技术特征：
1.一种净化装置，利用净化气体对收纳有被收纳物的收纳容器的内部进行净化处理，具备：排出管，通过连接于所述收纳容器的排出口而将所述收纳容器内部的净化气体排出；测定部，测定实施所述净化处理时在所述排出管中流动的所述净化气体的流量即排气流量；以及判定部，基于利用所述测定部测定到的所述排气流量判定所述净化处理是否良好。2.根据权利要求1所述的净化装置，其中，还具备切换第1模式和第2模式的流量控制部，在朝所述收纳容器供给所述净化气体的流量比预定流量多时，则所述净化气体从所述收纳容器的所述排出口以外的部分泄漏的所述收纳容器中，当将直至所述预定流量为止的流量设为第1流量、将比所述第1流量多的流量设为第2流量时，所述第1模式为，通过以所述第1流量朝所述收纳容器供给所述净化气体来实施所述净化处理，所述第2模式为，通过以所述第2流量朝所述收纳容器供给所述净化气体来实施所述净化处理，所述测定部在所述第1模式中测定所述排气流量，所述判定部基于在所述第1模式中测定到的所述排气流量判定所述净化处理是否良好。3.根据权利要求2所述的净化装置，其中，所述流量控制部以所述第2模式开始所述净化处理，随后为了判定所述净化处理是否良好而切换至所述第1模式并实施所述净化处理，随后再次以所述第2模式实施所述净化处理。4.一种净化方法，利用净化气体对收纳有被收纳物的收纳容器的内部\t进行净化处理，在所述收纳容器的排出口连接能够将所述收纳容器内部的净化气体排出的排出管，测定实施所述净化处理时在所述排出管中流动的所述净化气体的流量即排气流量，基于所测定到的所述排气流量判定所述净化处理是否良好。5.根据权利要求4所述的净化方法，其中，在朝所述收纳容器供给所述净化气体的流量比预定流量多时，则净化气体从所述收纳容器的所述排出口以外的部分泄漏的所述收纳容器中，当将直至所述预定流量为止的流量设为第1流量、将比所述第1流量多的流量设为第2流量时，测定在通过以所述第1流量朝所述收纳容器供给所述净化气体来实施所述净化处理时在所述排出管中流动的所述净化气体的流量即排气流量，并基于测定到的所述排气流量判定所述净化处理是否良好。