线两两之间分别进行配对，得到横线对；

24、若所述横线对中存在横线之间距离满足第二预设范围的第一横线对，则将所述第一横线对的其中一条作为上边界，另外一条作为下边界。

25、可选的，所述方法还包括：

26、若所述竖线对中不存在竖线之间距离满足第一预设范围的第一竖线对，则降低所述边缘检测操作中的检测阈值，然后执行所述对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片。

27、可选的，所述方法还包括：

28、若所述竖线对中不存在竖线之间距离满足第一预设范围的第一竖线对，则降低所述高斯滤波操作中的高斯内核的宽度和高度，然后执行所述对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片。

29、可选的，所述基于所述竖线确定左边界和右边界，以及基于所述横线确定上边界和下边界之后，所述方法还包括：

30、将所述左边界向左平移第一预设距离得到新的左边界，以及将所述右边界向右平移第二预设距离得到新的右边界，将所述上边界向上平移第三预设距离得到新的上边界，将所述下边界向下平移第四预设距离得到新的下边界；

31、将所述左边界、所述右边界、所述上边界、所述下边界围成的矩形框向外延伸第五预设距离，得到新的矩形框；

32、将所述矩形框在所述待识别图片上框选的部分作为新的待识别图片，然后执行所述对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片。

33、本技术的又一实施例提供了一种线宽识别装置，所述装置包括：

34、获取单元，用于获取待识别图片；

35、确定单元，用于确定所述待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸，以及所述待识别图片中线路图形的边界之间距离的第一像素数；

36、识别单元，用于将所述第一物理尺寸与所述第一像素数的乘积作为所述待识别图片中线路图形的线宽。

37、可选的，在所述确定所述待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸方面，所述确定单元具体用于：

38、确定所述待识别图片中的标尺，所述标尺的长度为第二像素数；

39、将所述标尺对应的第二物理尺寸与所述第二像素数之商作为所述待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸。

40、可选的，在所述确定所述待识别图片中的标尺方面，所述确定单元具体用于：

41、若所述待识别图片的类型为第一类型，则确定所述待识别图片中像素值大于或等于第一预设阈值且像素数大于或等于第二预设阈值的第一线段，以及将所述第一线段确定为所述待识别图片中的标尺；

42、若所述待识别图片的类型为第二类型，则确定所述待识别图片中尺寸大于或等于第三预设阈值且像素值大于或等于第四预设阈值的第一矩形；若所述第一矩形的第一数量大于或等于第五预设阈值且沿着第一方向均匀分布，则将所述第一数量的所述第一矩形确定为所述待识别图片中的标尺。

43、可选的，所述边界包括左边界、右边界、上边界和下边界，所述第一像素数包括第一子像素数和第二子像素数；在所述确定所述待识别图片中线路图形的边界之间距离的第一像素数方面，所述确定单元具体用于：

44、对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片；

45、确定所述中间过程图片中像素值为第一目标值的像素组成的竖线，以及确定所述中间过程图片中像素值为第二目标值的像素组成的横线；

46、基于所述竖线确定左边界和右边界，以及基于所述横线确定上边界和下边界；

47、确定所述左边界和右边界之间距离的第一子像素数，以及确定所述上边界和下边界之间距离的第二子像素数。

48、可选的，在所述基于所述竖线确定左边界和右边界方面，所述确定单元具体用于：

49、将所述竖线两两之间分别进行配对，得到竖线对；

50、若所述竖线对中存在竖线之间距离满足第一预设范围的第一竖线对，则将所述第一竖线对的其中一条作为左边界，另外一条作为右边界。

51、可选的，在所述基于所述横线确定上边界和下边界方面，所述确定单元具体用于:

52、将所述横线两两之间分别进行配对，得到横线对；

53、若所述横线对中存在横线之间距离满足第二预设范围的第一横线对，则将所述第一横线对的其中一条作为上边界，另外一条作为下边界。

54、可选的，所述确定单元还用于：

55、若所述竖线对中不存在竖线之间距离满足第一预设范围的第一竖线对，则降低所述边缘检测操作中的检测阈值，然后执行所述对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片。

56、可选的，所述确定单元还用于：

57、若所述竖线对中不存在竖线之间距离满足第一预设范围的第一竖线对，则降低所述高斯滤波操作中的高斯内核的宽度和高度，然后执行所述对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片。

58、可选的，在所述基于所述竖线确定左边界和右边界，以及基于所述横线确定上边界和下边界之后，所述确定单元还用于：

59、将所述左边界向左平移第一预设距离得到新的左边界，以及将所述右边界向右平移第二预设距离得到新的右边界，将所述上边界向上平移第三预设距离得到新的上边界，将所述下边界向下平移第四预设距离得到新的下边界；

60、将所述左边界、所述右边界、所述上边界、所述下边界围成的矩形框向外延伸第五预设距离，得到新的矩形框；

61、将所述矩形框在所述待识别图片上框选的部分作为新的待识别图片，然后执行所述对所述待识别图片执行归一化、高斯滤波以及边缘检测操作，得到中间过程图片。

62、本技术的又一实施例提供了一种存储介质，所述存储介质中存储有计算机程序，其中，所述计算机程序被设置为运行时执行上述任一项中所述的方法。

63、本技术的又一实施例提供了一种电子装置，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器被设置为运行所述计算机程序以执行上述任一项中所述的方法。

64、与现有技术相比，本技术提供的一种线宽识别方法，将待识别图片中单个像素对应的第一物理尺寸与待识别图片中线路图形的边界之间距离的第一像素数的乘积作为待识别图片中线路图形的线宽，像素为图片中不能再切割的最小单位，它以单一颜色的小格存在，因此将像素作为衡量长度的单位去确定线路图形的线宽更加准确；同时采用机器去确定像素数，不会产生人工统计的数量不一致，导致出现人工误差。

技术实现思路