感光性导电膜、导电图案基板以及触摸面板传感器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及感光性导电膜、导电图案基板以及触摸面板传感器，特别涉及用 于平板显示器、触摸屏、太阳能电池等的感光性导电膜、导电图案基板以及触摸面板传感 器。
【背景技术】
[0002] 触摸面板（例如触摸面板传感器）例如用于个人电脑、电视等大型电子设备；汽车 导航、手机、便携型音乐播放器、电子辞典等小型电子设备；OA-FA设备等显示设备等。
[0003] 就触摸面板而言，虽然各种方式已经得以实用化，但近年来，静电电容式触摸面板 的利用正在增多。静电电容式触摸面板是：当指尖（导电体）与触摸输入面接触时，指尖与 透明电极（透明导电膜等）之间静电电容耦合，形成电容器。静电电容式触摸面板是通过 捕捉电荷在指尖接触位置的变化来检测其坐标的。
[0004] 特别是，投影型静电电容式触摸面板由于能够进行指尖的多点检测，从而具备能 够进行复杂指示这样的良好操作性。因此，从其操作性良好的观点考虑，投影型静电电容式 触摸面板作为小型的具有显示装置的设备（手机、便携型音乐播放器等）中显示面上的输 入装置的利用正在增多。
[0005] 通常来说，投影型静电电容式触摸面板为了表现基于X轴和Y轴的二维坐标，多个 X电极和与上述X电极正交的多个Y电极形成双层结构。上述电极例如可以使用透明导电 膜。
[0006] 以往，从对可见光显示高透过率的观点考虑，透明导电膜的构成材料使用了 11'0(111虹1 1111-1111-0^如；氧化铟锡）、氧化铟、氧化锡等，但近年来，进行了使用代替这些物 质的材料来形成透明导电图案的尝试。例如，下述专利文献1提出了以具有含有导电性纤 维的导电层的感光性导电膜形成导电图案的形成方法。
[0007] 另外，下述专利文献2提出了以下的方法：通过将感光性导电膜层压在基板上，然 后进行两次曝光工序，接着进行显影，从而形成导电图案。
[0008] 现有技术文献
[0009] 专利文献
[0010] 专利文献1 :国际公开第2010/021224号
[0011] 专利文献2 :国际公开第2013/051516号 【实用新型内容】
[0012] 实用新型所要解决的问题
[0013] 但是，触摸面板中的周缘的边框区域形成有用于将在透明电极部分产生的电变化 传输到控制IC的配线电路。这样的配线电路可以列举出：在使用热固化型或蒸发干燥型银 糊剂以丝网印刷印刷配线电路图案后实施热处理而形成的配线电路；利用蒸镀后的金属薄 膜形成的配线电路等。触摸面板（例如投影型静电电容式触摸面板）的结构通常是：透明 电极与控制IC通过配线电路而物理性地电连接的结构。对于这样的触摸面板而言，当配线 电路与透明电极的连接不充分时，就会发生触摸面板无法正常工作的问题。
[0014] 然而，现有方法在将透明电极（传感器电极、导电图案）以银糊剂印刷配线与控制 IC连接的情况下，存在透明电极与银糊剂之间的电阻变得不稳定的问题。另外，现有方法在 将透明电极（传感器电极、导电图案）以蒸镀金属配线与控制IC连接的情况下，存在无法 实现透明电极与蒸镀金属之间的连接的问题。因此，对于用作透明电极的透明导电膜，要求 其与配线电路的连接性优异。
[0015] 本实用新型的目的在于：提供能够得到与配线电路具有优异连接性的透明导电膜 的感光性导电膜。
[0016] 用于解决问题的手段
[0017] 本实用新型的发明者们对上述问题进行了详细研究，结果发现：对于具备支撑膜 和设置在上述支撑膜上的感光层的感光性导电膜而言，在感光层所含的导电性纤维各自与 感光层中的支撑膜侧的表面之间的最短距离的平均值为0.1~50nm的情况下，透明导电膜 (导电图案等）与配线电路之间的电阻变得稳定且低，从而透明导电膜与配线电路的连接 性变得良好。
[0018] 本实用新型的感光性导电膜具备支撑膜和设置在上述支撑膜上的感光层，上述感 光层包含多个导电性纤维，上述导电性纤维各自与上述感光层中的上述支撑膜侧的表面之 间的最短距离的平均值为〇? 1~50nm〇
