玻璃基板搬运夹具、玻璃基板的抛光方法及磁性存储介质用玻璃基板的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及玻璃基板搬运夹具、玻璃基板的抛光方法及磁性存储介质用玻璃基板 的制造方法。
【背景技术】
[0002] 作为硬盘驱动器等的磁性存储介质用基板，目前广泛使用平坦性和平滑性佳的玻 璃基板。作为磁性存储介质用基板使用的玻璃基板例如用如下方法制造：形成为圆盘状后 实施倒角处理，然后对端面及表面进行抛光，并实施化学强化处理等。
[0003] 对玻璃基板表面的抛光例如如下进行；在抛光装置上，使玻璃基板的主表面紧贴 到供给有抛光液的抛光片的抛光面来进行抛光。主表面经过抛光的玻璃基板要从抛光装置 取出W向后一工序搬运，但玻璃基板牢固地吸附在抛光片的抛光面上，因此在将玻璃基板 从抛光面分离时，有时夹具等会划伤玻璃基板及抛光面。
[0004] 为此，例如提出了一种搬运装置和夹头式夹具，能够迅速可靠地将玻璃基板从抛 光装置分离并加W搬运（例如参照专利文献1)。
[0005] 图8是对W往的玻璃基板搬运夹具10进行例示的图。
[0006] 图8中例示的玻璃基板搬运夹具10具有操作部1la、1化、保持部12曰、12bW及支 轴13。操作部11a、1化设置成能够W支轴13为支点交叉地旋转。在操作部Ub的一端侧设 有保持部12曰，该保持部12a在前端部具有与保持部。b相向的分离爪15曰。在操作部11a 的一端侧设有保持部12b，该保持部1化在前端部具有与保持部12a相向的分离爪15b。
[0007] -旦作业人员为了使分离爪15a、巧b分别接近玻璃基板的周端面而握持操作部 1la、1化，则保持部12日、12b就分别W支轴13为中必进行旋转。送时，分离爪15日、15b会分 别进入玻璃基板与抛光片的抛光面之间，使玻璃基板与抛光面分离。作业人员能够利用玻 璃基板搬运夹具10将如上所述与抛光面分离的玻璃基板保持在保持部12a、1化之间并将 其搬运到下一工序。
[0008] 专利文献1;日本专利特开2010-238291号公报
[0009] 然而，玻璃基板搬运夹具10的保持部12a、12b向图8所示的箭头方向W描画圆弧 的方式旋转，因此分离爪15a、巧b会相对于抛光面而上下移动，从而可能划伤玻璃基板的 端面、抛光面。
【发明内容】
[0010] 本发明正是为了解决上述问题而作出的，其目的在于提供一种玻璃基板搬运夹 具，能够将玻璃基板从抛光装置分离并加W搬运而不会划伤玻璃基板及抛光面。
[0011] 根据本发明的一个方案，提供一种玻璃基板搬运夹具，用于将置放在抛光装置的 抛光面上且具有圆孔的圆盘形状的玻璃基板从所述抛光面分离且进行搬运，具有；一对操 作部，送一对操作部在一端侧连接；W及一对保持部，送一对保持部设于所述一对操作部 的另一端侧，与所述玻璃基板的内周端面及外周端面抵接而对所述玻璃基板进行保持，所 述保持部的在所述操作部的相反一侧形成的端面与所述操作部延伸的方向形成的角度为 10。~60°。
[0012] 本发明的实施方式能够提供一种玻璃基板搬运夹具，能够将玻璃基板从抛光装置 分离并加W搬运而不会划伤玻璃基板及抛光面。
【附图说明】
[0013] 图1是对实施方式的玻璃基板搬运夹具进行例示的图。
[0014] 图2是对实施方式的玻璃基板搬运夹具进行例示的图。
[0015] 图3是对实施方式的保持部进行例示的侧视图。
[0016] 图4是对实施方式的保持部进行例示的主视图。
[0017] 图5是对实施方式的保持部及操作部进行例示的侧视图。
[0018] 图6是对实施方式的玻璃基板搬运夹具搬运玻璃基板的状态进行说明的图。
[0019] 图7是对实施方式的玻璃基板搬运夹具搬运玻璃基板的状态进行说明的图。
[0020] 图8是对W往的玻璃基板搬运夹具进行例示的图。
[00川（符号说明）
[0022] 100玻璃基板搬运夹具
[0023] 110日、110b操作部
[0024] 120a、120b保持部 [00巧]125端面
[002引 126第一倾斜面
[0027] 127第二倾斜面（倾斜面）
[0028] 129分离爪
[0029] 130日、130b弯曲部
[0030] 160玻璃基板
[00引]161圆孔[0032] 163 内周端面
[003引 165外周端面
【具体实施方式】
[0034]W下参照附图详细说明实施本发明的方式。在各附图中，对于相同结构部分有时 会使用相同符号表示并省略重复说明。
