带电粒子显微镜学中的缺陷像素管理的制作方法

带电粒子显微镜学中的缺陷像素管理


背景技术：

1.显微镜学是使用显微镜以更好地观察用肉眼难以看到的对象的技术领域。显微镜学的不同分支包含例如：光学显微镜学、带电粒子（电子和/或离子）显微镜学和扫描探针显微镜学。带电粒子显微镜学涉及使用加速的带电粒子束作为照明源。带电粒子显微镜学的类型包含例如：透射电子显微镜学、扫描电子显微镜学、扫描透射电子显微镜学和离子束显微镜学。
附图说明
2.通过以下结合附图的详细描述，将容易地理解各实施例。为了便于描述，相同的附图标记指示相同的结构元件。各实施例在附图的图中以举例而非限制的方式展示。
3.图1是根据各个实施例的用于执行支持操作的示例带电粒子显微镜（cpm）支持模块的框图。
4.图2是根据各个实施例的可以包含图1的cpm支持模块的cpm系统的框图。
5.图3示出了根据各个实施例的可以由图1的cpm支持模块识别的带电粒子传感器的像素阵列的示例缺陷像素区域。
6.图4是根据各个实施例的可以由图1的cpm支持模块输出的示例带电粒子事件指示符的表格。
7.图5是根据各个实施例的执行cpm支持操作的示例方法的流程图。
8.图6是根据各个实施例的可以在执行本文所公开的cpm支持方法中的一些或全部cpm支持方法时使用的图形用户界面的示例。
9.图7是根据各个实施例的可以执行本文所公开的cpm支持方法中的一些或全部cpm支持方法的示例计算装置的框图。
10.图8是根据各个实施例的可以在其中执行本文所公开的cpm支持方法中的一些或全部cpm支持方法的示例cpm支持系统的框图。
具体实施方式
11.本文公开了与带电粒子显微镜学中的缺陷像素管理相关的方法、设备、系统和计算机可读介质。例如，在一些实施例中，带电粒子显微镜（cpm）支持设备可以包含：第一逻辑，其用于识别带电粒子相机的缺陷像素区域，其中带电粒子相机无法检测缺陷像素区域中的带电粒子事件；第二逻辑，其用于生成第一带电粒子事件指示符，该第一带电粒子事件指示符识别在缺陷像素区域之外的第一带电粒子事件的第一时间和第一位置，其中第一带电粒子事件由带电粒子相机检测；第三逻辑，其用于生成第二带电粒子事件指示符，该第二带电粒子事件指示符识别缺陷像素区域中的第二时间和第二位置；以及第四逻辑，其用于输出表示带电粒子事件指示符的数据。
12.本文所公开的cpm支持实施例可以实现相对于常规方法的改进的性能。在传统的显微镜学系统中，相机缺陷（例如，像素缺陷、区域缺陷行和/或：缺陷等）通过使用相邻像素
值信息在缺陷像素处应用图像插值而在相机固件中进行掩蔽。然而，这种插值通常在将带电粒子位置流转换为图像表示之后执行，因此必须将缺陷信息提供给执行解码和后续重建的（通常是第三方）软件。此外，因为这种插值通常需要预先将带电粒子数据处理成图像，所以不能对仍然处于“原始”带电粒子位置形式的数据（例如，电子事件表示（eer）数据）执行这种插值。
13.本文公开的cpm支持实施例可以通过生成与缺陷像素位置相关联的“掩蔽”带电粒子事件指示符来掩蔽带电粒子相机中的缺陷。如果需要，这种程序可以在带电粒子相机本身的硬件中实施，并允许由第三方或其他重建软件处理所得到的数据流，就好像数据没有缺陷一样。本文公开的实施例中的各个实施例允许在需要时将缺陷信息单独提供给下游软件，并通过减轻缺陷的存在（例如，通过降低移位检测、多图像对齐或其他过程会受到缺陷的不利影响的可能性）来实现改进的重建。因此，本文公开的实施例提供了对cpm技术的改进（例如，支持此类cpm的计算机技术的改进，以及其他改进）。
14.在以下详细描述中，对附图进行了参考，这些附图形成详细描述的一部分，其中相同的标记自始至终指示相同的部分，并且在附图中通过图示的方式示出了可以实践的各实施例。应理解，在不脱离本公开的范围的情况下，可以利用其他实施例，并且可以进行结构或逻辑改变。因此，以下详细描述不应视为具有限制意义。
15.可以以最有助于理解本文所公开的主题的方式依次将各种操作描述为多个离散的动作或操作。然而，描述的顺序不应被解释为暗示这些操作必须依赖于顺序。具体地，这些操作可以不按呈现顺序执行。所描述的操作可以以与所描述的实施例不同的顺序来执行。可以执行各种另外的操作，和/或可以在另外的实施例中省略所描述的操作。
16.为了本公开的目的，短语“a和/或b”和“a或b”意指（a）、（b）或（a和b）。为了本公开的目的，短语“a、b和/或c”和“a、b或c”意指（a）、（b）、（c）、（a和b）、（a和c）、（b和c）或（a、b和c）。尽管一些元件可以以单数形式表示（例如，“处理装置”），但任何适当的元件都可以由该元件的多个实例来表示，并且反之亦然。例如，描述为由处理装置执行的一组操作可以以由不同处理装置执行的操作中的不同操作来实施。
17.使用短语“一实施例”、“各个实施例”和“一些实施例”的描述中的每一个可以指相同或不同实施例中的一个或多个。此外，如关于本公开的实施例所使用的术语“包括”、“包含”、“具有”等是同义的。当用于描述尺寸范围时，短语“介于x与y之间”表示包含x和y的范围。如本文所使用的，“设备”可以指任何单独的装置或装置的集合、装置的部件或装置的部件的集合。附图不一定按比例绘制。
18.图1是根据各个实施例的用于执行支持操作的cpm支持模块1000的框图。cpm支持模块1000可以由诸如编程的计算装置之类的电路系统（例如，包含电气和/或光学组件）实施。cpm支持模块1000的逻辑可以包含在单个计算装置中或者可以视情况跨彼此通信的多个计算装置分布。本文参考图7的计算装置4000讨论了可以单独或组合地实施cpm支持模块1000的计算装置的示例，并且本文参考图8的cpm支持系统5000讨论了互连计算装置的系统的示例，在这些系统中cpm支持模块1000可以跨计算装置中的一个或多个计算装置实施。cpm支持模块1000支持其操作的cpm可以包含任何合适类型的cpm，诸如扫描电子显微镜（sem）、透射电子显微镜（tem）、扫描透射电子显微镜（stem）或离子束显微镜。
19.cpm支持模块1000可以包含缺陷像素识别逻辑1002、带电粒子检测逻辑1004、缺陷
掩蔽逻辑1006和输出逻辑1008。如本文所使用的，术语“逻辑”可以包含用于执行与逻辑相关联的一组操作的设备。例如，cpm支持模块1000中包含的逻辑元件中的任何逻辑元件可以由一个或多个计算装置实施，该一个或多个计算装置用指令编程以使计算装置的一个或多个处理装置执行相关联的一组操作。在特定实施例中，逻辑元件可以包含一个或多个非暂时性计算机可读介质，其上具有指令，这些指令当由一个或多个计算装置的一个或多个处理装置执行时使该一个或多个计算装置执行该相关联的一组操作。如本文所使用的，术语“模块”可以指一个或多个逻辑元件的集合，该一个或多个逻辑元件一起执行与模块相关联的功能。模块中的逻辑元件中的不同逻辑元件可以采用相同的形式或者可以采用不同的形式。例如，模块中的一些逻辑可以通过编程的通用处理装置来实施，而模块中的其他逻辑可以通过专用集成电路（asic）来实施。在另一个示例中，模块中的逻辑元件中的不同逻辑元件可以与由一个或多个处理装置执行的不同指令集相关联。模块可以包含相关联的附图中描绘的一部分逻辑元件；例如，当模块用于执行本文参考该模块所讨论的操作的子集时，该模块可以包含相关联的附图中描绘的逻辑元件的子集。在一些特定实施例中，cpm支持模块1000可以通过可以是带电粒子相机的一部分的编程的现场可编程门阵列（fpga）来实现。
