触控显示面板及制作方法、触控显示装置与流程

本发明涉及电容加工的，特别是涉及一种触控显示面板及制作方法、触控显示装置。

背景技术：

1、随着显示技术的飞速发展，触控显示面板已经广泛地被人们所接受及使用，如智能手机、平板电脑等均使用了触控显示面板。触控显示面板采用嵌入式触控技术将触控面板和显示面板结合为一体，并将触控面板功能嵌入到显示面板内，使得显示面板同时具备显示和感知触控输入的功能。

2、根据触控感测层在显示面板中的设置方式不同，触控显示面板分为外挂式(addonmode)、内嵌式(in-cell)和外嵌式(on-cell)等结构。内嵌式触摸屏将触控功能整合于显示屏内，因而能够有效的减少整个显示器的厚度并简化生产工艺，使得产品更加轻薄，生产成本更低。而外嵌式触摸屏为在液晶显示面板上直接配置触控面板，相比in-cell技术难度降低不少，应用广泛，是目前液晶显示装置中的主流触控技术之一。

3、图1是现有技术一中触控显示面板的结构示意图，如图1所示，现有技术一中的外嵌式(on-cell)触控结构是在液晶显示面板的表面上直接制作第一触控电极层11和第二触控电极层12，第一触控电极层11和第二触控电极层12分别为位于不同层并通过第一绝缘层101间隔开，然后再覆盖第二绝缘层102将第二触控电极层12覆盖住。其中，第一触控电极层11具有多条第一触控电极条111，第二触控电极层12具有多条第二触控电极条121，第一触控电极条111和第二触控电极条121其中之一为触控驱动电极(tx)，另一为触控感应电极(rx)，第一触控电极条111和第二触控电极条121相互交叉处形成触控感应电容，从而实现触控功能。在边缘的非显示区内设有绑定区，绑定区内设有焊盘13，第一触控电极条111和第二触控电极条121通过触控信号走线与绑定区内对应的焊盘13导电连接。为了节省制作工艺，焊盘13通常是与第一触控电极层11采用同一层金属薄膜经过同一道掩膜工艺蚀刻而成，第二触控电极层12是采用另一层金属薄膜并经过掩膜工艺蚀刻而成。由于焊盘13是采用金属制成且裸露在外，在测试、使用或其他测试时，焊盘13容易发生腐蚀，导致接触不良，产品会出现信赖性的问题。

4、图2是现有技术二中触控显示面板的结构示意图，如图2所示，为了避免焊盘13裸露在外容易发生腐蚀的问题，现有技术二在现有技术一的技术上，将焊盘13与第一触控电极层11采用同一层金属薄膜和同一层透明导电薄膜(ito)经过同一道掩膜工艺蚀刻而成，即在金属薄膜的表面覆盖一层透明导电薄膜，从而可以对焊盘13起到一定保护作用，以避免焊盘13裸露在外容易发生腐蚀的问题。为了避免在制成液晶显示面板的工艺中对外嵌式触控结构造成损坏，因此，外嵌式触控结构通常是在液晶显示面板制作工艺完成后，才在液晶显示面板的外表面制作外嵌式触控结构。由于受液晶显示面板所承受温度的限制，透明导电薄膜无法进行高温退火工艺处理，使得透明导电薄膜品质的稳定性欠佳。触控显示面板在经过高温老化测试后，透明导电薄膜的品质以及导通性均较差，导致焊盘13容易出现接触不良的问题，影响触控性能。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本发明的目的在于提供一种触控显示面板及制作方法、触控显示装置，以解决现有技术中触控显示面板的焊盘容易出现接触不良的问题。

2、本发明的目的通过下述技术方案实现：

3、本发明提供一种触控显示面板的制作方法，包括：

4、提供衬底，所述衬底具有相对设置的第一表面和第二表面；

5、在所述衬底的第一表面覆盖透明导电层，对所述透明导电层进行蚀刻并形成图案化的第一触控电极部和焊盘，对蚀刻后的所述透明导电层进行高温退火工艺处理；

6、在所述衬底的第二表面制作黑矩阵和色阻层，所述黑矩阵将多个所述色阻层相互间隔开，以形成彩膜基板；

7、提供阵列基板和液晶层，将所述彩膜基板、所述阵列基板以及所述液晶层进行成盒工艺处理，所述液晶层位于所述彩膜基板和所述阵列基板之间，所述透明导电层位于所述彩膜基板远离所述液晶层的一侧；

8、在所述衬底的第一表面形成覆盖所述透明导电层的第一绝缘层；

9、对所述第一绝缘层进行蚀刻并形成与所述第一触控电极部对应的接触孔；

10、在所述第一绝缘层上形成覆盖所述第一绝缘层的金属层，对所述金属层进行蚀刻并形成图案化的第二触控电极部和第二触控电极条，被所述第二触控电极条隔断的两个所述第二触控电极部通过所述接触孔与对应的所述第一触控电极部连接，所述第一触控电极部与所述第二触控电极部共同形成第一触控电极条，所述第一触控电极条和所述第二触控电极条分别与对应的所述焊盘导电连接。

