导电片、触摸传感器以及触摸传感器的制造方法与流程

1.本发明涉及一种导电片、触摸传感器以及触摸传感器的制造方法，特别涉及一种包含网格状的金属细线的导电片、触摸传感器以及触摸传感器的制造方法。


背景技术：

2.以往，作为触摸传感器用的电极，使用在透明基材上形成有网格状的金属细线图案的电极。作为网格的形状，一般使用正方形、菱形或者六边形等铺设多边形的格子形状。但是，这种格子形状有时会与配置在触摸传感器下的显示装置的黑矩阵(black matrix)的周期图案发生干涉而产生莫尔条纹(moire)(条纹状图案)。
3.因此，在专利文献1所记载的导电性网格中，使网格图案不规则化，不易引起因与显示装置的黑矩阵的干涉而产生的莫尔条纹。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本专利特开2014-203664
7.在为了抑制莫尔条纹而将网格的形状设为不规则的图案的情况下，若通过金属细线相交而形成的内角变窄，则有时在交点附近金属细线的宽度变粗，被视觉辨认为眩光。另外，在设为不规则的图案的情况下，如果在同一平面内形成金属细线密集的部位和稀疏的部位，则有时会被视觉辨认为眩光。


技术实现要素：

8.本发明的目的在于提供一种在将网格的形状设为不规则的图案的情况下，抑制眩光、提高视觉辨认性的导电片、触摸传感器以及触摸传感器的制造方法。
9.为了实现上述目的，第一发明具备：透明基材；和多条金属细线，所述多条金属细线在所述透明基材的一个面形成为网格状，所述多条金属细线包括：在透明基材上虚拟地铺设的由正六边形构成的虚拟图案以及反转虚拟图案中形成的n边形(n≧5)；和将该n边形与配置在虚拟图案的各边的第一交点至第六交点连结的六根连结线，虚拟图案被配置为：将其各顶点逆时针旋转地设为第一顶点至第六顶点，将配置在连结第一顶点与第二顶点的边的交点设为第一交点，将配置在虚拟图案的各边的各交点逆时针旋转地设为第二交点至第六交点，第一顶点至第一交点、第一顶点至第六交点、第二顶点至第二交点、第四顶点至第三交点、第四顶点至第四交点、第六顶点至第五交点的距离分别相等，使虚拟图案左右反转的反转虚拟图案被配置为：将其各顶点顺时针旋转地设为第一顶点至第六顶点，将配置在连结第一顶点和第二顶点的边的交点设为第一交点，将配置在反转虚拟图案的各边的各交点顺时针旋转地设为第二交点至第六交点，第一顶点至第一交点、第一顶点至第六交点、第二顶点至第二交点、第四顶点至第三交点、第四顶点至第四交点、第六顶点至第五交点的距离分别相等，虚拟图案与反转虚拟图案以相邻的虚拟图案或者反转虚拟图案的各交点重叠、且由多条金属细线形成的开口区域非周期性地排列的方式铺设，将虚拟图案的一边的
长度设为a，将n边形的一边的长度设为b，将n边形的内角设为θ时，具有
10.150μm≦a≦3000μm
11.a/4≦b≦3a/4
12.90
°
≦θ的关系，(i)n边形为n＝5，连结线中的五根连结n边形的顶点和距该顶点的距离最短的交点，连结线中的一根连结n边形的边和交点，将连结线的长度设为c时，具有a/4≦c≦a/2的关系，或者(ii)n边形为n≧6，连结线连结n边形的顶点和距该顶点的距离最短的交点。
13.第二发明是在第一发明中的导电片中，n边形为n≧6，将连结线的长度设为c时，具有a/4≦c≦a/2的关系。
14.若这样构成，则由于金属细线相交而形成的内角变大，因此能够抑制交点附近的金属细线的宽度变粗。另外，由于铺设n边形和线无偏差地配置的虚拟图案而形成金属细线，因此金属细线被无偏差地配置。由此，能够抑制眩光并提高视觉辨认性。
15.第三发明是在第一或者第二发明中的导电片中，多条金属细线从透明基材侧依次层叠有第一黑化层、金属层、第二黑化层。
16.第四发明是在第三发明中的导电片中，多条金属细线在侧面形成有黑化层。
17.若这样构成，则在金属细线表面形成有黑化层，因此能够在金属细线的表面使反射率降低。