20.缺陷像素识别逻辑1002可以被配置为识别带电粒子相机1102（例如，带电粒子计数相机，诸如电子计数相机）的缺陷像素区域104。如本文所使用的，带电粒子相机1102的“缺陷像素区域”可以包含一个或多个像素，与带电粒子相机的其他“无缺陷”像素区域不同，该一个或多个像素不能正确地检测带电粒子事件。图2是cpm系统1110的框图，其包含通信耦接到数据存储装置1106（例如，多个硬盘驱动器）的带电粒子相机1102。在使用期间，带电粒子相机1102可以用作cpm（例如，下面参考图8讨论的cpm 5010）的一部分来对样本进行成像，并且cpm支持模块1000可以生成（将存储在数据存储器1106中的）表示该成像中的带电粒子事件的数据。存储在数据存储装置1106中的数据可以被重建逻辑访问，该重建逻辑可以使用由带电粒子相机1102生成的数据来执行单粒子分析（spa）、断层重建或任何其他合适的重建技术以重建样本的微观结构。在cpm系统1110中，带电粒子相机1102可以包含带电粒子传感器1104，该带电粒子传感器通信地耦接到cpm支持模块1000（例如，本文公开的任何cpm支持模块1000）。带电粒子传感器1104可以采用任何合适的形式来检测适当的带电粒子。例如，在一些实施例中，带电粒子传感器1104可以包含用于电子检测的补充金属氧化物半导体（cmos）传感器像素。cpm支持模块1000的缺陷像素识别逻辑1002可以识别带电粒子相机1102的带电粒子传感器1104的一个或多个缺陷像素区域104，并且可以将一个或多个缺陷像素区域104的标识存储在可由缺陷像素识别逻辑1002访问的存储器中（例如，缺陷像素识别逻辑1002可以存储像素阵列100中的像素102有缺陷的标识符，如下面参考图3所讨论的）。
21.图3示出了根据各个实施例的可以由缺陷像素识别逻辑1002识别的带电粒子传感器1104的像素阵列100（由单独的像素102组成）的示例缺陷像素区域104。图3示出了三个特定示例缺陷像素区域104：包含一行缺陷像素102（也称为“行缺陷”，“线缺陷”的示例）的缺陷区域104-1，包含一列缺陷像素102（也称为“列缺陷”，“线缺陷”的另一个示例）的缺陷像素区域104-2，包含缺陷像素102的两个相邻列（也称为“双列缺陷”）的缺陷区域104-3，以及包含缺陷像素102的矩形3
×
4阵列（也称为“区域缺陷”）的缺陷区域104-4。图3中的缺陷像素区域104的具体数量、布置和尺寸只是说明性的，并且带电粒子相机1102可以包含任何数
量和布置的缺陷像素区域104。例如，在一些实施例中，缺陷像素区域104可以包含单个像素102，和/或一个或多个非矩形像素区域。
22.在一些实施例中，当带电粒子相机1102被制造或最初销售时，缺陷像素识别逻辑1002可以存储带电粒子相机1102的缺陷像素区域104的标识。例如，在制造或测试期间，可以识别带电粒子传感器1104的缺陷像素区域104，并且缺陷像素识别逻辑1002可以存储关于这些缺陷像素区域104的信息。在一些实施例中，缺陷像素识别逻辑1002可以在带电粒子相机1102的操作开始之后“更新”或以其他方式存储关于带电粒子相机1102的缺陷像素区域104的新信息。例如，缺陷像素识别逻辑1002可以对带电粒子传感器1104的像素阵列100的像素102执行定期测试，并且当像素102被新识别（或确认）为有缺陷时（例如，由于辐射损坏或其他劣化），缺陷像素识别逻辑1002可以相应地更新缺陷像素区域104的存储列表或其他标识。以这种方式，缺陷像素识别逻辑1002可以在带电粒子相机1102的使用寿命期间继续监测像素102的缺陷。
23.带电粒子检测逻辑1004可以被配置为基于由带电粒子传感器1104的像素阵列100的无缺陷像素102检测到的带电粒子事件来生成带电粒子事件指示符。当无缺陷像素102检测到带电粒子事件时，带电粒子检测逻辑1004可以从带电粒子传感器1104接收关于该带电粒子事件的信息（例如，经由光纤电缆或其他通信链路），并且作为响应，带电粒子检测逻辑1004可以生成表示该带电粒子事件的带电粒子事件指示符。特别地，带电粒子事件指示符可以识别带电粒子事件的时间和位置。在一些实施例中，带电粒子事件指示符的时间可以是帧间隔n，表示在与捕获第n帧像素阵列数据相关联的帧间隔期间发生的相关联的带电粒子事件；将帧编号n与帧速率组合可以允许识别时间（例如，以秒为单位）。在一些实施例中，带电粒子事件指示符的位置可以反映在其处检测到相关联的带电粒子事件的特定像素102（和/或子像素，或其他位置）。由带电粒子检测逻辑1004生成的带电粒子事件指示符可以根据需要包含除了时间和位置之外的其他带电粒子事件信息。
24.缺陷掩蔽逻辑1006还可以被配置为生成带电粒子事件指示符，但是这些带电粒子事件指示符可能不对应于由带电粒子相机1102检测到的“检测到的”带电粒子事件。相反，缺陷掩蔽逻辑1006可以生成与一个或多个缺陷像素区域104内的位置相关联的“掩蔽”（或“假”）带电粒子事件指示符。
25.缺陷掩蔽逻辑1006可以基于缺陷像素102处的局部带电粒子辐射剂量率的估计来生成缺陷像素102的带电粒子事件指示符，并且这种估计可以依赖于发生在带电粒子相机1102的无缺陷像素102处的“检测到的”带电粒子事件。因此，缺陷掩蔽逻辑1006可以基于在无缺陷像素102处发生的带电粒子事件生成带电粒子事件指示符。在一些实施例中，缺陷掩蔽逻辑1006可以应用确定性标准以基于在带电粒子相机1102的无缺陷像素102处发生的带电粒子事件生成带电粒子事件指示符。例如，当最接近缺陷像素102的大多数无缺陷像素102检测到带电粒子事件（例如，在单个帧间隔或其他时间段内）时，缺陷掩蔽逻辑1006可以生成“掩蔽”带电粒子事件指示符，其位置对应于缺陷像素102。可以以任何期望的方式选择可以由缺陷掩蔽逻辑1006应用的确定性标准。
26.在一些实施例中，缺陷掩蔽逻辑1006可以应用概率性标准以基于在带电粒子相机1102的无缺陷像素102处发生（和未发生）的带电粒子事件来生成带电粒子事件指示符。例如，缺陷掩蔽逻辑1006可以以一定概率生成位置对应于缺陷像素102的“掩蔽”带电粒子事
件指示符，该概率随着检测到带电粒子事件（例如，在单个帧间隔或其他时间）的相邻（例如，一个或多个空间相邻或以其他方式邻近和/或时间上相邻或以其他方式邻近）无缺陷像素102的数量而增大。在一个特定示例中，“列缺陷”缺陷像素区域104（如图3的缺陷像素区域104-2）中的缺陷像素102 x可以具有“左右”相邻像素102 a和b（使得缺陷像素102 x在相邻像素102 a和相邻像素102 b）之间，并且缺陷掩蔽逻辑1006可以在没有由像素102 a和b在帧间隔n中检测到带电粒子事件时以概率零在帧间隔n中生成对应于缺陷像素102 x的带电粒子事件指示符，当由像素102 a而不是由像素102 b（反之亦然）在帧间隔n中检测到带电粒子事件时以概率0.5生成带电粒子事件指示符，以及当由像素102 a和b两者在帧间隔n中检测到带电粒子事件时以概率1生成带电粒子事件指示符。该概率规则可以如下表1所示来表示，其中a和b列中的“0”表示相关联的像素102没有检测到带电粒子事件，并且a和b列中的“1”表示相关联的像素102检测到带电粒子事件。表1。
27.在相关示例中，缺陷掩蔽逻辑1006可以根据表2的概率规则生成与“列缺陷”缺陷像素区域104中的缺陷像素102 x对应的带电粒子事件指示符（如上面参考表1所讨论的那样），其中其中并且可以根据需要进行选择。本文公开的实施例中的参数d可以表示每帧每像素的带电粒子（例如电子）的平均或预期剂量率，并且可以基于过去的帧来估计。参数d或由缺陷掩蔽逻辑1006用来生成带电粒子事件指示符的任何其他参数可以是静态的或动态的（例如，可以作为成像性能的函数随时间改变，诸如剂量率的运行估计）。表2。
28.在另一相关示例中，缺陷掩蔽逻辑1006可以根据表3的概率规则生成与“列缺陷”缺陷像素区域104中的缺陷像素102 x对应的带电粒子事件指示符（如上面参考表1所讨论的那样），其中
其中1并且可以根据需要进行选择。在本文公开的实施例中的参数和可以是要应用于相邻像素102 a和102 b的“增益因子”。表3。
29.在另一示例中，根据表4的概率规则，当缺陷像素102 x1具有“左右”最接近的相邻像素102 a和x2（使得缺陷像素102 x1在相邻像素102 a和相邻像素102 x2之间）并且缺陷像素102 x2具有“左右”最接近的相邻像素102 x1和b（使得缺陷像素102 x2位于相邻像素102 x1和相邻像素102 b之间）时，缺陷掩蔽逻辑1006可以在“双列缺陷”缺陷像素区域104（如图3的缺陷像素区域104-3）中生成对应于缺陷像素102 x1和x2的带电粒子事件指示符。表4。
