性检查版图形成整体版图，整体版图是否符合图形密度检查规则；
[0081]若所述整体版图的密度符合所述图形密度检查规则的需求，则可以通过相关性检查；
[0082]若与图形密度检查规则相背离，则需查看所述背离产生的原因，若所述背离是基于设计规定，则可以通过；
[0083]若所述图形密度检查规则的背离，是不期望得到的结果，则需要对所述虚拟图案的设计以及插入规则进行修改。
[0084]如图2所示，所述虚拟图案和参考图层之间的相关性检查为虚拟图案填充程式的质量合格保证方法的一个检测步骤，作为进一步的优选，所述质量合格保证方法还包括(I)虚拟图案设计与电路版图主设计规则的一致性检查以及(II)虚拟图案插入之后虚拟图案检查规则和图形密度检查规则的违反性检查，所述两种检查与所述虚拟图案和参考图层之间的相关性检查为并列的检查步骤。
[0085]其中虚拟图案设计与电路版图主设计规则的一致性检查如图2中左侧所示，在该检查步骤中包括:
[0086]其中步骤(I)如图2中左侧所示，在该步骤中包括以下子步骤:
[0087]步骤(1-1)首先选取典型的图样版图；
[0088]在该步骤中所述图样版图(drawing layout)中的版图并不局限于某一种图案。
[0089]步骤(1-2)根据所述图样版图，使用虚拟图案的填充程式生成虚拟图案；
[0090]具体地，基于步骤(1-1)的所述图样版图中的图形环境，使用虚拟图案的填充程式(script)制备虚拟图案,得到虚拟图案版图；
[0091]步骤(1-3)将所述虚拟图案版图转换为主电路版图(drawing layout),通过改变所述虚拟图案版图的数据类型(datatype)，实现对所述虚拟图案本身设计的检查，具体地，将虚拟图案版图数据类型(datatype)从1、7、51、57转到数据类型(datatype) O,将数据类型转变后，所述虚拟图案版图也相应的转变为主电路版图，而主电路版图默认为主设计规则检查的对象，因此实现对所述转换为主电路版图的虚拟图案版图进行主设计规则检查。
[0092]步骤(I)中还进一步包含步骤(1-4)执行DRC设计规则的检测，即执行所述虚拟图案本身设计是否符合主设计规则的检查；在该子步骤中所述虚拟图案设计与主设计规则的一致性检查是指检查所述虚拟图案自身设计，例如每一图层的虚拟图案的宽度，长度、间距(space)以及面积等是否背离主设计规则，此外还包括不同图层的虚拟图案之间的包裹(enclosed)、交迭(overlap)、横跨(straddle)、顶立(butted)、相交(interact with)、平行长度(run length)、延展(extens1n)是否背离主设计规则，需要说明的是在该步骤中所述虚拟图案本身设计并不局限于上述列举的设计，还包含虚拟图案中其他常规的设计，在此不再进行列举，但本领域中常出现的情况均包含在该检查范围之内。
[0093]如果所述虚拟图案设计与主设计规则相背离，则查看所述背离产生的原因，若所述背离是基于特别考量(special considerat1n),则可以通过,认为所述虚拟图案达到质量保证QA的需求；若所述设计背离主设计规则，得到的结果是不符合期望(unexpected)的结果，则不能通过质量保证QA，需要返回到虚拟图案设计中，对所述虚拟图案设计进行修改，以符合所述主设计规则的要求为止。
[0094]所述步骤(II)如图2中间所示，虚拟图案插入之后虚拟图案检查规则和图形密度检查规则的违反性检查，在该步骤中包括以下子步骤:
[0095]步骤(I1-1)首先选取典型的图样版图(drawing layout)；
[0096]在该步骤中所述图样版图(drawing layout)中的版图并不局限于某一种图案。
[0097]步骤(I1-2)根据所述图样版图，使用虚拟图案的填充程式生成虚拟图案版图；
[0098]具体地，基于步骤(I1-1)的所述图样版图中的图形环境，使用虚拟图案的填充程式(script)制备虚拟图案,得到虚拟图案版图；上述两个步骤和步骤(1-1)、步骤(1-2)相同，当然也可以根据具体情况进行调整。
[0099]所述步骤(II)还包括步骤(I1-3)将步骤(I1-2)中的虚拟图案版图插入合并到所述图样版图中形成整体版图；其中所述初始图样版图(original drawing layout)中包含图样版图的图案；在插入所述虚拟版图后，检查虚拟图案的插入规则是否违反虚拟图案检查规则，同时检查插入虚拟版图后的整体密度是否符合图形密度检查规则的要求。
[0100]具体地，检查将所述虚拟图案插入到所述图样版图中形成整体版图是否符合虚拟图案检查规则。
