谐振腔及应用该谐振腔的绝热激光器的制作方法

文档序号:12483274阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种谐振腔,所述谐振腔包括对应设置的第一反射结构和第二反射结构,其特征在于,所述第一反射结构和第二反射结构之间设置有增益单元,增益单元的外侧设置有包层,所述增益单元包括对光线进行放大的波导结构和对光程进行补偿的温度补偿结构,所述温度补偿结构位于波导结构的中间和/或波导结构侧边,所述波导结构和温度补偿结构分别采用正温度系数材料和负温度系数材料制成,温度补偿结构通过对光程进行补偿来维持射出谐振腔的光线的波长保持不变。

2.根据权利要求1所述的谐振腔,其特征在于,所述波导结构和温度补偿结构满足A*Δn1+B*Δn2=0,其中,Δn1=dn1/dT和Δn2=dn2/dT分别为波导结构和温度补偿结构的温度系数,n1和n2分别为波导结构和温度补偿结构的折射率,A和B分别为光在波导结构和温度补偿结构中所占的能量比。

3.根据权利要求2所述的谐振腔,其特征在于,所述A和B正比于材料折射率*电场的平方。

4.根据权利要求2所述的谐振腔,其特征在于,所述波导结构为狭缝波导结构,A和B通过增益单元中的波导结构宽度、狭缝宽度、波导高度、及材料折射率模拟计算得到。

5.根据权利要求2所述的谐振腔,其特征在于,所述波导结构的材料为Ⅲ-Ⅴ族化合物正温度系数材料,温度补偿结构的材料为聚合物负温度系数材料。

6.根据权利要求1所述的谐振腔,其特征在于,所述第一反射结构为宽带反射结构,第二反射结构为窄带反射结构,宽带反射结构对应的波长为中心波长±10nm,窄带反射结构对应的波长为中心波长±0.1nm。

7.根据权利要求6所述的谐振腔,其特征在于,所述第一反射结构为宽带反射膜,所述第二反射结构为窄带光栅反射结构。

8.根据权利要求1所述的谐振腔,其特征在于,所述第一反射结构或第二反射结构的材料为氧化硅。

9.根据权利要求1所述的谐振腔,其特征在于,所述增益单元的有效折射率大于包层的折射率。

10.一种绝热激光器,其特征在于,所述绝热激光器包括权利要求1~9中任一项所述的谐振腔。

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