30.这些特定示例仅是说明性的，并且缺陷掩蔽逻辑1006可以实施任何合适的确定性标准、概率性标准和/或确定性标准和概率性标准的组合以用于生成“掩蔽”带电粒子事件指示符。例如，缺陷掩蔽逻辑1006可以应用概率性规则以用于为缺陷像素102生成带电粒子事件指示符，其中发生在非缺陷像素102处的带电粒子事件的“影响”随着缺陷像素102与非缺陷像素102之间的距离增加而减小。类似地，尽管上面给出的示例是其中缺陷掩蔽逻辑1006基于相同帧间隔或其他时间段中“检测到的”带电粒子事件针对缺陷像素区域104生成“掩蔽”带电粒子事件指示符的示例，但缺陷掩蔽逻辑1006可以类似地基于在不同帧间隔或其他时间段（例如，时间上“相邻”帧间隔或其他时间段）中“检测到的”带电粒子事件在一个帧间隔或其他时间段中针对缺陷像素区域104生成“掩蔽”带电粒子事件指示符。例如，缺陷掩蔽逻辑1006可以应用概率性规则以用于在特定时间为缺陷像素102生成带电粒子事件指示符，其中在非缺陷像素102处在不同时间发生的带电粒子事件的“影响”随着特定时间与不同时间之间的时间距离的增加而减少。以此方式，缺陷掩蔽逻辑1006可以基于与“检测到
的”带电粒子事件的位置相关的确定性和/或概率性标准和/或基于与“检测到的”带电粒子事件的时间相关的确定性和/或概率性标准，针对缺陷像素区域104生成“掩蔽”带电粒子事件指示符（包含位置和时间信息）。
31.输出逻辑1008可以被配置为输出表示由带电粒子检测逻辑1004生成的带电粒子事件指示符（即，表示“检测到的”带电粒子事件）和缺陷掩蔽逻辑1006生成的带电粒子事件指示符（即，表示“掩蔽”带电粒子事件）的数据。例如，图4是根据各个实施例的可由输出逻辑1008输出的示例带电粒子事件指示符（对应于表格的行）的表格。图4中描绘的每一个带电粒子事件指示符包含位置信息（即x和y坐标）和时间信息（即帧编号）。在一些实施例中，由输出逻辑1008提供的带电粒子事件指示符还可以包含带电粒子事件指示符是否对应于“检测到的”带电粒子事件（并且因此由带电粒子检测逻辑1004生成）或“掩蔽”带电粒子事件（因此由缺陷掩蔽逻辑1006生成）的指示符。例如，图4的带电粒子事件指示符还包含“d（检测到的）/m（掩蔽）”）指示符，其中“d”指示带电粒子事件指示符对应于“检测到的”带电粒子事件，且“m”指示带电粒子事件指示符对应于“掩蔽”带电粒子事件。在其他实施例中，由输出逻辑1008提供的带电粒子事件指示符可以不包含带电粒子事件指示符是对应于“检测到的”带电粒子事件还是“掩蔽”带电粒子事件的指示符。如上所述，在一些实施例中，输出逻辑1008可以将带电粒子事件指示符输出到重建逻辑（例如，经由数据存储装置1106），该重建逻辑将使用数据来执行spa、断层重建或其他重建技术，从而获得关于由带电粒子相机1102成像的样本的信息。
32.带电粒子事件指示符可以由输出逻辑1008以多种方式中的任一种输出（例如，经由以太网电缆或任何其他合适的通信链路输出到cpm系统1110的数据存储装置1106）。在一些实施例中，由输出逻辑1008输出的数据可以包含带电粒子事件表示数据（例如，电子事件表示（eer）数据）。在一些实施例中，当带电粒子事件指示符由带电粒子检测逻辑1004和缺陷掩蔽逻辑1006生成时，输出逻辑1008可以流式传输带电粒子事件指示符。在一些实施例中，输出逻辑1008可以对带电粒子事件指示符进行排队或缓冲（例如，因此缺陷掩蔽逻辑1006可以基于该时间之后发生的“检测到的”带电粒子事件针对特定时间生成“掩蔽”带电粒子事件指示符）。输出逻辑1008可以对带电粒子事件指示符和任何期望的方式进行编码；例如，输出逻辑1008可以将带电粒子事件指示符输出为数据包流。在一些实施例中，输出逻辑1008可以提供包含由带电粒子检测逻辑1004生成的带电粒子事件指示符（即，与“检测到的”带电粒子事件相关联）的第一数据流和包含由缺陷掩蔽逻辑1006生成的带电粒子事件指示符（即，与“掩蔽”带电粒子事件相关联）的不同的第二数据流。
33.由输出逻辑1008输出的表示带电粒子事件指示符的数据可以不包含带电粒子事件指示符本身。例如，在一些实施例中，输出逻辑1008可以输出带电粒子事件指示符的图像或其他概要；这种图像或其他概要可以表示（检测到的和/或掩蔽的）带电粒子事件指示符的集合，并且可以随时间收集，使得与带电粒子事件指示符相关联的特定时间不在图像或其他概要中表示。
34.在一些实施例中，除了带电粒子事件指示符之外，输出逻辑1008还可以输出关于缺陷像素区域104的信息（例如，输出到cpm系统1110的数据存储装置1106）。例如，输出逻辑1008可以在包含带电粒子事件指示符的数据流的报头中包含关于缺陷像素区域104的标识信息（例如，缺陷像素识别逻辑1002所识别的缺陷像素区域104的位置）。在另一个示例中，
3000进行交互。
42.gui 3000可以包含数据显示区域3002、数据分析区域3004、cpm控制区域3006和设置区域3008。图6中描绘的区域的特定数量和布置只是说明性的，并且区域的任何数量和布置，包含任何期望的特征都可以包含在gui 3000中。
43.数据显示区域3002可以显示由cpm（例如，本文参考图8讨论的cpm 5010）生成的数据。例如，数据显示区域3002可以显示由cpm支持模块1000的输出逻辑1008输出的带电粒子事件指示符。
44.数据分析区域3004可以显示数据分析的结果（例如，分析数据显示区域3002中展示的数据和/或其他数据的结果）。例如，数据分析区域3004可以显示根据本文公开的任何技术成像的样本的重建或其他表示。在一些实施例中，数据显示区域3002和数据分析区域3004可以组合在gui 3000中（例如，在公共图形或区域中包含来自cpm的数据输出和对数据的一些分析）。
45.cpm控制区域3006可以包含允许用户控制cpm（例如，本文参考图8讨论的cpm 5010）的选项。例如，cpm控制区域3006可以包含用于对成像操作进行编程、开始或停止成像操作的控制选项。
46.设置区域3008可以包含允许用户控制gui 3000（和/或其他gui）的特征和功能和/或执行关于数据显示区域3002和数据分析区域3004的公共计算操作（例如，将数据保存在诸如本文参考图7讨论的存储装置4004之类的存储装置上、向另一个用户发送数据、标记数据等）的选项。例如，设置区域3008可以包含关于带电粒子相机1102的缺陷像素区域104的信息（例如，由缺陷像素识别逻辑1002识别）或允许用户查看和/或改变在生成“掩蔽”带电粒子事件指示符时由缺陷掩蔽逻辑1006使用的标准的控制。
47.如上所述，cpm支持模块1000可以由一个或多个计算装置实施。图7是根据各个实施例的可以执行本文所公开的cpm支持方法中的一些或全部cpm支持方法的计算装置4000的框图。在一些实施例中，cpm支持模块1000可以由单个计算装置4000或多个计算装置4000实施。进一步地，如下文所讨论的，实施cpm支持模块1000的计算装置4000（或多个计算装置4000）可以是图8的cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的一个或多个的一部分。
48.图7的计算装置4000被展示为具有多个组件，但是这些组件中的任何一个或多个组件都可以被省略或复制，如适于应用和设置。在一些实施例中，包含在计算装置4000中的组件中的一些或所有组件可以附接到一个或多个母板并且封闭在壳体中（例如，包含塑料、金属和/或其他材料）。在一些实施例中，这些组件中的一些可以被制造到单个片上系统（soc）上（例如，soc可以包含一个或多个处理装置4002和一个或多个存储装置4004）。另外，在各个实施例中，计算装置4000可以不包含图7所展示的组件中的一个或多个组件，但可以包含用于使用任何合适的接口（例如，通用串行总线（usb）接口、高清多媒体接口（hdmi）接口、控制器局域网（can）接口、串行外围接口（spi）接口、以太网接口、无线接口或任何其他合适的接口）耦接到该一个或多个组件的接口电路系统（未示出）。例如，计算装置4000可以不包含显示装置4010，但可以包含显示装置4010可以耦接到的显示装置接口电路系统（例如，连接器和驱动器电路系统）。