[0101]例如在插入过程中所述虚拟图案是否和图样图层(drawing layer)接触,若所述虚拟图案和图样图层(drawing layer)形成接触则违反了所述虚拟图案检查规则，不能通过质量保证QA，需要返回到虚拟图案设计中对所述虚拟图案设计中的插入策略进行修改，至满足质量保证QA的需求为止；若没有违反则通过；还可以检查虚拟图案是否符合特定的虚拟图案尺寸要求(special dummy size request)。
[0102]此外，在步骤(I I)中所述密度检查规则的违反性检查是指检查将所述虚拟图案插入到所述图样版图之后得到的整体版图的密度是否符合所述图形密度检查规则的需求；
[0103]如果所述虚拟图案插入到所述图样版图之后得到的整体版图的密度符合所述图形密度检查规则的需求，则可以通过质量保证；若与图形密度检查规则相背离，则需查看所述背离产生的原因，若所述背离是基于特别考量设计，则可以通过；若所述图形密度检查规则的背离，是不期望得到的结果，则需要对所述虚拟图案的设计以及插入策略进行修改，至满足质量保证QA的需求为止。
[0104]需要说明的是，在该步骤中需要同时满足上述两个要求，即同时满足插入时不会违反虚拟图案检查规则，同时还需要满足密度需求才能通过质量保证,违反其中一条,则需要返回到步骤(II)中进行调整。
[0105]实施例3
[0106]在该实施例中通过实施例1中的所述版图结构对所述虚拟图案-参考图层相关性进行检测，可以发现虚拟图案和所述参考图层之间的关系违背设计规则之后，所述版图结构可以帮助设计规则检查(DRC，Design Rule Check)自动发出错误发生警报，进行提醒，以对所述虚拟图案进行修改。
[0107]下面结合附图选用所述版图结构对虚拟图案-参考图层之间相关性进行检查，其中在所述版图设计规则中所述参考图层10不允许虚拟图案30插入，虚拟图案30的插入是被禁止的。
[0108]而在实际操作过程中，在所述版图结构中通过填充程式自动填充虚拟图案，如图5a所示，在该实施例中所述版图结构中包括参考图层10，虚拟图案可填充空间20，当所述虚拟图案30插入所述可填充空间20时由于填充程式的错误导致所述虚拟图案30同时插入到了所述参考图层10中，所述虚拟图案30与所述相关性检查版图中的参考图层10的相关性违反了虚拟图案检查规则，此时设计规则检查(DRC，Design Rule Check)会自动发出警报，提示对所述虚拟图案30填充程式进行修改，以符合虚拟图案-参考图层之间的相关性检测。
[0109]在本实例中，对所述虚拟图案填充程式的修改，通过增加所述参考图层10和所述拟图案30之间的间距限制设置，以防止所述虚拟图案30插入所述参考图层10中，以符合虚拟图案-参考图层之间的相关性。
[0110]实施例4
[0111]在该实施例中通过实施例1中的所述版图结构对所述虚拟图案-参考图层相关性进行检测，可以发现虚拟图案和所述参考图层之间的关系违背设计规则之后，所述版图结构可以帮助设计规则检查(DRC，Design Rule Check)自动发出错误发生警报，进行提醒，以对所述虚拟图案进行修改。
[0112]下面结合附图选用所述版图结构对虚拟图案-参考图层之间相关性进行检查，其中在所述版图设计规则中所述参考图案50只阻止有源区虚拟图案60插入，不阻止栅极虚拟图案40插入。
[0113]而在实际操作过程中，如图5b所示，所述参考图案50覆盖的右下角的区域中不仅正确阻止了有源区虚拟图案60插入，同时错误阻止了栅极虚拟图案40插入。随后的设计规则检查(DRC, Design Rule Check),会由于该区域中大量空白面积的出现而违反栅极图形密度检查规则，从而自动发出警报。
[0114]在发出所述警报之后可以对所述虚拟图案填充程式进行修改，通过删除所述参考图案50和所述栅极虚拟图案40之间的间距限制设置，实现所述栅极虚拟图案40插入到所述参考图案50中，以符合所述图形密度检查规则。
[0115]实施例5
[0116]在该实施例中通过实施例1中的所述版图结构对所述虚拟图案-参考图层相关性进行检测，可以发现虚拟图案和所述参考图层之间的关系违背设计规则之后，所述版图结构可以帮助设计规则检查(DRC，Design Rule Check)自动发出错误发生警报，进行提醒，以对所述虚拟图案进行修改。
[0117]下面结合附图选用所述版图结构对虚拟图案-参考图层之间相关性进行检查，其中在所述版图设计规则中初始虚拟图案层80不允许同层的自动填充虚拟图案70接触。
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