11、进一步的，所述彩膜基板远离所述液晶层的一侧设有第一触控信号走线和第二触控信号走线，所述第一触控电极条通过所述第一触控信号走线与对应的所述焊盘导电连接，所述第二触控电极条通过所述第二触控信号走线与对应的所述焊盘导电连接；

12、所述第一触控信号走线和所述第二触控信号走线均由所述透明导电层和/或所述金属层蚀刻形成。

13、进一步的，所述制作方法包括：

14、对透明导电层进行蚀刻时，透明导电层还形成图案化的第一走线和第二走线，第一走线形成第一触控信号走线，第二走线形成第二触控信号走线；

15、或，对金属层进行蚀刻时，金属层还形成图案化的第三走线和第四走线，第三走线形成第一触控信号走线，第四走线形成第二触控信号走线。

16、进一步的，所述制作方法包括：

17、对透明导电层进行蚀刻时，透明导电层还形成图案化的第一走线和第二走线；

18、对金属层进行蚀刻时，金属层还形成图案化的第三走线和第四走线；

19、第三走线层叠于第一走线的上表面并共同形成第一触控信号走线，第四走线层叠于第二走线的上表面并共同形成第二触控信号走线。

20、进一步的，所述制作方法包括：

21、在对所述透明导电层进行高温退火工艺处理之后，以及在所述衬底的第二表面制作所述黑矩阵和所述色阻层之前，在所述衬底的第一表面形成覆盖所述透明导电层的第一绝缘层；

22、在成盒工艺之后，对所述第一绝缘层进行蚀刻并形成与所述第一触控电极部对应的接触孔。

23、进一步的，所述制作方法包括：

24、在对所述透明导电层进行高温退火工艺处理之后，以及在所述衬底的第二表面制作所述黑矩阵和所述色阻层之前，在所述衬底的第一表面形成覆盖所述透明导电层的保护膜；

25、在成盒工艺之后，剥离所述保护膜，并在所述衬底的第一表面形成覆盖所述透明导电层的第一绝缘层。

26、本技术还提供一种触控显示面板，采用如上所述的触控显示面板的制作方法制作而成，所述触控显示面板包括：

27、所述彩膜基板、与所述彩膜基板相对设置的所述阵列基板以及位于所述彩膜基板和所述阵列基板之间的所述液晶层；

28、所述彩膜基板远离所述液晶层的一侧依次设有透明导电层、第一绝缘层以及金属层，所述透明导电层包括图案化的第一触控电极部和焊盘，所述第一绝缘层在与所述第一触控电极部对应的区域设有接触孔，所述金属层包括图案化的第二触控电极部以及第二触控电极条，被所述第二触控电极条隔断的两个所述第二触控电极部通过所述接触孔与对应的所述第一触控电极部连接，所述第一触控电极部与所述第二触控电极部共同形成第一触控电极条，所述第一触控电极条和所述第二触控电极条分别与对应的所述焊盘导电连接。

29、进一步的，所述彩膜基板远离所述液晶层的一侧设有第一触控信号走线和第二触控信号走线，所述第一触控电极条通过所述第一触控信号走线与对应的所述焊盘导电连接，所述第二触控电极条通过所述第二触控信号走线与对应的所述焊盘导电连接。

30、进一步的，所述透明导电层还包括图案化的第一走线和第二走线，所述第一走线形成所述第一触控信号走线，所述第二走线形成所述第二触控信号走线；

31、或，所述金属层还包括图案化的第三走线和第四走线，所述第三走线形成所述第一触控信号走线，所述第四走线形成所述第二触控信号走线。

32、进一步的，所述透明导电层还包括图案化的第一走线和第二走线，所述金属层还包括图案化的第三走线和第四走线，所述第三走线层叠于所述第一走线的上表面并共同形成所述第一触控信号走线，所述第四走线层叠于所述第二走线的上表面并共同形成所述第二触控信号走线。

33、进一步的，所述第一触控电极部在所述彩膜基板上的投影与所述第一触控电极条相互重合；或，所述第一触控电极部包括多个桥接电极块，每个所述桥接电极块将对应的两个所述第二触控电极部连接。

34、本技术还提供一种触控显示装置，包括如上所述的触控显示面板。

35、本发明有益效果在于：通过先在衬底的第一表面形成第一触控电极部和焊盘并进行高温退火工艺处理之后，再在衬底的第二表面制作黑矩阵和色阻层以形成彩膜基板，接着与阵列基板和液晶层进行成盒工艺处理之后，再制作外嵌式触控结构的其他电极，从而使得透明导电层的高温退火工艺不受触控显示面板温度的限制，同时，可以提高透明导电层的品质和导通性；而且，焊盘采用透明导电层制成，具有较好的防腐蚀性能，以及与衬底具有更好的附着力，从而避免焊盘出现接触不良的问题。另外，第一触控电极条的第一触控电极部与焊盘采用同一透明导电层蚀刻形成，第一触控电极条的第二触控电极部与第二触控电极条采用同一金属层蚀刻形成，从而可以减少一道制程工艺，以降低制作成本。