49.计算装置4000可以包含处理装置4002（例如，一个或多个处理装置）。如本文所使
用的，术语“处理装置”可以指处理来自寄存器和/或存储器的电子数据以将该电子数据转换成可以存储在寄存器和/或存储器中的其他电子数据的任何装置或装置的一部分。处理装置4002可以包含一个或多个数字信号处理器（dsp）、专用集成电路（asic）、中央处理单元（cpu）、图形处理单元（gpu）、加密处理器（在硬件内执行加密算法的专用处理器）、服务器处理器或任何其他合适的处理装置。
50.计算装置4000可以包含存储装置4004（例如，一个或多个存储装置）。存储装置4004可以包含一个或多个存储器装置，诸如随机存取存储器（ram）（例如，静态ram（sram）装置、磁性ram（mram）装置、动态ram（dram）装置、电阻式ram（rram）装置或导电桥接ram（cbram）装置）、基于硬盘驱动器的存储器装置、固态存储器装置、网络驱动器、云驱动器或存储器装置的任何组合。在一些实施例中，存储装置4004可以包含与处理装置4002共享管芯的存储器。在这种实施例中，存储器可以用作高速缓冲存储器并且可以包含例如嵌入式动态随机存取存储器（edram）或自旋转移矩磁性随机存取存储器（stt-mram）。在一些实施例中，存储装置4004可以包含非暂时性计算机可读介质，其上具有指令，这些指令当由一个或多个处理装置（例如，处理装置4002）执行时使计算装置4000执行本文所公开的方法中的任何适当的方法或部分。
51.计算装置4000可以包含接口装置4006（例如，一个或多个接口装置4006）。接口装置4006可以包含一个或多个通信芯片、连接器和/或其他硬件和软件以管理计算装置4000与其他计算装置之间的通信。例如，接口装置4006可以包含用于管理将数据传送到计算装置4000并从该计算装置传送数据的无线通信的电路系统。术语“无线”和其派生词可以用于描述可以通过使用经调制的电磁辐射通过非固体介质来传递数据的电路、装置、系统、方法、技术、通信信道等。术语并不暗示相关联装置不含有任何导线，尽管在一些实施例中可能不含有任何导线。包含在接口装置4006中的用于管理无线通信的电路系统可以实施多个无线标准或协议中的任何一个，包含但不限于电气和电子工程师协会（ieee）标准，包含wi-fi（ieee 802.11系列）、ieee 802.16标准（例如，ieee 802.16-2005修正）、长期演进（lte）项目以及任何修正、更新和/或修订（例如，高级lte项目、超移动宽带（umb）项目（也称为“3gpp2”）等）。在一些实施例中，包含在接口装置4006中的用于管理无线通信的电路系统可以根据全球移动通信系统（gsm）、通用分组无线业务（gprs）、通用移动电信系统（umts）、高速分组接入（hspa）、演进式hspa（e-hspa）或lte网络来操作。在一些实施例中，包含在接口装置4006中的用于管理无线通信的电路系统可以根据用于gsm演进的增强数据（edge）、gsm edge无线接入网络（geran）、通用地面无线接入网络（utran）或演进式utran（e-utran）来操作。在一些实施例中，包含在接口装置4006中的用于管理无线通信的电路系统可以根据码分多址（cdma）、时分多址（tdma）、数字增强无绳电信（dect）、演进数据优化（ev-do）和其衍生物，以及任何其他指定为3g、4g、5g及更高版本的无线协议来操作。在一些实施例中，接口装置4006可以包含用于无线通信的接收和/或传输的一个或多个天线（例如，一个或多个天线阵列）。
52.在一些实施例中，接口装置4006可以包含用于管理诸如电、光或任何其他合适的通信协议等有线通信的电路系统。例如，接口装置4006可以包含支持根据以太网技术的通信的电路系统。在一些实施例中，接口装置4006可以支持无线通信和有线通信二者，和/或可以支持多种有线通信协议和/或多种无线通信协议。例如，接口装置4006的第一组电路系
统可以专用于诸如wi-fi或蓝牙等近距离无线通信，并且接口装置4006的第二组电路系统可以专用于诸如全球定位系统（gps）、edge、gprs、cdma、wimax、lte、ev-do或其他等远距离无线通信。在一些实施例中，接口装置4006的第一组电路系统可以专用于无线通信，并且接口装置4006的第二组电路系统可以专用于有线通信。
53.计算装置4000可以包含电池/电源电路系统4008。电池/电源电路系统4008可以包含一个或多个储能装置（例如，电池或电容器）和/或用于将计算装置4000的组件耦接到与计算装置4000分离的能源（例如，ac线路电源）的电路系统。
54.计算装置4000可以包含显示装置4010（例如，多个显示装置）。显示装置4010可以包含任何视觉指示器，诸如平视显示器、计算机监测器、投影仪、触摸屏显示器、液晶显示器（lcd）、发光二极管显示器或平板显示器。
55.计算装置4000可以包含其他输入/输出（i/o）装置4012。其他i/o装置4012可以包含例如一个或多个音频输出装置（例如，扬声器、耳机、耳塞、警报器等）、一个或多个音频输入装置（例如，麦克风或麦克风阵列）、定位装置（例如，如本领域已知的与基于卫星的系统通信以接收计算装置4000的位置的gps装置）、音频编解码器、视频编解码器、打印机、传感器（例如，热电偶或其他温度传感器、湿度传感器、压力传感器、振动传感器、加速度计、陀螺仪等）、图像捕获装置（诸如相机）、键盘、光标控制装置（诸如鼠标、手写笔、轨迹球或触摸板）、条形码阅读器、快速响应（qr）代码阅读器或射频识别（rfid）阅读器。
56.计算装置4000可以具有针对其应用和设置的任何合适的形状因数，诸如手持式或移动计算装置（例如，蜂窝电话、智能电话、移动互联网装置、平板计算机、笔记本计算机、上网本计算机、超级本计算机、个人数字助理（pda）、超移动个人计算机等）、台式计算装置或服务器计算装置或其他联网计算组件。
57.实施本文所公开的任一种cpm支持模块或方法的一个或多个计算装置可以是cpm支持系统的一部分。图8是根据各个实施例的可以在其中执行本文所公开的cpm支持方法中的一些或全部cpm支持方法的示例cpm支持系统5000的框图。本文所公开的cpm支持模块和方法（例如，图1的cpm支持模块1000和图5的方法2000）可以由cpm支持系统5000的cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的一个或多个实施。
58.cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的任何一个可以包含本文参考图7讨论的计算装置4000的实施例中的任何一个，并且cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的任何一个可以采用本文参考图7讨论的计算装置4000的实施例中的任何适当的实施例的形式。
59.cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040可以各自包含处理装置5002、存储装置5004和接口装置5006。处理装置5002可以采用任何合适的形式，包含本文参考图4讨论的处理装置4002中的任何一个的形式，并且cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的不同装置中包含的处理装置5002可以采用相同的形式或不同的形式。存储装置5004可以采用任何合适的形式，包含本文参考图4讨论的存储装置5004中的任何一个的形式，并且cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的不同装置中包含的存储装置5004可以采用相同的形式或不同的形式。接口装置5006可以采用任何合适的形式，包含
