基于位置传感器的可容错对位方法、系统、设备及介质与流程

本发明涉及传感器，尤其涉及一种基于位置传感器的可容错对位方法、系统、设备及介质。

背景技术：

1、现有技术中，普遍使用面对面的传感器并将晶圆旋转所产生的亮暗条纹所记录，通过条纹的间隔距离得到晶圆圆心的偏移量，进一步对其进行位置的校正。这样做的缺点有两个，首先传感器为面对面型的传感器较为昂贵，相比于传统的点对点传感器，这无疑增大了成本；其次，当晶圆尺寸大小发生变化时，需要根据其尺寸移动该传感器，所以额外需要设计一个模块对传感器进行移动，这也增大了生产成本。

2、此外，通过多个点对点传感器阵列求出圆心的偏移量方法也较为普遍，通过晶圆的平动，每个传感器会接收到一对坐标位置，通过将每对位置相连线，得到每条连线的距离，通过每条线的距离判定得到圆心的偏移量。然而，由于传感器的探测可能存在失步，一些圆上的坐标可能不被记录。由于该方法基于每一条对应坐标点的连线计算圆心位置，所以当坐标点发生缺失时，无法组成连线，导致无法进行圆心的计算，从而得不到晶圆的偏移量。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本发明提供了一种基于位置传感器的可容错对位方法、系统、设备及介质。

2、为实现上述目的，本发明实施例提供了如下的技术方案：

3、第一方面，在本发明提供的一个实施例中，提供了一种基于位置传感器的可容错对位方法，该方法包括以下步骤：

4、将探测的晶圆圆上点坐标的采集坐标输入误差点判断模块进行有效点筛选，并将采集坐标中无效点删除；

5、通过三点求圆心坐标与四点求圆心坐标的方法分别对剩余有效点坐标进行遍历求圆心值，将所有的圆心值x与y对应的坐标相加并取平均即可得到最终的晶圆圆心坐标；

6、将最终的晶圆圆心坐标与正常的圆心值相比得到对应的偏移量，即需要校正的距离。

7、作为本发明的进一步方案，将探测的晶圆圆上点坐标时，基于点对点式的传感器探测晶圆圆上点坐标。

8、作为本发明的进一步方案，误差点判断模块进行有效点筛选时，包括：

9、将探测的晶圆每个圆上点坐标进行标号，通过三点计算圆的方式将计算出每三个圆上点坐标产生的圆心坐标，并记录计算圆心点所用的圆上点序号作为序列；

10、根据每个圆心值对应的序列值，将两两圆心值进行比较，判断两个圆心对应的x与y坐标值分别相减后是否在预先设置区间范围内；

11、如果在区间范围内，则说明这两个圆心坐标位置近似，如果超出区间范围，记录下两个圆心所对应的序列；

12、将所有的圆心都两两进行比较后，统计整个记录序列中每个序号的出现的比例，在整个的统计序列中，将误差点序号出现的比例高于平均比例的所有的误差点找出并进行排除。

13、作为本发明的进一步方案，采集坐标输入误差点判断模块进行有效点筛选时，还包括：

14、输入n个采集坐标点，给每个坐标赋值序号；

15、取第i个序号所对应的坐标，其中，i=1、2、3…n，n为正整数；

16、所取坐标与其他点坐标相连线形成直线，并计算每条直线的垂直平分线，记录每两条垂直平分线的交点，及交点所对应的三个坐标序号；

17、直至每个坐标赋值序号全部取完，得到个交点, 并依次赋值序号;

