一种真空蚀刻机的减振装置

本发明涉及减振装置，尤其涉及一种真空蚀刻机的减振装置。

背景技术：

1、减振装置，指减振底座，其用于配合大型设备辅助安装，设置于大型设备底部，将其与地面相隔离，对大型设备起到减振辅助作用，例如真空蚀刻机，为了保证其应用时的稳定，其与地面之间布设减振底座，以保证真空蚀刻操作不受振动影响。

2、但现减振底座多采用橡胶垫及弹簧只是实现单一的减振功能，无法对所减振支撑的设备实现位移监测，导致设备发生移位时，无法对工作人员实现及时提醒，因而发生位移时，易导致设备所连接导线等受损松动，影响其操作应用，而且减振底座也将向位移方向所偏离，对减振底座的橡胶垫及弹簧造成长久性的偏离挤压，对其减振效果造成一定的影响。

技术实现思路

1、本公开实施例涉及一种真空蚀刻机的减振装置，本发明减振装置在实现消能减振的同时，可对所减振支撑的设备实现有无位置偏离的实时监测，当监测判定其发生位置偏离时，一是通过高分贝的蜂鸣警示，对周围工作人员实现警示提醒，二是通过第一时间的无线网络消息发送，以便于在设备不运行状态下，对工作人员实现消息提醒，利于其及时得知，以前往对其进行及时的位置复位。

2、本公开第一方面，提供了一种真空蚀刻机的减振装置，具体包括: 承载底座，所述承载底座呈方形块结构，承载底座顶端面四处边缘夹角部位均开设有一处缺槽；四处所述缺槽内端底面均开设有一处安装孔位，安装孔位贯通承载底座底端面；所述承载底座顶端面中心部位开设有一处弹簧收纳槽a，弹簧收纳槽a内端底面固定安装有一组减振弹簧；所述承载底座正上方设有一块承托块体，承托块体呈方形块结构，承托块体边长尺寸与承载底座边长尺寸相一致，承托块体底端面与减振弹簧顶端固定相连接；所述承托块体顶端面固定粘接有一块橡胶减振块体，橡胶减振块体呈方形块结构，橡胶减振块体边长尺寸与承托块体边长尺寸相一致；所述承载底座内部设有微控制器；所述承载底座内部还设有与微控制器电性相连的蓄电池，蓄电池外接电源。

3、至少一些实施例中，所述承载底座内部还设有与微控制器电性相连的5g模块；还包括有移动终端，所述移动终端为手机，移动终端与5g模块无线网络传输连接；所述承载底座后端面固定安装有一组蜂鸣器，蜂鸣器与微控制器电性相连。

4、至少一些实施例中，所述承载底座顶端面前侧方及左侧方均开设有一处插接开口，插接开口呈矩形开口结构，插接开口贯通承载底座底端面；位于前侧方的所述插接开口内端前侧面及后侧面均开设有一处安装槽，两处安装槽内均各安装有一组位移警示开关，位移警示开关与微控制器电性相连；所述位移警示开关采用轻触开关，该两组位移警示开关的按键端均朝向插接开口，且其分别与插接开口内端前侧面及后侧面处于同一垂直面。

5、至少一些实施例中，位于前侧方的所述插接开口内端前侧面及后侧面四处边缘夹角部位均各开设有一处弹簧收纳槽b，弹簧收纳槽b呈圆形槽结构；所述承载底座前端面相对于位于前侧方的四处弹簧收纳槽b轴心部位均各开设有一处与其相连通的插接孔位，插接孔位为圆孔；位于后侧方的四处弹簧收纳槽b内端面轴心均各开设有一处限位插槽，限位插槽呈圆形槽结构。