本文参考图4讨论的接口装置4006中的任何一个的形式，并且cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030或远程计算装置5040中的不同装置中包含的接口装置5006可以采用相同的形式或不同的形式。
60.cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030和远程计算装置5040可以经由通信路径5008与cpm支持系统5000的其他元件通信。通信路径5008可以通信地耦接cpm支持系统5000的元件中的不同元件的接口装置5006，如图所示，并且可以是有线或无线通信路径（例如，根据本文参考图7的计算装置4000的接口装置4006讨论的通信技术中的任何一种）。图8中描绘的特定cpm支持系统5000包含在每对cpm 5010、用户本地计算装置5020、服务本地计算装置5030和远程计算装置5040之间的通信路径，但是这种“完全连接”的实施方式只是说明性的，并且在各个实施例中，可能不存在通信路径5008中的各种通信路径。例如，在一些实施例中，服务本地计算装置5030在其接口装置5006与cpm 5010的接口装置5006之间可能没有直接通信路径5008，而是替代地可以经由服务本地计算装置5030与用户本地计算装置5020之间的通信路径5008和用户本地计算装置5020与cpm 5010之间的通信路径5008来与cpm 5010通信。
61.用户本地计算装置5020可以是对cpm 5010的用户而言为本地的计算装置（例如，根据本文讨论的计算装置4000的实施例中的任何一个）。在一些实施例中，用户本地计算装置5020也可以是对cpm 5010而言为本地的，但这不一定是这种情况；例如，位于用户家中或办公室中的用户本地计算装置5020可以远离cpm 5010但与其通信，使得用户可以使用用户本地计算装置5020来控制和/或访问来自cpm 5010的数据。在一些实施例中，用户本地计算装置5020可以是膝上型计算机、智能电话或平板计算机装置。在一些实施例中，用户本地计算装置5020可以是便携式计算装置。
62.服务本地计算装置5030可以是对服务于cpm 5010的实体而言为本地的计算装置（例如，根据本文讨论的计算装置4000的实施例中的任何一个）。例如，服务本地计算装置5030对于cpm 5010的制造商或第三方服务公司而言可以是本地的。在一些实施例中，服务本地计算装置5030可以与cpm 5010、用户本地计算装置5020和/或远程计算装置5040（例如，如上文所讨论的，经由直接通信路径5008或经由多个“间接”通信路径5008）通信，以接收关于cpm 5010、用户本地计算装置5020和/或远程计算装置5040的操作的数据（例如，cpm 5010的自测试结果、由cpm 5010所使用的校准系数、与cpm 5010相关联的传感器的测量等）。在一些实施例中，服务本地计算装置5030可以与cpm 5010、用户本地计算装置5020和/或远程计算装置5040（例如，如上文所讨论的，经由直接通信路径5008或经由多个“间接”通信路径5008）通信，以向cpm 5010、用户本地计算装置5020和/或远程计算装置5040发送数据（例如，以更新cpm 5010中的编程指令诸如固件，以启动执行cpm 5010中的测试或校准序列，以更新用户本地计算装置5020或远程计算装置5040中的编程指令诸如软件等）。cpm 5010的用户可以利用cpm 5010或用户本地计算装置5020与服务本地计算装置5030通信以报告cpm 5010或用户本地计算装置5020的问题、请求来自技术人员来访从而改进cpm 5010的操作、订购与cpm 5010相关联的耗材或替换部件或出于其他目的。
63.远程计算装置5040可以是远离cpm 5010和/或用户本地计算装置5020的计算装置（例如，根据本文讨论的计算装置4000的实施例中的任何一个）。在一些实施例中，远程计算装置5040可以包含在数据中心或其他大型服务器环境中。在一些实施例中，远程计算装置
5040可以包含网络附接存储（例如，作为存储装置5004的一部分）。远程计算装置5040可以存储由cpm 5010生成的数据、对cpm 5010生成的数据执行分析（例如，根据编程指令）、促进用户本地计算装置5020与cpm 5010之间的通信和/或促进服务本地计算装置5030与cpm 5010之间的通信。
64.在一些实施例中，可能不存在图8中所展示的cpm支持系统5000的元件中的一个或多个元件。进一步地，在一些实施例中，可能存在图8中的cpm支持系统5000的元件的各种元件中的多个元件。例如，cpm支持系统5000可以包含多个用户本地计算装置5020（例如，与不同用户相关联或在不同位置的不同用户本地计算装置5020）。在另一个示例中，cpm支持系统5000可以包含多个cpm 5010，这些多个cpm全部与服务本地计算装置5030和/或远程计算装置5040通信；在这种实施例中，服务本地计算装置5030可以监测这些多个cpm 5010，并且服务本地计算装置5030可以引起更新或者其他信息可以同时“广播”到多个cpm 5010。cpm支持系统5000中的cpm 5010中的不同cpm可以被定位成邻近彼此（例如，在同一个房间中）或远离彼此（例如，在建筑物的不同楼层、在不同的建筑物中、在不同的城市等）。在一些实施例中，cpm 5010可以连接到物联网（iot）堆栈，该iot堆栈允许通过基于网络的应用程序、虚拟或增强现实应用程序、移动应用程序和/或桌面应用程序来命令和控制cpm 5010。这些应用程序中的任何一个都可以由操作用户本地计算装置5020的用户访问，该用户本地计算装置通过居间的远程计算装置5040与cpm 5010通信。在一些实施例中，制造商可以将cpm 5010连同一个或多个相关联的用户本地计算装置5020一起作为本地cpm计算单元5012的一部分出售。
65.以下段落提供了本文公开的实施例的各个示例。
66.示例1是一种带电粒子显微镜支持设备，其包含：第一逻辑，其用于识别带电粒子相机的缺陷像素区域，其中带电粒子相机无法检测缺陷像素区域中的带电粒子事件；第二逻辑，其用于生成第一带电粒子事件指示符，该第一带电粒子事件指示符识别在缺陷像素区域之外的第一带电粒子事件的第一时间和第一位置，其中第一带电粒子事件由带电粒子相机检测；第三逻辑，其用于生成第二带电粒子事件指示符，该第二带电粒子事件指示符识别缺陷像素区域中的第二时间和第二位置；以及第四逻辑，其用于输出表示带电粒子事件指示符的数据。
67.示例2包含根据示例1所述的主题，并且进一步指定第二带电粒子事件指示符不表示由带电粒子相机检测到的带电粒子事件。
68.示例3包含根据示例1-2中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一带电粒子事件来生成第二带电粒子事件指示符。
69.示例4包含根据示例1-3中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一时间来生成第二带电粒子事件指示符。
70.示例5包含根据示例1-4中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一位置来生成第二带电粒子事件指示符。
71.示例6包含根据示例1-5中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一带电粒子事件来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
72.示例7包含根据示例1-6中任一项所述的主题，并且进一步指定第一位置与第二位置相邻。
73.示例8包含根据示例1-7中任一项所述的主题，并且进一步指定第一时间等于第二时间。
74.示例9包含根据示例1-8中任一项所述的主题，并且进一步指定第一时间与和第二时间相同的帧相关联。
75.示例10包含根据示例1-9中任一项所述的主题，并且进一步指定第四逻辑输出的数据表示未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件，并且第三逻辑用于至少部分地基于未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