18、取第j个序号所对应的交点，其中，j=1；

19、判断其他交点是否在第j个交点范围内，若不在，则记录j点与不在范围内的交点分别所对应的圆上三个坐标取号，并进入下一步；若在则直接进行下一步；

20、通过公式计算每个序号的出现频率，并计算平均频率值，每次计算完成均进行下一赋值序号的计算，直至所有计算完成；

21、直至各序号出现频率小于平均频率值时，序号所对应的坐标值有效。

22、作为本发明的进一步方案，通过三点求圆心坐标时，三点求圆心公式为：

23、已知固定三点；

24、中点，中点

25、斜率，斜率

26、垂直平分线斜率，垂直平分线斜率

27、垂直平分线方程

28、垂直平分线方程

29、联立即可得圆心坐标。

30、作为本发明的进一步方案，通过四点求圆心坐标时，四点求圆心公式为：

31、已知固定四点

32、中点,中点

33、斜率,斜率

34、垂直平分线斜率，垂直平分线斜率

35、垂直平分线方程

36、垂直平分线方程

37、联立即可得圆心坐标。

38、作为本发明的进一步方案，已知两点及各自直线斜率，求交点公式为：

39、两点：、斜率：、

40、两直线方程、

41、联立可得，。

42、作为本发明的进一步方案，采集坐标输入误差点判断模块进行有效点筛选时，包括：

43、将输入的n个坐标点两两相连组成线段，共会产生条线段，分别求出每条线段的中点坐标及与该线段垂直的斜率，得到个中点坐标与个斜率值；

44、将中点坐标以及斜率带入点斜式方程中可以得到m条垂直平分线方程；

45、将m条垂直平分线方程两两联立，产生个交点，实际得到的交点总数为个，其中d为探测器的个数；

46、将这s个点进行两两比较，若两坐标x与y的坐标差值均在给定范围内，则记录这两个点共同所对应的八个序号，若两坐标x与y的坐标差值均在给定范围外，则不做记录；

47、在所有交点都比较完成后，统计各个序号出现的频率，如果小于序号的平均频率即其中，为输入坐标的个数，则说明这个序号所对应的坐标为无效点坐标；

48、在之前获得的所有交点中，剔除含有无效点坐标的交点，将剩下的交点坐标对应相加取平均值，即可得到最终的圆心坐标，进一步得到圆心的偏移量。

49、第二方面，在本发明提供的另一个实施例中，提供了一种基于位置传感器的可容错对位系统，包括：

50、误差点判断模块，用于将探测的晶圆圆上点坐标的采集坐标输入误差点判断模块进行有效点筛选，并将采集坐标中无效点删除；

51、圆心坐标计算模块，用于通过三点求圆心坐标与四点求圆心坐标的方法分别对剩余有效点坐标进行遍历求圆心值，将所有的圆心值x与y对应的坐标相加并取平均即可得到最终的晶圆圆心坐标；

52、偏移量计算模块，用于将最终的晶圆圆心坐标与正常的圆心值相比得到对应的偏移量，即需要校正的距离。

53、第三方面，在本发明提供的又一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器加载并执行所述计算机程序时实现基于位置传感器的可容错对位方法的步骤。

54、第四方面，在本发明提供的再一个实施例中，提供了一种存储介质，存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器加载并执行时实现所述基于位置传感器的可容错对位方法的步骤。

55、本发明提供的技术方案与现有技术方案相比，具有如下有益效果：

56、本发明提供的一种基于位置传感器的可容错对位方法、系统、设备及介质，由于使用的为点对点的传感器采集圆上坐标，在传感器位置确定的情况下，晶圆的尺寸变化时也不需要额外的装置对传感器进行移动，相比于面对面的传感器计算晶圆的圆心的装置，本发明方案节约了设计上的成本。与传统的点对点传感器的求圆心方案相比，由于本发明方案求取圆心的方式为三点连线计算圆心的方法，所以能够在传感器的探测存在失步、无法取得某些坐标点的情况下，依然可以对晶圆圆心的坐标进行精确的计算。最后，本发明方案的误差点判断模块，可以进一步保证圆心计算过程中的准确性，减少晶圆圆心计算过程中的误差。

57、本发明的这些方面或其他方面在以下实施例的描述中会更加简明易懂。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。