18.第五发明是一种触摸传感器，其具备：第一发明的导电片，其中，多条金属细线构成多个电极，具有分别形成于该多个电极的端部的连接部；端子部，其与外部布线连接；和迂回布线(引绕布线)，其将连接部与端子部连接。
19.若这样构成，则能够抑制金属细线的眩光，因此能够得到提高了视觉辨认性的触摸传感器。
20.第六发明是在第五发明中的触摸传感器中，多个电极形成于操作区域，迂回布线形成于操作区域以外的周边区域，在操作区域中的未形成多个电极的区域还具备虚设部，虚设部未与多个电极电连接。
21.第七发明是在第六发明中的触摸传感器中，多个电极是带形状，多个电极与虚设部交替配置。
22.若这样构成，则在操作区域形成有电极和虚设部，因此能够抑制操作者观察到电极的图案形状的骨架可见现象，能够得到提高了视觉辨认性的触摸传感器。
23.第八发明是在第七发明中的触摸传感器中，虚设部由多条金属细线构成。
24.若这样构成，则电极部和虚设部由相同的金属细线构成，成为相同的图案，因此能够进一步提高视觉辨认性。
25.第九发明是一种触摸传感器的制造方法，其具备：在透明基材的一个面上依次形成第一黑化膜层、金属膜层、第二黑化膜层的工序；通过对第一黑化膜层、金属膜层以及第二黑化膜层进行蚀刻，而同时形成由多条金属细线构成的多个电极、分别形成于该多个电极的端部的连接部、与外部布线连接的端子部、以及连接连接部和端子部的迂回布线的工序，
26.其中，多条金属细线以如下方式形成：
27.包括：在透明基材上虚拟地铺设的由正六边形构成的虚拟图案以及反转虚拟图案
中形成的n边形(n≧5)；和将该n边形与配置在虚拟图案的各边的第一交点至第六交点连结的六根连结线，虚拟图案被配置为：将其各顶点逆时针旋转地设为第一顶点至第六顶点，将配置在连结第一顶点与第二顶点的边的交点设为第一交点，将配置在虚拟图案的各边的各交点逆时针旋转地设为第二交点至第六交点，第一顶点至第一交点、第一顶点至第六交点、第二顶点至第二交点、第四顶点至第三交点、第四顶点至第四交点、第六顶点至第五交点的距离分别相等，使虚拟图案左右反转的反转虚拟图案被配置为：将其各顶点顺时针旋转地设为第一顶点至第六顶点，将配置在连结第一顶点和第二顶点的边的交点设为第一交点，将配置在反转虚拟图案的各边的各交点顺时针旋转地设为第二交点至第六交点，第一顶点至第一交点、第一顶点至第六交点、第二顶点至第二交点、第四顶点至第三交点、第四顶点至第四交点、第六顶点至第五交点的距离分别相等，虚拟图案与反转虚拟图案以相邻的虚拟图案或者反转虚拟图案的各交点重叠、且由多条金属细线形成的开口区域非周期性地排列的方式铺设，将虚拟图案的一边的长度设为a，将n边形的一边的长度设为b，将n边形的内角设为θ时，具有
28.150μm≦a≦3000μm
29.a/4≦b≦3a/4
30.90
°
≦θ的关系，(i)n边形为n＝5，连结线中的五根连结n边形的顶点和距该顶点的距离最短的交点，连结线中的一根连结n边形的边和交点，将连结线的长度设为c时，具有a/4≦c≦a/2的关系，或者(ii)n边形为n≧6，连结线连结n边形的顶点和距该顶点的距离最短的交点。
31.若这样构成，则由于同时形成多个电极、连接部、端子部和迂回布线，因此能够减少工序数，缩短制造所花费的时间。
32.发明效果
33.根据本发明，能够提供一种在将网格形状设为不规则的图案的情况下，抑制眩光而提高视觉辨认性的导电片、触摸传感器以及触摸传感器的制造方法。
附图说明
34.图1是基于本发明的第一实施方式的导电片10的图，(a)为概略截面图、(b)为概略俯视图、(c)为金属细线12的局部放大截面图。
35.图2是基于本发明的第一实施方式的图，(a)为虚拟图案xa的局部放大俯视图、(b)为反转虚拟图案xb的局部放大俯视图。
36.图3是说明虚拟图案xa和反转虚拟图案xb的铺设方法的局部放大俯视图。
37.图4是基于本发明的第二实施方式的触摸传感器的图，(a)为概略俯视图、(b)为(a)的区域k的局部放大俯视图。
38.符号说明
39.10导电片
40.11透明基材