76.示例11包含根据示例10所述的主题，并且进一步指定第二位置与第三位置相邻。
77.示例12包含根据示例10-11中任一项所述的主题，并且进一步指定第二时间等于第三时间。
78.示例13包含根据示例1-12中任一项所述的主题，并且进一步指定第二时间与和第三时间相同的帧相关联。
79.示例14包含根据示例1-13中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一位置和第二位置之间的距离来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
80.示例15包含根据示例14所述的主题，并且进一步指定第四逻辑输出的数据表示未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件，并且第三逻辑用于至少部分地基于第二位置和第三位置之间的距离来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
81.示例16包含根据示例1-15中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一时间和第二时间之间的差异来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
82.示例17包含根据示例1-16中任一项所述的主题，并且进一步指定第四逻辑输出的数据表示未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件，并且第三逻辑用于至少部分地基于第二时间和第三时间之间的差异来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
83.示例18包含根据示例1-17中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于基于在邻近第二位置的一个或多个位置处发生的一个或多个带电粒子事件来生成第二带电粒子事件指示符。
84.示例19包含根据示例18所述的主题，并且进一步指定邻近第二位置的一个或多个位置是与第二位置相邻的一个或多个位置。
85.示例20包含根据示例19所述的主题，并且进一步指定第二位置包含像素，并且与第二位置相邻的一个或多个位置是与该像素相邻的一个或多个像素。
86.示例21包含根据示例18-19中任一项所述的主题，并且进一步指定邻近第二位置的一个或多个位置包含第一邻近位置和第二邻近位置，并且第三逻辑用于基于第一邻近位置处的带电粒子事件以比第二邻近位置处的带电粒子事件更大的概率来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
87.示例22包含根据示例18-21中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于以生成第二带电粒子事件指示符和不生成第二带电粒子事件的不等概率来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
88.示例23包含根据示例1-22中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素行。
89.示例24包含根据示例1-22中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含单个像素。
90.示例25包含根据示例1-22中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含多个相邻的像素行。
91.示例26包含根据示例1-22中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素的矩形区域。
92.示例27包含根据示例1-22中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素的非矩形区域。
93.示例28包含根据示例1-27中任一项所述的主题，并且进一步指定第四逻辑输出的数据包含电子事件表示（eer）数据。
94.示例29包含根据示例1-28中任一项所述的主题，并且进一步指定第二带电粒子事件指示符识别第二带电粒子事件指示符不表示检测到的带电粒子事件。
95.示例30包含根据示例1-28中任一项所述的主题，并且进一步指定第二带电粒子事件指示符不识别第二带电粒子事件指示符不表示检测到的带电粒子事件。
96.示例31包含根据示例1-30中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑用于在可扩展标记语言（xml）文件、javascript对象表示法（json）文件或逗号分隔值（csv）文件中提供表示缺陷像素区域的数据。
97.示例32包含根据示例1-31中任一项所述的主题，并且进一步指定第四逻辑用于输出表示缺陷像素区域的数据以及表示带电粒子事件指示符的数据。
98.示例33包含根据示例1-32中任一项所述的主题，并且进一步指定第四逻辑用于将数据输出到重建逻辑。
99.示例34包含根据示例33所述的主题，并且进一步指定重建逻辑用于执行单粒子分析或断层重建。
100.示例35包含根据示例1-34中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑、第二逻辑、第三逻辑和第四逻辑被包含在带电粒子相机中。
101.示例36包含根据示例1-35中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑用于通过生成缺陷像素列表来识别缺陷像素区域。
102.示例37包含根据示例1-36中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑用于存储缺陷像素区域的初始标识并且在带电粒子相机的操作开始之后更新第一逻辑对缺陷像素区域的标识。
103.示例38包含根据示例1-37中任一项所述的主题，并且进一步指定第四逻辑用于通过流式传输表示带电粒子事件指示符的数据来输出表示带电粒子事件指示符的数据。
104.示例39包含根据示例1-38中任一项所述的主题，并且进一步指定带电粒子相机被包含在带电粒子显微镜中。
105.示例40包含根据示例39所述的主题，并且进一步包含：带电粒子相机的带电粒子传感器以用于检测带电粒子事件。
106.示例41包含根据示例1-40中任一项所述的主题，并且进一步指定第二带电粒子事件指示符是多个带电粒子事件指示符中的一个，并且第三逻辑用于生成单独识别缺陷像素区域中的相关联时间和相关联位置的多个带电粒子事件指示符。
107.示例42包含根据示例41所述的主题，并且进一步指定多个带电粒子事件指示符不表示由带电粒子相机检测到的带电粒子事件。
108.示例43包括根据示例41-42中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一带电粒子事件来生成多个带电粒子事件指示符。
109.示例44包括根据示例41-43中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一时间来生成多个带电粒子事件指示符。
110.示例45包括根据示例41-44中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一位置来生成多个带电粒子事件指示符。
111.示例46包括根据示例41-45中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于至少部分地基于第一带电粒子事件来概率性地生成多个带电粒子事件指示符。
112.示例47包含根据示例41-46中任一项所述的主题，并且进一步指定相关联位置与第二位置相邻。
