一种用于半导体测试的实时监控方法及装置与流程

本发明属于半导体测试，具体涉及一种用于半导体测试的实时监控方法及装置。

背景技术：

1、在对集成电路芯片进行测试过程中，需要对测试数据进行监控、分析，以实现集中处理和分析。测试数据分析是设计公司、晶圆厂、封测厂等发现问题的一个重要手段，并且也常用于cp、ft、pe、te等阶段。

2、例如，专利cn115857594a给出一种基于人工智能的芯片制造现场环境智能管控系统，用于解决现有技术中的芯片制造现场环境智能管控系统，无法对制造现场中的制冷加压设备运行状态进行检测，导致制造现场的环境稳定性低下的问题，具体是一种基于人工智能的芯片制造现场环境智能管控系统，包括智能管控平台，智能管控平台通信连接有预检测模块、制造控制模块、实时监控模块、周期管理模块、更新监测模块、切断优化模块以及存储模块；在该方案中，在芯片制造开始之前进行环境预检测分析，并通过鼓风机与冷气空调对制造现场进行降温干燥加压，来将芯片制造现场的所有灰尘全部排除，以保证制造现场的洁净度。

3、常规的测试数据分析方法是对测试数据进行及时分析，在出现网络问题时，容易使得测试数据分析过程出现中断，甚至导致分析结果出错。

4、因此，如何提供一种可以实现芯片测试持续监控的方法是本领域亟待解决的问题。

技术实现思路

1、针对上述现有技术中存在的缺陷，本发明提供了一种用于半导体测试的实时监控方法及装置。可以准确获取测试过程中不同环节的测试数据，并且数据解析及传输实时性高，便于在测试过程中发现问题并进行异常预警。

2、第一方面，本发明提供一种用于半导体测试的实时监控方法，具体包括如下步骤：

3、获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；

4、基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；

5、基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；

6、结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。

7、进一步的，获取数据存储文件，具体包括：

8、自预设实时监控的测试机台，并采集生产产生的测试数据内容，生成对应的数据存储文件；

9、至少每隔一个半导体测试周期读取一次数据存储文件。

10、进一步的，实时监控的测试机台包括93k、ultra flex、j750hd、paxac和pax的至少一种，测试数据内容包括每个测试项目的名称、测试值、limit、ic测试顺序和测试bin的至少一种。

11、进一步的，基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表，具体包括如下步骤：

12、对获取的数据存储文件进行类型分析，确定数据存储文件的创建状态；

13、基于数据存储文件的创建状态，在指定文件路径生成与数据存储文件存在映射关系的临时文件；

14、将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件；

15、基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表。

16、进一步的，数据存储文件的监测数据包括若干段含多字节的数据片段，数据片段包括沿读写顺序排列依次排列的消息长度、消息类型及消息体，消息体包括测试数据、测试对象数据和参数信息。

17、进一步的，将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件，具体包括如下步骤：

18、通过数据存储文件的写入位置，在预设时间间隔内实时监测数据存储文件的属性参数变化；

19、基于属性参数变化情况，比较数据存储文件中消息长度及消息类型的变化，并区划数据存储文件内的增量字节，将增量字节同时同步更新复制至临时文件。

20、基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表，包括：

21、对消息长度进行识别得到消息体的字节长度；

22、对消息类型进行识别给出消息体的数据类型，以及按读写顺序排列的测试环节；其中，消息类型包括数字类型和文本类型；

23、根据读写顺序对消息体进行识别，给出数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度；

24、基于按读写顺序排列的测试环节、数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度，给出数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段；

25、基于读写顺序对文本类型进行识别，确定文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节；

26、基于按读写顺序排列的测试环节，数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段，以及文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节，给出文本类型中所有测试环节对应的字节长度片段；

27、解析消息体中所有测试环节对应的字节长度片段，并结合消息长度、消息类型和消息体的识别结果，给出数据解析报表。

28、进一步的，基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据，包括：

29、根据增量字节的更新复制状态，确定增量字节更新复制的起始节点和终止节点；

30、基于增量字节更新复制的起始节点和终止节点，确定数据解析报表的更新区间；

31、根据数据解析报表的更新区间，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容；

32、其中，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容，满足以下关系包括：

33、

34、<mi>f</mi><mi>x</mi></mfenced><mi>=y=f</mi><mrow><mi>x,</mi><msub><mi>[x</mi><mi>row_num</mi></msub><mi>,1]</mi></mrow></mfenced><mi>,row_num</mi><mi>∈</mi><mi>5,s</mi></mfenced>

35、

36、式中，x为某个测试环节，y为数据解析报表的更新区间中搜索后给出的规则行，z为对应更新区间中测试环节对应的测试数据内容，f（）为规则行y与测试环节x之间的函数，f为搜索函数，g（）为测试数据内容与测试环节之间的函数，m为匹配函数，s为规则行总数，row_num为所有测试环节对应的规则行区间，ti为第i规则行的数据类型，ty为第y规则行的数据类型，column_num为所有测试环节对应的规则列区间，tli为第i规则行对应增量字节中的字节长度，tly为第y规则行对应增量字节中的字节长度。

37、进一步的，结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警，具体包括如下步骤：

38、根据预警规则获取不同类型监测数据的预定阈值；

39、将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，给出超过预定阈值的测试数据内容；

40、根据超过预定阈值的测试数据内容，生成对应的预警信息和指令。

41、进一步的，预警信息包括测试颗数、预定阈值、实际测试值。

42、进一步的，将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，包括：

43、将测试数据内容中的良率与预定区间进行对比，将测试数据内容中bin在目标bin列表中出现次数与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中连续出现目标bin列表中bin的次数与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的mean值与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中良率在不同site之间的差距与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的mean值在不同site之间的差距与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的mean值在一定范围内连续上升的大小与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的mean值在一定范围内连续下降的大小与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中混料情况与其对应的预设混料情况进行对比。

44、进一步的，将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，还包括：

45、将测试数据内容所对应测试的集成电路数量与其对应的预定阈值进行对比；

46、将增量文件的滚动计算与其对应的预定阈值进行对比；

47、将增量文件中超过预定阈值的数量与其对应的报警次数阈值进行对比。

48、进一步的，生成对应的预警信息，包括：

49、对半导体测试信息进行展示，并给出预警提示。

50、进一步，对半导体测试信息进行展示，并给出预警提示，具体包括：

51、好品良率、各个次品bin的良率和不同site的好品liang。

52、第二方面，本发明还提供一种用于半导体测试的实时监控装置，采用上述用于半导体测试的实时监控方法，包括：

53、采集单元，用于获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；

54、分析单元，用于基于监测数据的格式，对数据存储文件进行实时解析，形成数据解析报表；

55、增量单元，用于基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；

56、预警单元，用于结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。

57、本发明提供的一种用于半导体测试的实时监控方法及装置，至少包括如下有益效果：

58、（1）本发明的数据解析及传输实时性高，方便用户在测试过程中发现问题并进行异常预警。并且可以快速准确的从增量数据中获取需要的测试数据内容，提高半导体测试的监控效率。

59、（2）通过同步更新临时文件，即数据传输采用缓存技术，可以减轻服务器的通讯压力，并且机台客户端支持断线重连。数据存储大部分采用文件流，减轻服务器存储压力。

60、（3）通过确定测试环节和测试数据内容之间的搜索关系，可以实现快速的测试数据内容的获取。并且该搜索方式可以不用预先对测试数据内容进行全部解析，通过点对点的方式获取对应的测试数据内容的字节片段并进行解析，可以提高实时监控半导体测试的适应能力。