触控面板隐形感测层的雷射图案化设备及雷射图案化网栅的制作方法【
技术领域：
】】[0001]本发明涉及一种雷射图案化技术，特别涉及一种触控面板的隐形感测层的雷射图案化设备及雷射图案化网栅。【【
背景技术：
】】[0002]近年来，触控技术已经逐渐广泛应用在一般的消费性电子商品上，例如行动通讯装置、数字相机、数字音乐播放器(MP3)、个人数字助理器(PDA)、卫星导航器(GPS)、掌上型计算机(hand-heldPC)、平板计算机(tablet),甚至薪新的超级行动计算机(UltraMobilePC,UMPC)等。触控技术可以多种形式应用在显示面板上，例如是外加触控面板在显示面板上(外挂式)，或是直接在显示面板上制作触控感测单元(内嵌式，又分为on-cell与in-cell两种)。[0003]但是，制作触控感测单元的工艺需经过成膜、曝光、显影、蚀刻等工艺形成，其中在微影工艺的一连串步骤中，很容易在基板上残留曝光阶段使用的光阻和显影液，而影响到后续进行的蚀刻或其它沉积工艺的质量。而且，光阻涂布、软烤、曝光、显影、硬烤、去光阻、回火等工艺过于繁复，例如回火通常需要进行烤箱回火步骤才能使非晶质转变成多晶质材料，不但制作成本高、耗时，人为的疏失以及不当的工艺控制也都很容易造成基板弯曲、损坏或是污染。【【
发明内容】】[0004]本发明的目的在于提供一种触控面板的隐形感测层的雷射图案化设备及雷射图案化网栅，能够简化工艺而节省制作成本，并可得到较为准确的移转图案，同时避免公知将基板送到烤箱回火而容易造成基板弯曲、损坏或污染等问题。[0005]为达上述目的，本发明的一种触控面板的隐形感测层的雷射图案化设备包括一加载单兀、一成膜单兀、一雷射单兀以及一蚀刻单兀，加载单兀提供一基板；成膜单兀形成一感测层在基板上；雷射单元将感测层以一具有一弯折的抗扰斑块图案与一感测层预定图案进行一雷射回火处理，而形成一结构变化层；蚀刻单元去除抗扰斑块图案以外与感测层预定图案以外的部分感测层，而形成触控面板的隐形感测层。[0006]在一实施例中，感测层是透过溅镀、蒸镀、印刷、喷墨印刷、涂布、或旋转涂布形成。[0007]在一实施例中，感测层是非晶铟锡氧化物层或奈米金属层。[0008]在一实施例中，感测层是奈米金属层时，奈米金属层包括一基质及多个奈米金属结构，多个奈米金属结构设置在基质内。[0009]在一实施例中，感测层透过雷射单元去除基质而形成结构变化层。[0010]在一实施例中，蚀刻单元以湿式蚀刻方式去除抗扰斑块图案以外与感测层预定图案以外的部分感测层。[0011]在一实施例中，湿式蚀刻是草酸蚀刻。[0012]在一实施例中，基板是玻璃基板、高分子基板、塑料基板、或蓝宝石基板。[0013]在一实施例中，结构变化层是结晶铟锡氧化物层或奈米金属导电层。[0014]在一实施例中，加载单元包括机械手臂、输送带、或滚轮组。[0015]在一实施例中，雷射图案化设备还包括一输出单元，以输出具有隐形感测层的触控面板。[0016]在一实施例中，雷射单元还包括一图案化网栅，构成具有抗扰斑块图案与感测层预定图案的图案。[0017]为达上述目的，本发明的一种触控面板的隐形感测层的雷射图案化网栅包括一透光基板以及一图案化介电层，图案化介电层设置在透光基板上。其中，图案化介电层具有多个开口，多个开口构成具有一弯折的抗扰斑块图案与一感测层预定图案的图案。[0018]在一实施例中，透光基板的材料包括氧化硅。[0019]在一实施例中，图案化介电层的材料包括氟化镁、氧化钛、氧化铝、氧化钽、铈氟化物、硫化锌、氟化铝、氧化铪、氧化锆、或其组合。[0020]在一实施例中，图案化介电层的介电常数大于30。[0021]在一实施例中，图案化介电层的图案尺寸小于触控面板的隐形感测层的图案尺寸。[0022]承上所述，在本发明将触控面板的感测层以具有弯折的抗扰斑块图案与感测层预定图案进行雷射回火处理，再去除抗扰斑块图案以外与感测层预定图案以外的部分感测层，而形成触控面板的隐形感测层，这种方式能够简化工艺而节省制作成本，并可得到较为准确的移转图案，同时避免公知将基板送到烤箱回火而容易造成基板弯曲、损坏或污染等问题。