113.示例48包含根据示例41-47中任一项所述的主题，并且进一步指定第一时间等于相关联时间。
114.示例49包括根据示例41-48中任一项所述的主题，并且进一步指定第一时间与和相关联时间相同的帧相关联。
115.示例50是一种带电粒子显微镜支持设备，其包含：第一逻辑，其用于识别带电粒子相机的缺陷像素区域，其中带电粒子相机无法检测缺陷像素区域中的带电粒子事件；第二逻辑，其用于至少部分地基于在缺陷像素区域之外检测到的一个或多个带电粒子事件来针对缺陷像素区域中的位置生成带电粒子事件指示符；以及第三逻辑，其用于输出表示带电粒子事件指示符的数据。
116.示例51包含根据示例50所述的主题，并且进一步指定带电粒子事件指示符不表示由带电粒子相机检测到的带电粒子事件。
117.示例52包含根据示例50-51中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于在缺陷像素区域之外检测到的一个或多个带电粒子事件来概率性地生成带电粒子事件指示符。
118.示例53包含根据示例50-52中任一项所述的主题，并且进一步指定该位置是第一位置，并且在缺陷像素区域之外检测到的一个或多个带电粒子事件包含在与第一位置相邻的至少一个位置的带电粒子事件。
119.示例54包含根据示例50-53中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于在缺陷像素区域之外检测到的一个或多个带电粒子事件，通过当在缺陷像素区域之外的位置处发生带电粒子事件时以第一概率生成带电粒子事件和通过当在缺陷像素区域之外的位置处未发生带电粒子事件时以第二概率生成带电粒子事件，来概率性地生成带电粒子事件指示符。
120.示例55包含根据示例54所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域之外的位置是与缺陷像素区域相邻的位置。
121.示例56包含根据示例50-55中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于在帧捕获时间间隔中在缺陷像素区域之外检测到一个或多个带电粒子事件，在帧捕获时间间隔中针对缺陷像素区域中的位置生成带电粒子事件指示符。
122.示例57包含根据示例50-56中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于在帧捕获时间间隔之外在缺陷像素区域之外检测到一个或多个带电粒子事件，在帧捕获时间间隔中针对缺陷像素区域中的位置生成带电粒子事件指示符。
123.示例58包含根据示例50-57中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于在缺陷像素区域之外检测到的一个或多个带电粒子事件，通过当在缺陷像素区域之外的第一位置发生带电粒子事件时以第一概率生成带电粒子事件和通过当在缺陷像素区域之外的不同于第一位置的第二位置处发生带电粒子事件时以不同于第一概率的第二概率生成带电粒子事件，来概率性地生成带电粒子事件指示符。
124.示例59包含根据示例50-58中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素行。
125.示例60包含根据示例50-58中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含单个像素。
126.示例61包含根据示例50-58中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含多个相邻的像素行。
127.示例62包含根据示例50-58中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素的矩形区域。
128.示例63包含根据示例50-58中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素的非矩形区域。
129.示例64包含根据示例50-63中任一项所述的主题，并且进一步指定由第三逻辑输出的数据包含电子事件表示（eer）数据。
130.示例65包含根据示例50-64中任一项所述的主题，并且进一步指定带电粒子事件指示符识别带电粒子事件指示符不表示检测到的带电粒子事件。
131.示例66包含根据示例50-64中任一项所述的主题，并且进一步指定带电粒子事件指示符不识别带电粒子事件指示符不表示检测到的带电粒子事件。
132.示例67包含根据示例50-66中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑用于在可扩展标记语言（xml）文件、javascript对象表示法（json）文件或逗号分隔值（csv）文件中提供表示缺陷像素区域的数据。
133.示例68包含根据示例50-67中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于输出表示缺陷像素区域的数据以及表示带电粒子事件指示符的数据。
134.示例69包含根据示例50-68中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于将数据输出到重建逻辑。
135.示例70包含根据示例69所述的主题，并且进一步指定重建逻辑用于执行单粒子分析或断层重建。
136.示例71包含根据示例50-70中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑、第二逻辑和第三逻辑被包含在带电粒子相机中。
137.示例72包含根据示例50-71中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑用于通过生成缺陷像素列表来识别缺陷像素区域。
138.示例73包含根据示例50-72中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑用于存储缺陷像素区域的初始标识并且在带电粒子相机的操作开始之后更新第一逻辑对缺陷
像素区域的标识。
139.示例74包含根据示例50-73中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于通过流式传输表示多个带电粒子事件指示符的数据来输出表示多个带电粒子事件指示符的数据。
140.示例75包含根据示例50-74中任一项所述的主题，并且进一步指定带电粒子相机被包含在带电粒子显微镜中。
141.示例76包含根据示例75所述的主题，并且进一步包含：带电粒子相机的带电粒子传感器以用于检测带电粒子事件。
142.示例77是一种带电粒子显微镜支持设备，其包含：第一逻辑，其用于生成第一带电粒子事件指示符，该第一带电粒子事件指示符识别在带电粒子相机的缺陷像素区域之外的第一带电粒子事件的第一时间和第一位置，其中第一带电粒子事件由带电粒子相机检测；第二逻辑，其用于生成第二带电粒子事件指示符，该第二带电粒子事件指示符识别缺陷像素区域中的第二时间和第二位置；以及第三逻辑，其用于输出表示带电粒子事件指示符的数据。
143.示例78包含根据示例77所述的主题，并且进一步指定第二带电粒子事件指示符不表示由带电粒子相机检测到的带电粒子事件。
144.示例79包含根据示例77-78中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于第一带电粒子事件来生成第二带电粒子事件指示符。
145.示例80包含根据示例77-79中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于第一时间来生成第二带电粒子事件指示符。
146.示例81包含根据示例77-80中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于第一位置来生成第二带电粒子事件指示符。