[0019] 根据本实用新型的感光性导电膜，能够得到与配线电路具有优异连接性的透明导 电膜。这样的感光性导电膜能够用于制造配线电路与透明导电膜的连接性优异的叠层体。
[0020] 上述导电性纤维的纤维直径优选为1~50nm。此时，能够形成对可见光高透明的 透明导电膜。
[0021] 上述导电性纤维的纤维长度优选为1~100ym。此时，通过充分地确保导电性纤 维彼此的接触，能够容易地形成高透明且低电阻值的透明导电膜。
[0022] 本实用新型的导电图案基板具备上述感光性导电膜的上述感光层的固化物。
[0023] 本实用新型的触摸面板传感器具备上述导电图案基板。
[0024] 实用新型效果
[0025] 根据本实用新型的感光性导电膜，能够得到与配线电路具有优异连接性的透明导 电膜。另外，根据本实用新型的感光性导电膜，能够得到与配线电路具有优异连接性的导电 图案（透明导电图案）。
【附图说明】
[0026] 图1是表不感光性导电膜的一个实施方式的局部切开立体图。
[0027] 图2是表不感光性导电膜的一个实施方式的剖视不意图。
[0028] 图3(a)~3(c)是表示使用了感光性导电膜的导电图案的形成方法的一个实施方 式的剖视示意图。
[0029] 图4(a)~4(d)是表示使用了感光性导电膜的导电图案的形成方法的另一个实施 方式的剖视示意图。
[0030] 图5是表示静电电容式触摸面板传感器的一个例子的顶视示意图。
[0031] 图6是沿图5所示的a-a'线的局部剖视图。
[0032] 图7是沿图5所示的b-b'线的局部剖视图。
[0033] 图8 (a)~8 (d)是表示图5所示的触摸面板传感器的制造方法的一个例子的示 意图。
[0034] 图9是表示液体的表面张力与接触角的余弦之间的关系的图。
[0035] 图10是表示实施例1的剖面的TEM(透射型电子显微镜）照片的图。
[0036] 图11是表示比较例3的剖面的TEM照片的图。
[0037] 符号说明
[0038] 1 支撑膜
[0039] 2 导电层
[0040] 2a导电图案
[0041] 3 感光性树脂层
[0042] 3a树脂固化层
[0043] 4 感光层
[0044] 5 掩膜图案
[0045] 10感光性导电膜
[0046] 20 基板
[0047] 30a、30b导电图案基板
[0048] 101透明基板
[0049]102触摸屏
[0050] 103透明电极（X位置坐标）
[0051] 104透明电极（Y位置坐标）
[0052] 105引出配线
[0053]106连接电极
[0054]107连接端子
[0055]A感光层表面
[0056]B感光层表面到导电性纤维的最短距离
[0057]L活性光线
【具体实施方式】
[0058] 以下，对本实用新型的实施方式进行详细说明。
[0059] 在本说明书中，"（甲基）丙烯酸"是指丙烯酸或与其相对应的甲基丙烯酸。"（甲 基）丙烯酸酯"、"（甲基）丙烯酸树脂"、"（甲基）丙烯酰氧基"等其他类似的表现也是同 样的。"A或B"只要包含A和B中的任意一方就行，也可以包含双方。"层"这一用语是指： 当以俯视图进行观察时，除了整面地形成的形状的结构以外，还包含局部地形成的形状的 结构。
[0060] 本说明书中的重均分子量是通过凝胶渗透色谱法（GPC)以下述条件测定并基于 利用标准聚苯乙烯制得的校准曲线换算而得到的值。
[0061] [GPC条件]
[0062] 栗：日立L-6000型（株式会社日立制作所制；产品名）
[0063] 柱：GelpackGL-R440、GelpackGL-R450、GelpackGL-R400M(以上是日立化成株 式会社制；产品名）
[0064] 洗脱液：四氢呋喃
[0065] 测定温度：40°C
[0066] 流量：2. 05ml/ 分钟
[0067] 检测器：日立L-3300型RI(株式会社日立制作所制；产品名）
[0068] 图1和图2不出本实施方式的感光性导电膜，图1是表不感光性导电膜的局部切 开立体图，图2是沿图1的II-II线的剖视示意图。图1和图2所示的感光性导