1.一种点测机故障判别方法，用来检测晶圆上的多个晶粒，其特征在于，所述点测机故障判别方法包含：
(a)设定晶粒合格条件以及亮度梯度差标准值；
(b)使点测机沿着第一维度按序检测所述多个晶粒；
(c)若所述多个晶粒其中一个正在被检测的晶粒符合所述晶粒合格条件，则即时测量并计算正在被检测的所述晶粒在所述第一维度上的第一维亮度梯度差计算值以及在第二维度上的第二维亮度梯度差计算值；以及
(d)判断所述第一维亮度梯度差计算值的绝对值与该第二维亮度梯度差计算值的绝对值是否皆超出所述亮度梯度差标准值，若否，则继续执行步骤(b)；
其中所述第一维亮度梯度差计算值由正在被检测的所述晶粒以及其在所述第一维度上至少前一个被检测的所述晶粒的第一维亮度比值所计算，并且所述第二维亮度梯度差计算值由正在被检测的所述晶粒以及其在所述第二维度上至少前一个被检测的所述晶粒的第二维亮度比值所计算；
其中正在被检测的所述晶粒的所述第一维亮度比值为Lx3_ratio＝Lx3/Lx2，正在被检测的所述晶粒在所述第一维度上的前一个被检测的所述晶粒的所述第一维亮度比值为Lx2_ratio＝Lx2/Lx1，Lx3、Lx2以及Lx1分别为正在被检测的所述晶粒以及其在所述第一维度上前两个被检测的所述晶粒的亮度值，则所述第一维亮度梯度差计算值Ratio_X＝(Lx3_ratio/Lx2_ratio)–1，正在被检测的所述晶粒的所述第二维亮度比值为Ly3_ratio＝Ly3/Ly2，正在被检测的所述晶粒在所述第二维度上的前一个被检测的所述晶粒的所述第二维亮度比值为Ly2_ratio＝Ly2/Ly1，Ly3、Ly2以及Ly1分别为正在被检测的所述晶粒以及其在所述第二维度上前两个被检测的所述晶粒的亮度值，则所述第二维亮度梯度差计算值Ratio_Y＝(Ly3_ratio/Ly2_ratio)–1。
2.如权利要求1所述的点测机故障判别方法，其特征在于，步骤(d1)包含：
(d2)若判断结果为是，则执行步骤(e)；以及
(e)对所述点测机进行异物排除和机台错误诊断工作，
其中在步骤(e)之后，所述点测机故障判别方法还包含：
(f)重新测量并计算所述第一维亮度梯度差计算值与所述第二维亮度梯度差计算值；
(g)判断重新测量并计算的所述第一维亮度梯度差计算值的绝对值与所述第二维亮度梯度差计算值的绝对值是否仍超出所述亮度梯度差标准值，若是，则执行步骤(h)，若否，则继续执行步骤(b)；以及
(h)判定所述点测机发生异常情况，并停止所述点测机以进行异常排除。
3.如权利要求1所述的点测机故障判别方法，其特征在于，步骤(b)包含：
(b1)使所述点测机根据弓字型路径沿着所述第一维度按序检测所述多个晶粒，并沿着所述第二维度换排检测所述多个晶粒。
4.如权利要求1所述的点测机故障判别方法，其特征在于，所述亮度梯度差标准值为2％～4％。