147.示例82包含根据示例77-81中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于第一带电粒子事件来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
148.示例83包含根据示例77-82中任一项所述的主题，并且进一步指定第一位置与第二位置相邻。
149.示例84包含根据示例77-83中任一项所述的主题，并且进一步指定第一时间等于第二时间。
150.示例85包含根据示例77-84中任一项所述的主题，并且进一步指定第一时间与和第二时间相同的帧相关联。
151.示例86包含根据示例77-85中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑输出的数据表示未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件，并且第二逻辑用于至少部分地基于未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
152.示例87包含根据示例86所述的主题，并且进一步指定第二位置与第三位置相邻。
153.示例88包含根据示例86-87中任一项所述的主题，并且进一步指定第二时间等于第三时间。
154.示例89包含根据示例77-88中任一项所述的主题，并且进一步指定第二时间与和第三时间相同的帧相关联。
155.示例90包含根据示例77-89中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于第一位置和第二位置之间的距离来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
156.示例91包含根据示例90所述的主题，并且进一步指定第三逻辑输出的数据表示未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件，并且第二逻辑用于至少部分地基于第二位置和第三位置之间的距离来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
157.示例92包含根据示例77-91中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于至少部分地基于第一时间和第二时间之间的差异来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
158.示例93包含根据示例77-92中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑输出的数据表示未在第三时间和第三位置发生的带电粒子事件，并且第二逻辑用于至少部分地基于第二时间和第三时间之间的差异来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
159.示例94包含根据示例77-93中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于基于在邻近第二位置的一个或多个位置处发生的一个或多个带电粒子事件来生成第二带电粒子事件指示符。
160.示例95包含根据示例94所述的主题，并且进一步指定邻近第二位置的一个或多个位置是与第二位置相邻的一个或多个位置。
161.示例96包含根据示例95所述的主题，并且进一步指定第二位置包含像素，并且与第二位置相邻的一个或多个位置是与该像素相邻的一个或多个像素。
162.示例97包含根据示例95-96中任一项所述的主题，并且进一步指定邻近第二位置的一个或多个位置包含第一邻近位置和第二邻近位置，并且第二逻辑用于基于第一邻近位置处的带电粒子事件以比第二邻近位置处的带电粒子事件更大的概率来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
163.示例98包含根据示例95-97中任一项所述的主题，并且进一步指定第二逻辑用于以生成第二带电粒子事件指示符和不生成第二带电粒子事件的不等概率来概率性地生成第二带电粒子事件指示符。
164.示例99包含根据示例77-98中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素行。
165.示例100包含根据示例77-98中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含单个像素。
166.示例101包含根据示例77-98中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含多个相邻的像素行。
167.示例102包含根据示例77-98中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素的矩形区域。
168.示例103包含根据示例77-98中任一项所述的主题，并且进一步指定缺陷像素区域包含像素的非矩形区域。
169.示例104包含根据示例77-103中任一项所述的主题，并且进一步指定由第三逻辑输出的数据包含电子事件表示（eer）数据。
170.示例105包含根据示例77-104中任一项所述的主题，并且进一步指定第二带电粒
子事件指示符识别第二带电粒子事件指示符不表示检测到的带电粒子事件。
171.示例106包含根据示例77-104中任一项所述的主题，并且进一步指定第二带电粒子事件指示符不识别第二带电粒子事件指示符不表示检测到的带电粒子事件。
172.示例107包含根据示例77-106中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于输出表示缺陷像素区域的数据。
173.示例108包含根据示例107中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于在可扩展标记语言（xml）文件、javascript对象表示法（json）文件或逗号分隔值（csv）文件中输出表示缺陷像素区域的数据。
174.示例109包含根据示例77-107中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于输出表示缺陷像素区域的数据以及表示带电粒子事件指示符的数据。
175.示例110包含根据示例77-109中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于将数据输出到重建逻辑。
176.示例111包含根据示例110所述的主题，并且进一步指定重建逻辑用于执行单粒子分析或断层重建。
177.示例112包含根据示例77-111中任一项所述的主题，并且进一步指定第一逻辑、第一逻辑和第三逻辑被包含在带电粒子相机中。
178.示例113包含根据示例77-112中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于输出缺陷像素区域的缺陷像素列表。
179.示例114包含根据示例77-113中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于存储缺陷像素区域的初始标识并且在带电粒子相机的操作开始之后更新第三逻辑对缺陷像素区域的标识。
180.示例115包含根据示例77-114中任一项所述的主题，并且进一步指定第三逻辑用于通过流式传输表示带电粒子事件指示符的数据来输出表示带电粒子事件指示符的数据。
181.示例116包含根据示例77-115中任一项所述的主题，并且进一步指定带电粒子相机被包含在带电粒子显微镜中。
182.示例117包含根据示例116所述的主题，并且进一步包含：带电粒子相机的带电粒子传感器以用于检测带电粒子事件。
183.示例a包含本文公开的任何cpm支持模块。
184.示例b包含本文公开的任何方法。
185.示例c包含本文公开的任何gui。
186.示例d包含本文公开的任何cpm支持计算装置和系统。