技术特征：
1.一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，包括能够供电的程控电源(1)，所述程控电源(1)连接微探针测试系统(2)、半导体参数分析仪(3)，所述微探针测试系统(2)和半导体参数分析仪(3)均连接测试金属探针导体(4)，所述测试金属探针导体(4)外部分套接多层绝缘结构(5)，两个所述测试金属探针导体(4)末端均连接在待测阻变存储器上。2.根据权利要求1所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述多层绝缘结构(5)包括套接在测试金属探针导体(4)外的内环氧树脂绝缘层(501)，所述内环氧树脂绝缘层(501)外依次套接内金属铜屏蔽层(502)、外环氧树脂绝缘层(503)和外金属铜屏蔽层(504)，所述内金属铜屏蔽层(502)外壁接地。3.根据权利要求2所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述测试金属探针导体(4)的材质为金属铜，所述金属铜外表面镀金膜。4.根据权利要求2所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述内环氧树脂绝缘层(501)、外环氧树脂绝缘层(503)由环氧树脂绝缘经真空浸渍制备。5.根据权利要求2所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述内金属铜屏蔽层(502)、外金属铜屏蔽层(504)是由金属铜经过磁控溅射制备。6.根据权利要求1所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述微探针测试系统(2)包括支撑底座(201)，所述支撑底座(201)上通过支撑杆连接支撑平板(202)，所述支撑平板(202)上开设u型槽(203)，所述支撑底座(201)上位于u型槽(203)正下方固定连接升降台(204)，所述升降台(204)上固定连接测量卡盘(205)，所述支撑平板(202)上位于u型槽(203)两侧分别连接一个能够导电的探针固定装置(206)，其中一个所述探针固定装置(206)一端通过导线连接程控电源(1)，另一端连接测试金属探针导体(4)，另一个探针固定装置(206)一端通过导线连接半导体参数分析仪(3)，另一端连接另一个测试金属探针导体(4)。7.根据权利要求6所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述支撑平板(202)上还连接高倍显微镜(207)，所述高倍显微镜(207)镜头正对测量卡盘(205)。
技术总结
本发明公开了一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，包括能够供电的程控电源，程控电源连接微探针测试系统、半导体参数分析仪，微探针测试系统和半导体参数分析仪均连接测试金属探针导体，测试金属探针导体外部分套接多层绝缘结构，两个测试金属探针导体末端均连接在待测阻变存储器上；通过内外两层环氧树脂绝缘层将空间辐射的大量电子阻挡在测量探针之外，两层铜屏蔽层在端部接地，将少部分进入测量探针内部的电子有效导入大地，屏蔽层将全部导线中可能的误差信号消除，使得工作电路中的电压电流信号不发生畸变，最终得出准确的伏安特性曲线，从而正确评估阻变存储器的基本特性。基本特性。基本特性。
技术研发人员：张嘉伟 陈俊辉 秦司晨 刘朝辉
受保护的技术使用者：西安理工大学
技术研发日：2021.05.31
技术公布日：2021/9/13