41.12金属细线
42.13第一黑化层
43.14金属层
44.15第二黑化层
45.20a、20b电极
46.21a、21b虚设(dummy)部
47.22a、22b断线部
48.30a、30b端子部
49.40a、40b迂回布线
50.50a、50b连接部
51.100触摸传感器
具体实施方式
52.接着，一边参照附图一边对本发明的第一实施方式加以说明。
53.＜第一实施方式＞
54.参照图1(a)，本发明的第一实施方式所涉及的导电片10具备透明基材11和在透明基材11的一个面形成为网格状的多条金属细线12。参照图1(b)，多条金属细线12包含在虚拟图案xa和反转虚拟图案xb中形成的六边形和六根连结线。通过多条金属细线12形成六边形和六根连结线的虚拟图案xa、和使xa左右反转而成的反转虚拟图案xb，以配置于相邻的虚拟图案xa或者反转虚拟图案xb的各边的各交点重叠、且由多条金属细线12形成的开口区域r非周期性地排列的方式铺设。关于虚拟图案xa以及反转虚拟图案xb的详细情况在后面叙述。参照图1(c)，金属细线12从透明基材11侧起层叠有第一黑化层13、金属层14和第二黑化层15。第一黑化层13以及第二黑化层15是用于降低金属细线12的反射率并提高视觉辨认性的层。
55.透明基材11的材料只要是柔性的材料则没有特别限定，例如可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚乳酸(pla)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)等聚酯类、聚乙烯(pe)、聚丙烯(pp)、聚苯乙烯、eva、环烯烃聚合物(cop)或环烯烃共聚物(coc)等聚烯烃类、乙烯基系树脂、聚碳酸酯(pc)、聚酰胺、聚酰亚胺(pi)、丙烯酸系树脂(pmma)、三乙酰纤维素(tac)、聚氨酯、硅酮、聚氯乙烯、聚氟乙烯等树脂膜。基材膜10的厚度为5～500μm，优选为20～100μm。
56.透明基材11可以是单层的膜，也可以是将多个层层叠而成的膜。透明基材11可以在构成中含有相位差膜。
57.对于作为金属层14的材料，没有特别限定，例如可以使用金、银、铜、铁、镍、铬、铝、钼、钛等或者它们的合金。作为第一黑化层13以及第二黑化层15的材料，能够使用铜、镍、铬、铝、钼、钛等金属氧化物或者金属氮化物。
58.金属细线12的线宽例如为1～10μm，优选为1～5μm。金属细线12的膜厚例如为120nm～1.2μm。第一黑化层以及第二黑化层的膜厚例如为10～100nm，金属层14的膜厚例如为100nm～1μm。金属细线12的开口率例如为95％以上，优选为98％以上。
59.以下，对虚拟图案xa以及反转虚拟图案xb的详细情况加以说明。
60.参照图2(a)，虚拟图案xa是在透明基材11上虚拟描绘的正六边形的图案。虚拟图案xa的各顶点逆时针旋转地设为第一顶点p1a至第六顶点p6a。将配置于连结第一顶点p1a和第二顶点p2a的边的交点设为第一交点q1a，将配置于虚拟图案xa的各边的各交点设为第二交点q2a至第六交点q6a。以p1a-q1a间、p1a-q6a间、p2a-q2a间、p4a-q3a间、p4a-q4a间、
p6a-q5a间的距离分别相等的方式，将第一交点q1a至第六交点q6a配置于虚拟图案xa的各边上。在从第一顶点p1a至第六顶点p6a的各顶点的下方，分别描绘有虚拟箭头d1a至d6a。各个虚拟箭头d1a至d6a所指的方向为，以连结p1a与p4a的线为轴而将p1a设为上，将p4a设为下时，d1a指向右方向，d2a指向右斜上方向，d3a指向右斜下方向，d4a指向右方向，d5a指向左斜下方向，d6a指向左斜上方向。另外，当使虚拟图案xa顺时针旋转60
°
时，在图2(a)的p1a的位置配置p2a。在旋转了60
°
的xa中，当将连结p2a与p5a的线设为轴而将p2a设为上，将p5a设为下时，d2a指向右方向，d3a指向左斜下方向，d4a指向右斜下方向，d5a指向左方向，d6a指向右斜上方向，d1a指向右斜下方向。
