带电粒子束装置及球面像差校正方法与流程

技术特征：
1.一种带电粒子束装置，具有：带电粒子束源；带电粒子光学系统，其包括物镜以及球面像差校正器，并将从上述带电粒子束源放出的带电粒子作为带电粒子束而向试样照射；以及控制部，其对包括上述球面像差校正器的上述带电粒子光学系统进行控制，上述带电粒子束装置的特征在于，上述物镜对上述带电粒子束进行聚焦；上述球面像差校正器根据上述物镜的励磁电流的变更，对构成多极子透镜的多组极子群选择性地进行励磁，从而针对多个像差校正条件满足磁饱和状态。2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述多个像差校正条件与多个加速电压对应。3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述多个像差校正条件与上述物镜的多个极片形状对应。4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述多极子透镜是具有十二个极子的十二极子透镜，利用由上述十二个极子中的六个极子构成的第一极子群的激励满足第一像差校正条件，利用由另外六个极子构成的第二极子群的激励满足第二像差校正条件，利用全部十二个极子的励磁满足第三像差校正条件。5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述多极子透镜是具有十二个以上的极子的多极子透镜，利用由上述十二个以上的极子中的六个极子构成的第一极子群的激励满足第一像差校正条件，利用上述六个极子之外的极子群或包含上述六个极子的其它极子群的选择励磁，满足一个或多个其它的像差校正条件。6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述多极子透镜是具有十二个极子的十二极子透镜，利用由上述十二个极子中的六个极子构成的第一极子群的激励满足第一像差校正条件，利用由另外六个极子构成的第二极子群的激励满足第二像差校正条件。7.一种球面像差校正方法，是带电粒子束装置的球面像差校正方法，该带电粒子束装置具有：带电粒子束源；带电粒子光学系统，其包括物镜以及球面像差校正器，并将从上述带电粒子束源放出的带电粒子作为带电粒子束而向试样照射；以及控制部，其对包括上述球面像差校正器的上述带电粒子光学系统进行控制，上述球面像差校正方法的特征在于，上述物镜对上述带电粒子束进行聚焦，上述球面像差校正器对上述带电粒子光学系统的球面像差进行校正，上述控制部根据上述物镜的励磁电流的变更，对构成多极子透镜的多组极子群选择性地进行励磁，从而针对多个像差校正条件满足磁饱和状态。8.根据权利要求7所述的球面像差校正方法，其特征在于，上述控制部与加速电压的变更对应地控制上述球面像差校正器。9.根据权利要求7所述的球面像差校正方法，其特征在于，上述控制部与上述物镜的极片形状的变更对应地控制上述球面像差校正器。10.根据权利要求7所述的球面像差校正方法，其特征在于，上述多极子透镜是具有十二个极子的十二极子透镜，上述控制部对由上述十二个极子中的六个极子构成的第一极子群进行激励以满足第一像差校正条件，对由另外六个极子构成的第二极子群进行激励以满足第二像差校正条件，对全部十二个极子进行励磁以满足第三像差校正条件。11.根据权利要求7所述的球面像差校正方法，其特征在于，上述多极子透镜是具有十二个以上的极子的多极子透镜，上述控制部对由上述十二个以上的极子中的六个极子构成的第一极子群进行激励以满足第一像差校正条件，对上述六个极子之外的极子群或包含上述六个极子的其它极子群进行选择励磁以满足一个或多个其它的像差校正条件。12.根据权利要求7所述的球面像差校正方法，其特征在于，上述多极子透镜是具有十二个极子的十二极子透镜，上述控制部对由上述十二个极子中的六个极子构成的第一极子群进行激励以满足第一像差校正条件，对由另外六个极子构成的第二极子群进行激励以满足第二像差校正条件。