1.一种制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,包含以下步骤:
2.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该第一阶段还包含:
3.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,在该第二阶段中,所述多个关键路径的所述多个预测模型包含所述多个工艺站的所述多个工艺装置的至少二者间的交互作用。
4.如权利要求3所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该第二阶段还包含:
5.如权利要求4所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该讯息准则演算法为一赤池信息量准则(akaike information criterion;aic),且该至少一阶层的数量小于5。
6.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该第二阶段还包含:
7.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,所述多个关键路径的一者包含多个关键工艺装置,所述多个关键工艺装置分别对应所述多个关键工艺站,所述多个关键路径的该者分类为一未走过路径与一已走过路径的一者,该未走过路径代表所述多个工件的其中该者于通过该生产线时在所述多个关键工艺站中未被所述多个关键工艺装置全部处理,该已走过路径代表所述多个工件的其中该者于通过该生产线时在所述多个关键工艺站中被所述多个关键工艺装置全部处理。
8.一种制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,用以搜寻一生产线的一最佳良率路径,该生产线包含多个工艺站,所述多个工艺站的每一者包含多个工艺装置,所述多个工艺装置的每一者是配置以处理多个工件的其中一者,其特征在于,该制造程序的最佳良率路径的搜寻系统包含:
9.如权利要求8所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,其特征在于,该第一阶段还包含:
10.如权利要求8所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,其特征在于,在该第二阶段中,所述多个关键路径的所述多个预测模型包含所述多个工艺站的所述多个工艺装置的至少二者间的交互作用。
11.如权利要求10所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,其特征在于,该第二阶段还包含:
12.如权利要求11所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,其特征在于,该讯息准则演算法为一赤池信息量准则(akaike information criterion;aic),且所述多个阶层的数量小于5。
13.如权利要求8所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,其特征在于,该第二阶段还包含:
14.如权利要求8所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,其特征在于,所述多个关键路径的一者包含多个关键工艺装置,所述多个关键工艺装置分别对应所述多个关键工艺站,所述多个关键路径的该者分类为一未走过路径与一已走过路径的一者,该未走过路径代表所述多个工件的其中该者于通过该生产线时在所述多个关键工艺站中未被所述多个关键工艺装置全部处理,该已走过路径代表所述多个工件的其中该者于通过该生产线时在所述多个关键工艺站中被所述多个关键工艺装置全部处理。