61.在虚拟图案xa中，由金属细线12形成有六边形sa和连结线l1a至l6a。六边形sa的各顶点与第一交点q1a至第六交点q6a分别由连结线l1a至l6a连结。在虚拟图案xa的中央附近配置有六边形sa，从该六边形sa的各顶点向虚拟图案xa的各边上的交点，以放射状延伸有连结线l1a至l6a。连结线l1a至l6a连结六边形sa的顶点和距其顶点的距离最短的q1a至q6a中的任一交点。
62.参照图2(b)，反转虚拟图案xb是使虚拟图案xa左右反转的图案。反转虚拟图案xb的各顶点顺时针旋转地设为第一顶点p1b至第六顶点p6b。将配置于连结第一顶点p1b和第二顶点p2b的边的交点设为第一交点q1b，将配置于反转虚拟图案xb的各边的各交点设为第二交点q2b至第六交点q6b。以p1b-q1b间、p1b-q6b间、p2b-q2b间、p4b-q3b间、p4b-q4b间、p6b-q5b间的距离分别相等的方式，将第一交点q1b至第六交点q6b配置在反转虚拟图案xb的各边上。在从第一顶点p1b至第六顶点p6b的各顶点的下方分别描绘有虚拟箭头d1b至d6b。各个虚拟箭头d1b至d6b所指的方向为，以连结p1b和p4b的线为轴而将p1b设为上，将p4b设为下时，d1b指向左方向，d2b指向左斜上方向，d3b指向左斜下方向，d4b指向左方向，d5b指向右斜下方向，d6b指向右斜上方向。
63.虚拟图案xa和反转虚拟图案xb以由金属细线12形成的多个开口区域非周期性地排列的方式铺设。换言之，以同一形状的开口区域不周期性地排列的方式铺设虚拟图案xa和反转虚拟图案xb。
64.对以大量开口区域成为非周期性地排列的方式铺设虚拟图案的方法加以说明。
65.虚拟图案是将每次顺时针旋转60
°
而得到的图案加以组合而铺设的。即，所使用的虚拟图案是使xa、旋转了60
°
的xa、旋转了120
°
的xa、旋转了180
°
的xa、旋转了240
°
的xa、旋转了300
°
的xa、xb、旋转了60
°
的xb、旋转了120
°
的xb、旋转了180
°
的xb、旋转了240
°
的xb、旋转了300
°
的xb的共计十二种。
66.按照两个规则将上述的十二种虚拟图案以及反转虚拟图案无间隙地铺设在透明基材11上。
67.第一，以使虚拟图案或者反转虚拟图案的各交点的任一个与相邻的虚拟图案或者反转虚拟图案的各交点的任一个重叠的方式铺设。如此，虚拟图案或者反转虚拟图案的连结线必定与相邻的虚拟图案或者反转虚拟图案的连结线连结。因此，由多条金属细线形成的大量开口区域r被排列。开口区域r是在虚拟图案或者反转虚拟图案中形成的多边形、或者由连结线和多边形的边包围的区域。
68.第二，隔着虚拟图案或者反转虚拟图案的一边而相向的两个虚拟图案或者反转虚拟图案，以与描绘在其相向的顶点之下的虚拟箭头的方向相同的方式，铺设虚拟图案和反
转虚拟图案。如此，能够将由金属细线12形成的大量开口区域设为非周期性地排列。
69.参照图3，对铺设虚拟图案的方法的一例加以说明。
70.虚拟图案x1是图2(a)的虚拟图案xa，虚拟图案x2是使图2(b)的反转虚拟图案xb顺时针旋转240
°
的图案，虚拟图案x3是使xa顺时针旋转240
°
的图案。x1和x2以x1的边p3a-p4a与x2的边p3b-p4b重叠的方式邻接。换言之，x1和x2共用x1的边p3a-p4a(或者x2的边p3b-p4b)。x2和x3以x2的边p5b-p6b与x3的边p5a-p6a重叠的方式邻接。换言之，x2和x3共用x2的边p5b-p6b(或者x3的边p5a-p6a)。x1和x3隔着x2的边p4b-p5b而相向。以x1的顶点p4a与x3的顶点p5a相向的方式配置有x1和x3。
