1.一种用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，
2.如权利要求1所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，所述带有反向积分器的xe电路模块包括：电阻r1～r3、电容c1、运算放大器u1～u2；所述电阻r2的输入端连接所述带有反向积分器的ye电路模块的输出端；所述电阻r2的输出端与所述运算放大器u1的反向输入端相连接；所述电阻r1的输入端与所述电阻r2的输出端相连接；所述电阻r1的输出端与所述运算放大器u1的输出端相连接；所述电阻r3的输入端与所述运算放大器u1的输出端相连接；所述电阻r3的输出端与所述运算放大器u2的反向输入端相连接；所述电容c1的输入端与所述电阻r3的输出端相连接，所述电容c1的输出端与所述运算放大器u2的输出端相连接；所述运算放大器u1和所述运算放大器u2的正向输入端接地；所述运算放大器u1和所述运算放大器u2的正向供电管脚为7管脚，所述7管脚连接直流电源vcc；所述运算放大器u1和所述运算放大器u2的负向供电管脚为4管脚，所述4管脚连接直流电源vee。
3.如权利要求1所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，所述带有反向积分器的ye电路模块包括ae电路子模块，be电路子模块，ce电路子模块，de电路子模块和ye主支电路子模块，所述ye主支电路子模块的输入端连接所述ae电路子模块，所述be电路子模块，所述ce电路子模块，所述de电路子模块的输出端；所述be电路子模块、所述ce电路子模块和所述de电路子模块共用电阻r29～r31；所述be电路子模块、所述ce电路子模块和所述de电路子模块共用运算放大器u13；所述be电路子模块、所述ce电路子模块和所述de电路子模块共用乘法器a3；在所述be电路子模块、所述ce电路子模块和所述de电路子模块中，所述乘法器a3的输入端均连接所述运算放大器u13的输出端；在所述be电路子模块、所述ce电路子模块和所述de电路子模块中，所述乘法器a3的输出端连接电路器件各不相同。
4.如权利要求3所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，所述ae电路子模块包括电阻r4、r6、r19和运算放大器u3；所述电阻r6的输入端连接运算放大器u12的输出端；所述电阻r6的输出端连接运算放大器u3的反向输入端；所述电阻r4的输入端连接运算放大器u2的输出端；所述电阻r4的输出端连接所述运算放大器u3的反向输入端；所述电阻r19的输入端连接所述运算放大器u3的反向输入端；所述电阻r19的输出端连接所述运算放大器u3的输出端；所述运算放大器u3的正向输入端接地；所述运算放大器u3的正向供电管脚为7管脚，所述7管脚连接直流电源vcc；所述运算放大器u3的负向供电管脚为4管脚，所述4管脚连接直流电源vee。
5.如权利要求3所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，be电路子模块包括电阻r5、r7、r8、r29～r31，运算放大器u4、u13，乘法器a1～a3，除法器a6；所述电阻r29的输入端连接运算放大器u2的输出端；所述电阻r29的输出端连接所述运算放大器u13的反向输入端；所述运算放大器u13的反向输入端连接电阻r20的输出端；所述电阻r20的输入端连接直流电信号v1；所述电阻r31的输入端连接所述运算放大器u13的反向输入端；所述电阻r31的输出端连接所述运算放大器u13的输出端；所述电阻r5的输入端连接所述乘法器a1的输出端；所述电阻r5的输出端连接所述运算放大器u4的反向输入端；所述电阻r7的输入端连接所述除法器a6的输出端；所述电阻r7的输出端连接所述运算放大器u4的反向输入端；所述电阻r8的输入端连接所述运算放大器u4的反向输入端；所述电阻r8的输出端连接所述运算放大器u4的输出端；所述乘法器a2的两个输入端均连接所述运算放大器u2的输出端；所述乘法器a2的输出端连接所述乘法器a1的一个输入端；所述乘法器a1的一个输入端连接所述乘法器a2的输出端，所述乘法器a1的另一个输入端连接所述运算放大器u2的输出端；所述乘法器a1的输出端连接所述电阻r5的输入端；所述乘法器a3的两个输入端均连接所述运算放大器u4的输出端；所述乘法器a3的输出端连接所述除法器a6的分母输入端；所述除法器a6的分子输入端连接直流电信号v0，所述除法器a6的分母输入端连接所述乘法器a3输出端；所述除法器a6的输出端连接所述电阻r7的输入端；所述运算放大器u3的正向输入端接地；所述运算放大器u4和所述运算放大器u13的正向输入端接地；所述运算放大器u4和所述运算放大器u13的正向供电管脚为7管脚，所述7管脚连接直流电源vcc；所述运算放大器u4和所述运算放大器u13的负向供电管脚为4管脚，所述4管脚连接直流电源vee。
