半导体设备的消息上报方法、装置及半导体设备与流程

1.本发明涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种半导体设备的消息上报方法、装置及半导体设备。


背景技术：

2.随着半导体制造业的发展，其生产规模在不断扩大，制造工艺也愈来愈复杂，人力已无力支撑设备的维护及故障排除工作，现代化的半导体制造企业一般采用软件控制系统来控制半导体设备的生产。目前出厂的机台生产主要使用的是通过以网络协议为基础的网线连接实现工厂端控制软件与半导体设备软件的通讯，工厂控制软件通过收集设备上报的事件实现对设备的控制。当设备与工厂控制软件断开连接时，工厂端将无法收到设备上报的事件，从而影响对设备的控制，其中最为关键的消息是s6f1、s1f4、s6f11，对应着工厂端的参数持续采集功能和事件上报监听机制，若该类消息丢失将对半导体设备的生产和监控造成很大影响。
3.为了解决设备与工厂控制软件通信失败时工厂端无法收到设备上报的事件的问题，一般通过启动半导体设备的假脱机(spooling，simultaneous peripheral operations on-line)功能，即通过工厂端控制软件在半导体设备启动后发送s2f43消息定义需要存储的消息，在发生断连时将产生的消息进行存储，断线重连后根据产生的消息的数量持续发送多条s6f43消息获取存储的消息，但该过程对工厂端所依赖的操作过多，增加了工厂端压力，且需要较多人力参与，使得自动化生产性能不高。


技术实现要素：

4.鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体设备的消息上报方法、装置及半导体设备。
5.为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种半导体设备的消息上报方法，所述方法包括：
6.获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数；
7.在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储；
8.在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，将存储的符合所述配置参数的消息发送至所述工厂端。
9.可选地，所述配置参数包括需要上报的目标消息参数；所述在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储，包括：
10.在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的目标消息进行存储。
11.可选地，所述配置参数包括存储数量阈值；
12.所述在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目
标消息参数的目标消息进行存储，包括：
13.在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数，且数量少于或等于所述存储数量阈值的目标消息进行存储。
14.可选地，所述在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数，且数量少于或等于所述存储数量阈值的目标消息进行存储，包括：
15.在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的消息存储于消息队列中，所述消息队列的容量为存储数量阈值。
16.可选地，所述获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数，包括：
17.从所述半导体设备的预设数据库中，获取针对假脱机功能的配置参数。
18.可选地，所述方法还包括：
19.当监听到对假脱机功能的配置参数进行修改，则将修改后的配置参数更新至所述半导体设备的预设数据库中。
20.可选地，所述在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，将存储的符合所述配置参数的消息发送至所述工厂端，包括：
21.在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，若生成需要上报的消息，则优先将将断连期间生成的消息发送至所述工厂端；
22.所述方法还包括：
23.在所述半导体设备与所述工厂端重连成功，并将断连期间生成的消息发送至所述工厂端后，将重连成功后生成的需要上报的消息发送至所述工厂端。
24.本发明实施例还公开了一种半导体设备的消息上报装置，所述装置包括：
25.获取模块，用于获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数；
26.存储模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储；
27.发送模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，根据所述配置参数将存储的符合预设上报配置的消息发送至所述工厂端。
28.可选地，所述配置参数包括需要上报的目标消息参数；所述存储模块，包括：
29.存储子模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的目标消息进行存储。
30.可选地，所述配置参数包括存储数量阈值；
31.所述存储子模块，包括：
32.存储单元，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数，且数量少于或等于所述存储数量阈值的目标消息进行存储。
33.可选地，所述存储单元，包括：
34.存储子单元，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的消息存储于消息队列中，所述消息队列的容量为存储数量阈值。
35.可选地，所述获取模块，包括：
36.获取子模块，用于从所述半导体设备的预设数据库中，获取针对假脱机功能的配置参数。
37.可选地，所述装置还包括：
38.更新子模块，用于当监听到对假脱机功能的配置参数进行修改，则将修改后的配置参数更新至所述半导体设备的预设数据库中。