71.第一，由于以x1的边p3a-p4a与x2的边p3b-p4b重叠的方式使x1与x2邻接，因此x1的交点q3a与x2的交点q3b重叠。因此，x1的连结线l3a与x2的连结线l3b连结。另外，由于x2和x3以x2的边p5b-p6b与x3的边p5a-p6a重叠的方式邻接，因此x2的交点q5b与x3的交点q5a重叠。因此，x2的连结线l5b与x3的连结线l5a连结。通过这样使连结线连结，能够形成由金属细线形成的大量开口区域，金属细线12形成为网格状。
72.第二，x1和x3隔着x2的边p4b-p5b而相向，并且以x1的第四顶点p4a与x2的第五顶点p5a相向的方式配置。若以连结x1的p1a与p4a的线为轴而将p1a所在的方向设为上、p4a所在的方向设为下，则x1的第四顶点p4a的虚拟箭头d4a与x3的第五顶点p5a的箭头d5a均为指向右方向的箭头。如此，将由金属细线形成的大量开口区域设为非周期性地排列。
73.虚拟图案xa的一边的长度a为150μm～3000μm，优选为500μm～2000μm。若设为150μm以上，则能够防止在透明基材上密集地形成金属细线12。若设为3000μm以下，则能够防止金属细线12的根数变少而电阻值上升。
74.六边形sa的一边的长度b优选为a/4μm～3a/4μm。通过将b设置于这样的范围内，能够防止六边形sa与由连结线和六边形的边形成的图形成为极端不同的面积，能够不形成金属细线稀疏的部位和密集的部位。优选六边形sa各自的内角θ为90
°
以上。若将θ设为90
°
以上，则即使在金属细线彼此的交点附近，也能够以使金属细线的宽度均等的方式进行控制，能够防止在六边形sa的顶点附近金属细线的宽度变粗而造成眩光。
75.连结线l1a至l6a的长度c优选为a/4μm～a/2μm。通过将c设置于这样的范围内，能够防止六边形sa与由连结线和六边形sa的边形成的图形成为极端不同的面积，能够不形成金属细线稀疏的部位和密集的部位。
76.导电片10能够通过如下方法来制造：在透明基材11上通过溅射法、金属箔转印形成包含黑化层的金属膜，通过蚀刻进行图案化的方法；或在透明基材11上图案印刷导电性油墨的方法。
77.根据以上，在基于第一实施方式的导电片10中，在虚拟图案xa中通过金属细线12而形成有六边形sa和连结线l1a至l6a，六边形sa的各顶点与第一交点q1a至第六交点q6a通过连结线l1a至l6a连结。能够以相邻的虚拟图案xa或者反转虚拟图案xb的各交点重叠且由多条金属细线12形成的开口区域r非周期性地排列的方式，使虚拟图案xa或者反转虚拟图案xb一边旋转一边铺设在透明基材11上，由此能够由多条金属细线12形成非周期性地排列的多个开口区域r，在透明基材11上将多条金属细线12形成为不规则的网格状。
78.进而，通过将虚拟图案xa的一边的长度a设为150μm～3000μm，能够防止金属细线12密集、金属细线12的根数变少而电阻值上升。通过将六边形sa的一边的长度b设为a/4≦b
≦3a/4，连结线l1a至l6a将六边形sa的顶点和距该顶点的距离最短的交点连结，从而六边形sa以连结线l1a至l6a从六边形sa的各顶点向虚拟图案xa的各边呈放射状延伸的方式分别配置于虚拟图案xa的中央附近。若这样构成，则在将虚拟图案xa和反转虚拟图案xb铺设在透明基材11上时，金属细线12无偏差地配置在透明基材11上，开口区域r的面积的偏差变少。由此，能够防止形成金属细线12稀疏的部位和密集的部位，能够防止由眩光引起的视觉辨认性的降低。通过将六边形sa各自的内角θ设为90
°
以上，能够防止在六边形s的顶点附近金属细线的宽度变粗而造成眩光。
79.接着，参照附图对本发明的第二实施方式加以说明。
80.＜第二实施方式＞
81.参照图4(a)，本发明的第二实施方式所涉及的触摸传感器100具备：透明基材11；形成于透明基材11的一个面的多个电极20a；分别形成于多个电极20a的端部的连接部30a；与外部布线连接的端子部40a；以及将连接部30a与端子部40a连结的迂回布线50a。进而，触摸传感器100具备：形成于透明基材11的另一个面的多个电极20b；分别形成于多个电极20b的端部的连接部30b；与外部布线连接的端子部40b；以及将连接部30b和端子部40b连接的迂回布线50b。