[0035]图1是例示实施方式的玻璃基板搬运夹具100的图。图2是从与图1不同的角度 观察到的、对玻璃基板搬运夹具100进行例示的图。
[0036]如图1及图2所示，玻璃基板搬运夹具100具有轴101、弹黃103、操作部110曰、110b W及保持部120a、120b。玻璃基板搬运夹具100用于使置放在抛光装置的抛光面上且在中 央部具有圆孔的玻璃基板与抛光面分离并加W搬运。
[0037] 操作部110a、110b(W下有时简称为"操作部110")分别具有杆状的形状，在一 端侧（图1及图2中的右侧）用轴101连接，且设置成能各自旋转。另外，在操作部110a、 11化之间设有弹黃103,该弹黃103向着使操作部110a、11化分离的方向施力。只要作业 人员不向关闭方向施力，操作部11〇曰、11化就能因弹黃103的作用而保持打开状态。
[0038] 在操作部110a的另一端侧（图1及图2中的左侧）可装拆地设置了保持部120曰。 在操作部11化的另一端侧则可装拆地设置了保持部120b。保持部120a、120b(W下有时简 称为"保持部120")分别具有弯曲部130a、130b(W下有时简称为"弯曲部130")，保持部 120a、12化的前端侧分别从弯曲部130a、130b向着与操作部110a、ll化的延伸方向不同的 方向延伸。
[0039] 保持部120设置成能够相对于操作部110进行装拆，因此，当保持部120磨损或产 生缺口、裂纹时，通过更换保持部120就能继续使用玻璃基板搬运夹具100。
[0040] 操作部110例如考虑到耐久性而用金属材料来形成，但不限于送种材料，也可W 使用其它材料。另外，为了减少划伤抛光装置的抛光面、玻璃基板的可能性，保持部120例 如用硬度低于玻璃基板等的树脂材料形成，但不限于送种材料，也可W使用其它材料。
[0041]W下详细说明玻璃基板搬运夹具100的保持部120。
[0042] 图3是实施方式的保持部120a的侧视图，图4是保持部120a的主视图。
[0043] 保持部120a具备固定在挺作部110a上的固定部121W及保持玻璃基板的基板保 持部122,在固定部121和基板保持部122之间形成了弯曲部130曰。
[0044] 固定部121具有连接孔123、124。在操作部110a上形成了与连接孔123、124对应 的连接孔，通过插入到固定部121的连接孔123、124及操作部110a的连接孔中的销钉，将 保持部120a固定在操作部110a上。
[0045] 基板保持部122在与弯曲部130a相反一侧的前端部上具有保持玻璃基板的槽状 夹头部128和分离爪129。夹头部128由第一倾斜面126及第二倾斜面127形成，与玻璃 基板的内周端面或外周端面抵接，将玻璃基板保持在其与保持部12化的夹头部之间。分离 爪129由夹头部128的第二倾斜面127和基板保持部122的端面125形成，在抛光装置上 进入玻璃基板与抛光面之间而使玻璃基板与抛光面分离。
[0046] 如上所述，本实施方式的玻璃基板搬运夹具100的保持部120a及保持部12化中 的一方与玻璃基板的圆孔的内周端面抵接，另一方与玻璃基板的外周端面抵接，从而使玻 璃基板与抛光面分离并对其加W搬运。
[0047] 例如，如果采用使一对保持部分别与玻璃基板的圆孔的内周端面抵接、进行操作 W打开保持部从而使玻璃基板与抛光面分离并加W搬运的夹具，则需要使保持部的前端有 力地推压抛光片，保持部的前端可能会划伤抛光面。另外，在将两个保持部插入玻璃基板的 圆孔时，保持部的前端会与玻璃基板接触，可能划伤玻璃基板的表面。而且，使用送种结构 的夹具时可能会降低作业效率。
[0048] 为此，图3所示的弯曲部130a的角度a为100°~150°时较佳，110。~140°更 佳，115。~130°最佳。通过将弯曲部130a的角度a设在上述范围内，能够使分离爪129 相对于抛光面而大致水平地移动，在将玻璃基板与抛光面分离且加W搬运之际，能够减少 划伤玻璃基板、抛光面的可能性。如果用划伤后的抛光面来抛光玻璃基板，则可能会在玻璃 基板的表面形成擦痕状的划伤（也称为"磨痕"）或起伏，或导致表面粗糖度变差。
[0049] 如果弯曲部130a的角度a大于150°，则基板保持部122伴随操作部110的旋转 而作的圆弧运动就会增大，送会使基板保持部122相对于抛光面所作的上下方向的变位增 大，会增加分离爪129划伤玻璃基板、抛