39.可选地，所述发送模块，包括：
40.第一发送子模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，若生成需要上报的消息，则优先将将断连期间生成的消息发送至所述工厂端；
41.所述装置还包括：
42.第二发送子模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功，并将断连期间生成的消息发送至所述工厂端后，将重连成功后生成的需要上报的消息发送至所述工厂端。
43.本发明实施例还公开了一种半导体设备，包括控制器，所述控制器被配置为获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数；在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储；在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，将存储的符合所述配置参数的消息发送至所述工厂端。
44.本发明实施例包括以下优点：
45.本发明通过获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数；在半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合配置参数的消息进行存储；在半导体设备与工厂端重连成功后，将存储的符合配置参数的消息发送至工厂端。发明通过获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数，使得半导体设备在与工厂端断连时，存储符合配置参数的消息并发送至工厂端；本发明通过设置配置参数来存储断连时产生的消息，减少了工厂端人员的过多操作，提高了半导体设备的自动化水平，进而提高了假脱机功能的实用性。
附图说明
46.图1是本发明实施例提供的一种半导体设备的消息上报方法的步骤流程图；
47.图2是本发明实施例提供的另一种半导体设备的消息上报方法的步骤流程图；
48.图3是本发明实施例提供的一种获取配置参数的步骤流程图；
49.图4是本发明实施例提供的一种半导体设备的消息上报装置的结构框图。
具体实施方式
50.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
51.现有技术的spooling功能，一般在半导体设备启动后，先通过工厂端控发送s2f43给半导体设备定义要存储的消息，在发生断连后，半导体设备将产生的符合条件的消息进行存储，在重连成功后需要工厂端的人员持续发送多条s6f23接收半导体设备存储的消息，但该功能需要过多的依赖于工厂端的人工操作，需要较多人为参与，自动化程度不高；且该功能在使用过程中会产生.data文件，即使在未断连状态也可能因为该文件处于只读或者被占用状态而使得其存储的消息不上报，导致工厂端可能看不到这些消息，继而引发工厂端再次断连和关键数据丢失等问题。
52.本发明实施例的核心构思之一在于，提出一种包含新的spooling功能的半导体设
备的消息上报方法，通过提前设置spooling功能的配置参数来存储断连时产生的消息，在重连成功后，将存储的符合配置参数的消息发送至工厂端。
53.参照图1，示出了本发明实施例提供的一种半导体设备的消息上报方法的步骤流程图；应用于半导体设备，半导体设备与工厂端通信连接，所述方法具体可以包括如下步骤：
54.步骤101，获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数。
55.本发明实施例中，半导体设备通过机台生产自动化控制软件(fa，factory automation)与工厂端的工厂端控制软件通信连接，半导体设备通过fa软件采集消息上报给工厂端的工厂端控制软件，从而实现工厂端对半导体设备的控制，而上报的消息中最为重要的是s1f4，s6f1，s6f11，其中s1f4、s6f1用于采集数据，s6f11用于上报事件；
56.假脱机功能指的是当半导体设备与工厂端通信连接失败时，fa软件可以将半导体设备产生的消息按照顺序存储起来，当半导体设备与工厂端通信重连成功时，半导体设备可以通过fa软件将之前存储的消息再次上报给工厂端的工厂端控制软件，从而防止短时间断连工厂端控制软件不能接受到半导体设备上报的消息。
57.假脱机功能的配置参数可以用来设置断连时需要存储的消息的种类和数量，该配置参数可以根据需要来设定，例如，半导体设备需要存储发生断连时产生的s1f4和s6f1消息，要存储的消息的最大个数为20个，则假脱机功能的配置参数为(s1f4，s6f1，20)，其他的方式以此类推。
58.步骤102，在半导体设备与工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合配置参数的消息进行存储。
59.当半导体设备与工厂端断连时，假脱机功能启动，半导体设备中的fa软件可以根据配置参数存储断连时产生的消息，例如，当配置参数为(s1f4，s6f1，20)，fa软件采集s1f4和s6f1，存储的s1f4和s6f1的个数不超过20个。
60.步骤103，在半导体设备与工厂端重连成功后，将存储的符合配置参数的消息发送至工厂端。
61.本发明实施例中，半导体设备与工厂端重连成功后，半导体设备中的fa软件可以将断连期间存储的符合配置参数的消息发送给工厂端，例如在断连期间，fa软件存储了s1f4消息3个，s6f1消息4个，则fa软件与工厂端控制软件重连成功后，将3个s1f4消息和4个s6f1消息发送给工厂端控制软件，供工厂端的用户查看，本发明无需工厂端频繁发送s2f43消息定义存储消息的种类，也不需要工厂端频繁发送s6f23获取半导体存储的消息，提高了半导体设备的自动化水平。
62.本发明通过获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数，使得半导体设备在与工厂端断连时，存储符合配置参数的消息并发送至工厂端；本发明通过设置配置参数来存储断连时产生的消息，减少了工厂端人员的过多操作，提高了半导体设备的自动化水平，进而提高了假脱机功能的实用性。
63.如图2，示出了本发明实施例提供的另一种半导体设备的消息上报方法的步骤流程图，应用于半导体设备，半导体设备与工厂端通信连接，所述方法具体可以包括如下步骤：