82.透明基材11上被划分为操作区域v1和周边区域v2。操作区域v1是在触摸传感器100中由用户进行输入操作的区域，周边区域v2是在组装后被盖基材的框状的装饰层等覆盖的区域。分别在透明基材的一个面的操作区域v1形成有多个电极20a和虚设部21a，在周边区域v2形成有连接部30a、端子部40a和迂回布线50a。
83.多个电极20a形成于操作区域v1。多个电极20a为带形状，在透明基材11的表面以朝向y轴方向延伸且在x轴方向上排列四条的方式配置。多个电极20a由在第一实施方式中说明的多条金属细线构成。这些多个电极20a构成触摸传感器的电极。
84.多个电极20a的大小根据操作区域v1的大小、分辨率来决定，因此没有特别限定，优选为将上述的虚拟图案xa的一边的长度设为a，将电极20a的宽度设为w时，满足3a≦w的关系。
85.虚设部21a形成于操作区域v1中未形成多个电极20a的区域。电极20a和虚设部21a交替配置。虚设部21a与多个电极20a同样地，由在第一实施方式中说明的多条金属细线构成。参照图4(b)，若将包含图4(a)中的电极20a与虚设部21a的边界的区域k放大，则电极20a与虚设部21a以通过断线部22a而不电连接的方式断线。断线部22a以划分操作区域v1而形成电极20a的带形状的方式形成，电极20a和虚设部被断线部22a隔开。在断线部22a未形成有金属细线12。断线部22a的宽度优选为1～10μm。若将断线部22a的宽度设于该范围内，则能够防止由金属细线的有无引起的电极与虚设部的边界线可见。
86.连接部30a用于连结电极20a和迂回布线40a。通过连接部30a，能够将构成电极20a的金属细线12集中连接于迂回布线40a。连接部30a为矩形状，形成于带形状的电极20a的长边方向的一端。连接部30a以与构成多个电极20a的多条金属细线12的一部分重叠的方式形成于周边区域v2。电极20a延伸到操作区域v1的边界线，连接部30a的矩形的一边与操作区域v1和周边区域v2的边界线重叠。连接部30a的宽度与电极20a的宽度相等。连接部30a与金属细线12同样地，由从透明基材11侧起依次层叠有第一黑化层、金属层、第二黑化层的层叠膜构成。
87.端子部40a用于将柔性布线基板等外部布线与触摸传感器100连接，形成在透明基材11上的外缘附近。迂回布线50a用于连接电极20a和端子部40a，以在中途弯折并集中于中央附近的方式与端子部40a连接。端子部40a和迂回布线50a与金属细线12同样，从透明基材11侧起依次层叠有第一黑化层、金属层、第二黑化层。
88.在透明基材的另一个面的操作区域v1形成有多个电极20b和虚设部21b，在周边区域v2分别形成有连接部30b、端子部40b和迂回布线50b。多个电极20b在透明基材11的背面以朝向x轴方向延伸且在y轴方向上排列有五条的方式配置。连接部30b形成于带形状的多个电极20b的长边方向的一端。
89.形成于透明基材11的表背两面的端子部40a以及40b与柔性印刷基板(未图示)连接。柔性印刷基板与实现电容方式的触摸检测的控制部连接。在用户的手指或者触针等导体接近或者离开时，通过由控制部检测与在多个电极20a以及20b产生的电容的变化对应地流动的电流，能够检测用户的触摸操作以及触摸位置。
90.对触摸传感器100的制造方法加以说明。
91.首先，通过溅射法或者金属箔转印，在透明基材11的两面依次形成第一黑化膜层、金属膜层、第二黑化膜层。进而，在第二黑化膜层上形成抗蚀层，使用图案掩膜进行曝光、显影，由此对抗蚀层进行图案化。之后，将图案化后的抗蚀剂层作为蚀刻掩模，进行第一黑化膜层、金属膜层、第二黑化膜层的蚀刻，由此在透明基材11的两面同时形成由多条金属细线构成的电极、虚设部、断线部、连接部、端子部、迂回布线。
92.根据以上，在基于第二实施方式的触摸传感器100中，由于多个电极20a以及20b由第一实施方式所涉及的多条金属细线构成，因此能够抑制由于金属细线稀疏部位与密集部位的差而导致的眩光、在金属细线相交的交点附近金属细线的宽度变粗所导致的眩光的发生。