6、至少一些实施例中，还包括有往复滑动板，所述往复滑动板呈矩形板结构，往复滑动板前端面四处边缘夹角部位均固定安装有一根限位插柱；四根限位插柱外围均套接有一根复位弹簧，复位弹簧后端与往复滑动板前端面固定相连接；所述往复滑动板前端面固定安装有一块橡胶抵压块，橡胶抵压块呈圆形块结构，橡胶抵压块结构尺寸小于安装槽结构尺寸；位于前侧方的插接开口内滑动安装有两块往复滑动板；位于前侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在四处插接孔位内部，而该四根复位弹簧分别与位于前侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接；位于后侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在四处限位插槽内部，而该四根复位弹簧分别与位于后侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接。

7、至少一些实施例中，位于左侧方的所述插接开口内端左侧面及右侧面均开设有一处安装槽，该两处安装槽内也均各安装有一组与微控制器电性相连的位移警示开关；该两组位移警示开关的按键端均朝向该处插接开口，且其分别与该处插接开口内端左侧面及右侧面处于同一垂直面。

8、至少一些实施例中，位于左侧方的所述插接开口内端左侧面及右侧面四处边缘夹角部位也均各开设有一处弹簧收纳槽b；所述承载底座左端面相对于位于左侧方的四处弹簧收纳槽b轴心部位也均各开设有一处与其相连通的插接孔位；位于右侧方的四处弹簧收纳槽b内端面轴心也均各开设有一处限位插槽。

9、至少一些实施例中，位于左侧方的插接开口内滑动安装有两块往复滑动板；位于左侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在该处插接开口的四处插接孔位内部，而该四根复位弹簧分别与位于左侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接；位于右侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在该处插接开口的四处限位插槽内部，而该四根复位弹簧分别与位于右侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接。

10、至少一些实施例中，所述承托块体底端面前侧方及左侧方均各开设有一处往复滑槽，往复滑槽呈矩形槽结构；位于前侧方的往复滑槽内端前侧面及后侧面之间固定连接有两根限位柱；位于左侧方的往复滑槽内端左侧面及右侧面之间也均固定连接有两根限位柱；所述承托块体前端面相对于位于前侧方的往复滑槽部位开设有一处与其相连通的螺纹通孔；所述承托块体左端面相对于位于左侧方的往复滑槽部位也开设有一处与其相连通的螺纹通孔；还包括有抵压块体，所述抵压块体呈矩形块体结构，抵压块体前端面上侧方两处边缘夹角部位均各开设有一处配合孔位；所述抵压块体前端面通过一组轴承转动安装有一根传动柱，传动柱外周面设置有外螺纹，传动柱前端面固定安装有扭动旋钮；两处往复滑槽内均各滑动安装有一块抵压块体，配合孔位与传动柱滑动相连接，而传动柱通过外螺纹与螺纹通孔螺纹传动相连接。

11、至少一些实施例中，所述复位弹簧伸展状态下，橡胶抵压块与位移警示开关的按键端相接触；两块所述抵压块体分别插接在两处插接开口的各两块往复滑动板之间，且复位弹簧伸展状态下，抵压块体与往复滑动板相接触。

12、本发明提供了一种真空蚀刻机的减振装置，具有如下有益效果：

13、本发明减振装置在实现消能减振的同时，可对所减振支撑的设备实现有无位置偏离的实时监测，当监测判定其发生位置偏离时，一是通过高分贝的蜂鸣警示，对周围工作人员实现警示提醒，二是通过第一时间的无线网络消息发送，以便于在设备不运行状态下，对工作人员实现消息提醒，利于其及时得知，以前往对其进行及时的位置复位。

14、此外，本发明通过抵压块体与往复滑动板的抵压配合，可实现全方位的位置偏离监测，以保证设备发生位置偏离时，通过抵压块体对往复滑动板的抵压，从而同步使得橡胶抵压块按压启动位移警示开关，以实现位置偏离的警示提醒。

15、此外，本发明抵压块体为位置可往复调节式设计，通过该设计，利于判定设备位置偏离，经由蜂鸣器实现高分贝蜂鸣警示后，在需要对设备进行位置复位时，可通过对抵压块体的位置调节，解除抵压块体与往复滑动板的抵压配合，以关闭蜂鸣器，避免高分贝蜂鸣在进行位置复位时，造成噪音影响。