6.如权利要求3所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，ce电路子模块包括电阻r9～r11、电阻r29～r31，运算放大器u5、u13，乘法器a3、a4、a7，除法器a5、a8；所述电阻r9的输入端连接所述除法器a5的输出端；所述电阻r9的输出端连接所述运算放大器u5的反向输入端；所述电阻r10的输入端连接所述乘法器a7的输出端；所述电阻r10的输出端连接所述运算放大器u5的反向输入端；所述电阻r11的输入端连接所述运算放大器u5的反向输入端；所述电阻r11的输出端连接所述运算放大器u5的输出端；所述乘法器a3的输出端连接所述乘法器a4的两个输入端；所述乘法器a4的输出端连接所述除法器a5的分母输入端和所述除法器a8的分母输入端；所述除法器a5的分子输入端连接直流电信号v0；所述除法器a5的分母输入端连接所述乘法器a4的输出端；所述除法器a5的输出端连接所述电阻r9的输入端；所述除法器a8的分子输入端连接所述直流电信号v0；所述除法器a8的分母输入端连接所述乘法器a4的输出端；所述除法器a5的输出端连接所述乘法器a7的两个输入端；所述乘法器a7的输出端连接所述电阻r10的输入端；所述运算放大器u5的正向输入端接地；所述运算放大器u5的正向输入端接地；所述运算放大器u5的正向供电管脚为7管脚，所述7管脚连接直流电源vcc；所述运算放大器u5的负向供电管脚为4管脚，所述4管脚连接直流电源vee。
7.如权利要求3所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，de电路子模块包括电阻r29～r33，电容c2，运算放大器u6、u8、u13、u14，乘法器a3、a10、a12，除法器a11；所述电阻r33的输入端连接所述乘法器a10的输出端；所述电阻r33的输出端连接运算所述放大器u14的反向输入端；所述电阻r32的输入端连接所述运算放大器u14的反向输入端；所述电阻r32的输出端连接所述运算放大器u14的输出端；所述电容c2的输出端连接电阻r12的输入端；所述电阻r12的输出端连接所述运算放大器u6的输出端；所述运算放大器u6的输出端连接电阻r15的输入端；所述电阻r15的输出端连接所述运算放大器u8的反向输入端；所述乘法器a12的输出端连接电阻r16的输入端；所述电阻r16的输出端连接所述运算放大器u8的反向输入端；所述运算放大器u8的反向输入端连接电阻r17的输入端；所述电阻r17的输出端连接所述运算放大器u8的输出端；所述电容c2的输入端连接交流电信号xfg1的正向输出端；所述电容c2的输出端连接所述运算放大器u6的反向输入端；所述乘法器a10的一个输入端连接所述乘法器a3的输出端，所述乘法器a10的另一个输入端连接所述运算放大器u13的输出端；所述乘法器a10的输出端连接所述电阻r33的输入端；所述乘法器a12的一个输入端连接运算放大器u12的输出端，所述乘法器a12的另一个输入端连接所述乘法器a11的输出端；所述除法器a11的分子输入端连接直流电信号v0，所述除法器a11的分母输入端连接所述运算放大器u14的输出端；所述交流电信号xfg1的负向输出端和com公共输出端接地；所述运算放大器u6、u8、u14的正向输入端接地；所述运算放大器u6、u8、u14的正向供电管脚为7管脚，所述7管脚连接直流电源vcc；所述运算放大器u6、u8、u14的负向供电管脚为4管脚，所述4管脚连接直流电源vee。
8.如权利要求3所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，ye主支电路子模块包括电阻r13、r14、r18、r20～r28，电容c3，运算放大器u7、u9～u12；所述电阻r13的输入端连接ae电路子模块的输出端，即电阻r13的输入端连接运算放大器u3的输出端；电阻r13的输出端连接运算放大器u7的反向输入端；电阻r14的输入端连接be电路子模块的输出端，即电阻r14的输入端连接运算放大器u4的输出端；电阻r14的输出端连接运算放大器u7的反向输入端；所述电阻r20的输入端连接运算放大器u5的输出端；所述电阻r20的输出端连接所述运算放大器u9的反向输入端；所述电阻r21的输入端连接运算放大器u8的输出端；所述电阻r21的输出端连接所述运算放大器u9的反向输入端；所述电阻r18的输入端连接所述运算放大器u7的反向输入端；所述电阻r18的输出端连接所述运算放大器u7的输出端；所述电阻r22的输入端连接所述运算放大器u9的反向输入端；所述电阻r22的输出端连接所述运算放大器u9的输出端；所述电阻r24的输入端连接所述运算放大器u7的输出端；所述电阻r24的输出端连接所述运算放大器u10的反向输入端；所述电阻r23的输入端连接所述运算放大器u10的反向输入端；所述电阻r23的输出端连接所述运算放大器u10的输出端；所述电阻r25的输入端连接所述运算放大器u10的输出端；所述电阻r25的输出端连接所述运算放大器u11的反向输入端；所述电阻r26的输入端连接所述运算放大器u9的输出端；所述电阻r26的输出端连接所述运算放大器u11的反向输入端；所述电阻r27的输入端连接所述运算放大器u11的反向输入端；所述电阻r27的输出端连接所述运算放大器u11的输出端；所述电阻r28的输入端连接所述运算放大器u11的输出端；所述电阻r28的输出端连接所述运算放大器u12的反向输入端；所述电容c3的输入端连接所述运算放大器u12的反向输入端；所述电容c3的输出端连接所述运算放大器u12的输出端。
9.如权利要求1所述的用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，其特征在于，还包括所述带有反向积分器的xe电路模块和所述带有反向积分器的ye电路模块形成xe信号通道和ye信号通道，生成用于表征afm微悬臂梁运动特性的二元一阶高次非线性状态空间方程：