64.步骤201，从半导体设备的预设数据库中，获取针对假脱机功能的配置参数。
65.本发明实施例中，预设数据库中存储有预设配置参数，预设配置参数是用户提前设置的半导体设备与工厂端断连时需要存储的参数信息，该参数信息可以是消息的种类和可以存储的消息的最大个数；
66.fa软件可以读取半导体设备中的预设数据库，根据预设数据库中的预设配置参数设置半导体设备的假脱机功能的配置参数。
67.步骤202，当监听到对假脱机功能的配置参数进行修改，则将修改后的配置参数更新至半导体设备的预设数据库中。
68.在本发明实施例中，如图3示出了本发明实施例中获取配置参数的步骤流程图；图3中，spoolmsg表示目标消息参数，用于设置半导体设备与工厂端断连时存储的消息的种类；maxspooledcount表示存储数量阈值，用于限制可以存储的满足目标消息参数的消息的最大个数；fa软件启动后，先读取预设数据库存储的预设配置参数，判断用户是否需要修改配置参数，当需要修改时，将修改后的配置参数写入预设数据库中，当不需要修改时，将预设数据库中的预设配置参数确定为针对半导体设备假脱机功能的配置参数。
69.用户可以根据fa软件提供的配置界面输入用户需要修改的配置参数，fa软件接收到用户输入的配置参数后可以自动生成数据库语句来修改配置参数；
70.当fa软件判断出用户不对预设配置参数进行修改时，将预设数据库存储的预设配置参数作为假脱机功能的配置参数，用户需要对预设配置参数进行修改时，fa软件可以根据用户的修改需求对预设配置参数进行修改得到目标配置参数，然后将标配置参数设置为半导体设备的假脱机功能的配置参数；
71.在一种示例中，预设配置参数为(s1f4，s6f1，20)，表示的是半导体断连时可以存储的消息种类是s1f4和s6f1，最大个数是20个，在用户不需要修改配置参数时，直接将(s1f4，s6f1，20)作为假脱机功能的配置参数；当用户需要修改配置参数时，用户想要修改的目标配置参数为(s1f4，s6f1，s6f11，60)，fa软件接收到用户输入的目标配置参数后可以自动生成数据库语句来修改配置参数，然后将(s1f4，s6f1，s6f11，60)存储到预设数据库中，并作为假脱机功能的配置参数。
72.步骤203，在半导体设备与工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合目标消息参数的目标消息进行存储。
73.配置参数包括需要上报的目标消息参数，目标消息参数指的是需要上报的消息的种类，例如，当目标消息参数为s1f4、s6f1，则在半导体设备与工厂端断连的情况下，只对s1f4、s6f1的目标消息进行存储。
74.在本发明的一种实施例方式中，配置参数包括存储数量阈值；
75.所述在半导体设备与工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合目标消息参数的目标消息进行存储，包括：
76.在半导体设备与工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合目标消息参数，且数量少于或等于存储数量阈值的目标消息进行存储。
77.具体的，目标消息参数用于设置半导体设备与工厂端断连时存储的消息的种类，可以设置目标消息参数为spoolmsg，当spoolmsg为s1f4、s6f1、s6f11，说明要存储的消息的种类为s1f4、s6f1、s6f11，其他的方式在此不做赘述。
78.当目标消息满足目标消息参数时，将目标消息缓存至消息队列中，目标消息的数
量不超过存储数量阈值；当所述目标消息不满足目标消息参数时，不存储目标消息。
79.存储数量阈值指的是半导体设备与工厂端断连时，半导体设备可以存储的满足目标消息参数的消息的最大个数，例如，可以设置存储数量阈值为maxspooledcount，当maxspooledcount为40，spoolmsg为s1f4、s6f1，表示可以存储的消息种类为s1f4、s6f1，可以存储的符合spoolmsg的消息个数为40个。
80.在本发明的一种实施例方式中，所述在半导体设备与工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合目标消息参数，且数量少于或等于存储数量阈值的目标消息进行存储，包括：
81.在半导体设备与工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合目标消息参数的消息存储于消息队列中，所述消息队列的容量为存储数量阈值。
82.具体的，消息队列是fa软件在导体设备与工厂端断连时，自动生成的存储符合配置参数的消息的队列，例如，当配置参数为(s1f4，s6f1，s6f11，60)，且半导体设备与工厂端断连的情况下，fa软件自动生成一个队列用来存储s1f4、s6f1、s6f11，且该队列的最大容量为60。
83.需要说明的是，半导体设备与工厂端未断连时，可能之前半导体存储的断连时期的消息还没发送完，所以要先判断消息队列是否为空队列，避免消息队列中还有消息滞留。
84.若消息队列为空时，半导体设备直接将当前产生的需要上报的消息发送至工厂端，当消息队列不为空队列，将滞留的满足目标消息参数的消息发送完至工厂端后，再将当前产生的需要上报的消息发送至工厂端。
85.本发明不需要消息队列来存储消息，不需要实体文件来进行消息的存储和读取，不会因产生文件的占用而出现读写错误，避免了当实体文件中存储有消息时，即使处于连接状态也会继续将同类型的消息继续存储的问题。
86.步骤204，在半导体设备与工厂端重连成功后，将存储的符合配置参数的消息发送至工厂端。
87.步骤205，在半导体设备与工厂端重连成功，并将断连期间生成的消息发送至工厂端后，将重连成功后生成的需要上报的消息发送至工厂端。
88.本发明实施例中，半导体设备与工厂端可能会重连失败，当重连失败后，fa软件会继续尝试与工厂端的连接，直到半导体设备与工厂端连接成功，连接成功后，有可能消息队列中并没有存储有消息，当消息队列中没有消息，则说明断连期间没有符合要求的消息产生，此时fa软件只将当前产生的消息发送至工厂端；
89.当消息队列中有消息，则说明断连期间有符合要求的消息产生，此时fa软件将断连期间符合要求的消息发送至工厂端，发送完断连期间生成的消息后，fa软件再将重连成功后生成的需要上报的消息发送至工厂端，避免了断连期间存储的消息的滞留，使得工厂端控制软件更好的实现控制半导体设备。