【【附图说明】】[0023]图1是本发明较佳实施例的触控面板的隐形感测层的雷射图案化设备的功能方块图。[0024]图2是雷射单元的功能方块图。[0025]图3A是雷射回火处理的立体示意图。[0026]图3B是图3A沿A_A线段的剖面图。[0027]图4是感测层在工作雷射光照射前后的示意图。[0028]图5A是本发明较佳实施例的雷射图案化隐形感测层基板的部分剖面图。[0029]图5B是本发明较佳实施例的雷射图案化隐形感测层基板的上视图。[0030]图6A是本发明一实施例的雷射图案化隐形感测层基板应用在外挂式触控显示面板的不意图。[0031]图6B是本发明一实施例的雷射图案化隐形感测层基板应用在有机发光二极管触控显示装置的示意图。[0032]图6C是本发明一实施例的雷射图案化隐形感测层基板应用在液晶触控显示装置的示意图。[0033]图7是本发明一实施例的边缘电场转换型液晶触控显示面板的示意图。[0034]图8A是本发明一实施例的主动矩阵晶体管基板的布线示意图。[0035]图8B是图8A的主动矩阵晶体管基板沿B_B线段的剖面示意图。[0036]图9A是本发明一实施例的主动矩阵晶体管基板的布线示意图。[0037]图9B是图9A的主动矩阵晶体管基板沿C_C线段的剖面示意图。【【具体实施方式】】[0038]以下将参考相关附图，说明依本发明较佳实施例的触控面板的隐形感测层的雷射图案化设备及雷射图案化网栅，其中相同的元件将以相同的参考符号加以说明。[0039]图1是本发明较佳实施例的触控面板的隐形感测层的雷射图案化设备的功能方块图。请参考图1所示，雷射图案化设备1可用以形成显示面板的画素电极、触控面板的触控电极(触控感测结构)、或其它线路例如导线或接地线等导电结构。在本实施例中，是以形成触控面板的隐形感测层(invisiblesensorlayer)为例进行说明。在此，雷射图案化设备1包括一加载单元11、一成膜单元12、一雷射单元13以及一蚀刻单元14。[0040]加载单元11可提供一基板2(如图2所示)，以将基板2运送到其它单元作后续工艺。实施上，加载单元11可以是机械手臂，以夹持基板2而运送，或者以吸附的方式运送基板2，例如机械手臂贴附在基板2并将空气抽出而真空吸附，或是利用电磁铁吸附基板2而运送。当然，以电磁铁吸附的方式运送时，基板2需要是导磁性基材，或是事先贴合在一导磁元件以方便运送作业。除此之外，加载单元11也可以是滚轮组或输送带，以使基板2透过滚轮组或输送带运送到各单元的工作区。另外，当基板2是可挠性基板时，加载单元11也可使用多个滚动条(rolltoroll)来运送基板2。[0041]基板2是透光材料，例如是玻璃基板、高分子基板、塑料基板、或蓝宝石基板，在此是以玻璃基板为例。基板2可以是刚性基板或可挠性基板，当是可挠性基板时，其可应用在可挠性显示器。在应用上，基板2可以是透光盖板(coverglass)，以减少应用在触控面板的厚度。[0042]成膜(deposit1n)单元12可形成一感测层21在基板2上。在一些实施例中，成膜单元12可例如包括一腔室，以及一些容置在腔室内的沉积装置，如沉积源或气阀等。另夕卜，成膜单元12可透过调整气阀的气体供应而控制在大气压力环境、真空环境或钝气环境的状态下作业。当基板2透过加载单元11运送到成膜单元12内，成膜单元12就可以溅锻(sputtering)或蒸锻(evaporat1n)形成感测层21在基板2上。在一些实施例中，成膜单元12可包括印刷机,透过印刷或喷墨印刷(ink-jetprinting)形成感测层21。在一些实施例中，成膜单元12可包括涂布机，透过涂布(coating)或旋转涂布(spincoating)形成感测层21。[0043]图当前第1页1 2 3 4