93.另外，由于在操作区域v1内的未形成有多个电极的部位形成有虚设部，因此能够抑制因电极的有无而导致操作者观察到电极图案形状的骨架可见现象，能够防止视觉辨认性的降低。虚设部与多个电极相同地由第一实施方式所涉及的多条金属细线构成，因此在虚设部与多个电极的双方抑制了眩光的产生。因此，能够提高触摸传感器100的操作区域v1的视觉辨认性。另外，在第二实施方式所涉及的触摸传感器100的制造方法中，由于能够同时形成多个电极、虚设部、连接部、端子部、迂回布线，因此能够防止制造工序复杂化。
94.此外，在上述的实施方式中，在虚拟图案xa中形成有六边形sa，但sa为n边形(n≧5)即可。在n＝5、即sa为五边形的情况下，连结线l1a至l6a中的五条连结线连结五边形sa的顶点与虚拟图案xa上的交点，剩余的一条连结五边形sa的边与虚拟图案xa上的剩余的交点。连结线l1a至l6a的长度c为a/4≦c≦a/2即可。在n≧7、即sa为七边形以上的多边形的情况下，连结线l1a至l6a只要将多边形sa的顶点和距该顶点的距离最短的虚拟图案xa上的交点连结即可。进而，可以将连结线l1a至l6a的长度c设为a/4≦c≦a/2。
95.在上述的实施方式中，使用使虚拟图案xa和反转虚拟图案xb顺时针旋转而得到的图案进行铺设，但虚拟图案xa和反转虚拟图案xb也可以逆时针旋转来使用。
96.在上述的实施方式中，仅通过在虚拟图案xa和反转虚拟图案xb中形成的多边形和连结线形成开口区域，将金属细线12形成为网格状，但也可以进一步追加金属细线12。在该情况下，以不周期性地排列追加的金属细线12的方式配置金属细线12。
97.在上述的实施方式中，金属细线12按照第一黑化层、金属层、第二黑化层的顺序层叠，但金属细线的层叠结构不限于此。例如，可以采用仅形成金属层的结构、从透明基材侧依次层叠金属层、黑化层的结构，也可以以覆盖形成于透明基材上的金属层的上表面和侧面的方式形成黑化层。进而，也可以是将金属层的周围全部用黑化层覆盖的构成。若这样构成，则能够进一步抑制组装触摸传感器时的眩光。
98.在上述的实施方式中，在导电片的透明基材的单面形成有多条金属细线，但也可以在透明基材的两面形成金属细线。在该情况下，若至少在金属层的上表面和下表面形成黑化层，则能够进一步提高视觉辨认性。
99.在上述的实施方式中，多个电极20a以及20b为带形状，但电极的形状不限于此。作为电极的其他形状，例如能够设为菱形形状相连的形状或者梳齿形状。另外，电极的根数、迂回布线的位置、端子部的位置也没有特别限制。
100.在上述的实施方式中，虚设部由第一实施方式所涉及的金属细线构成，但虚设部的金属细线图案不限于此。虚设部只要由能够抑制眩光的产生的金属细线图案形成即可。
101.在上述的实施方式中，在触摸传感器100的透明基材11的两面形成有电极，但触摸传感器的结构不限于此。可以将在一个面上形成有电极的两片透明基材以透明基材的另一个面相向的方式贴合，也可以在电极上隔着粘接层将透明基材的另一个面重叠的方式贴合。
102.在上述的实施方式中，在电极的一端形成有连接部，但也可以在电极的长度方向两端形成连接部。例如，可以在电极20b的左侧端部形成连接部30b时，进而在电极20b的右侧端部形成连接部30b。在该情况下，在端子部40a的右侧也形成有端子部40b，各个迂回布线50b与端子部40b连接。端子部的位置、迂回布线的配置没有特别限定。
103.在上述的实施方式中，同时形成多个电极、虚设部、连接部、端子部、迂回布线，但触摸传感器100的制造方法不限于此。例如，也可以在操作区域v1形成基于第一实施方式的金属细线后，利用激光使金属细线断线而形成断线部，形成多个电极和虚设部。另外，也可以在将多个电极以及虚设部形成于操作区域v1之后，将连接部、端子部、迂回布线形成于周边区域v2。另外，也可以不在透明基材11的两面同时形成，而是每次形成在一个面上。