90.本发明通过获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数，并在半导体设备与工厂端断连的情况下，根据配置参数存储符合配置参数的消息，在半导体设备与工厂端重连成功后，将存储的符合配置参数的消息发送至所述工厂端。本发明减少了工厂端人员的过多操作，降低了人力投入，提高了半导体设备的自动化水平；本发明根据配置参数生成消息队列，通过消息队列来存储断连时符合配置参数的消息，不需要实体文件(例如.data文件)
进行消息的存储和读取，不会产生因文件的占用而出现的读写错误问题，避免了当实体文件中存储有消息时，即使处于连接状态也会继续将同类型的消息继续存储的问题。
91.需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。
92.参照图4，示出了本发明实施例提供的一种半导体设备的消息上报装置的结构框图，具体可以包括如下模块：
93.获取模块301，用于获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数；
94.存储模块302，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储；
95.发送模块303，用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，根据所述配置参数将存储的符合预设上报配置的消息发送至所述工厂端。
96.在一种可选的实施例方式中，配置参数可以包括需要上报的目标消息参数；存储模块302，可以包括：
97.存储子模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的目标消息进行存储。
98.在一种可选的实施例方式中，配置参数可以包括存储数量阈值；存储子模块，可以包括：
99.存储单元，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数，且数量少于或等于所述存储数量阈值的目标消息进行存储。
100.在一种可选的实施例方式中，存储单元，可以包括：
101.存储子单元，用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的消息存储于消息队列中，所述消息队列的容量为存储数量阈值。
102.在一种可选的实施例方式中，获取模块301，可以包括：
103.获取子模块，用于从所述半导体设备的预设数据库中，获取针对假脱机功能的配置参数。
104.在一种可选的实施例方式中，所述装置还包括：
105.更新子模块，用于当监听到对假脱机功能的配置参数进行修改，则将修改后的配置参数更新至所述半导体设备的预设数据库中。
106.在一种可选的实施例方式中，发送模块303，可以包括：
107.第一发送子模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，若生成需要上报的消息，则优先将将断连期间生成的消息发送至所述工厂端；
108.所述装置还包括：
109.第二发送子模块，用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功，并将断连期间生成的消息发送至所述工厂端后，将重连成功后生成的需要上报的消息发送至所述工厂端。
110.对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
111.本发明实施例还公开了一种半导体设备，包括控制器，所述控制器被配置为获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数；在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储；在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，将存储的符合所述配置参数的消息发送至所述工厂端。
112.在一种可选的实施例方式中，配置参数可以包括需要上报的目标消息参数；控制器还用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的目标消息进行存储。
113.在一种可选的实施例方式中，配置参数可以包括存储数量阈值；控制器还用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数，且数量少于或等于所述存储数量阈值的目标消息进行存储。
114.在一种可选的实施例方式中，控制器还用于在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的消息存储于消息队列中，所述消息队列的容量为存储数量阈值。
115.在一种可选的实施例方式中，控制器还用于从所述半导体设备的预设数据库中，获取针对假脱机功能的配置参数。
116.在一种可选的实施例方式中，控制器还用于当监听到对假脱机功能的配置参数进行修改，则将修改后的配置参数更新至所述半导体设备的预设数据库中。
117.在一种可选的实施例方式中，控制器还用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，若生成需要上报的消息，则优先将将断连期间生成的消息发送至所述工厂端；
118.控制器还用于在所述半导体设备与所述工厂端重连成功，并将断连期间生成的消息发送至所述工厂端后，将重连成功后生成的需要上报的消息发送至所述工厂端。
119.本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
120.尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
121.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
122.以上对本发明所提供的一种半导体设备的消息上报方法、装置、半导体设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内
容不应理解为对本发明的限制。