技术总结
一种提高鳍式场效应管性能的方法，包括：提供表面具有鳍部的衬底，衬底表面还形成有隔离层，隔离层覆盖鳍部部分侧壁表面，高于隔离层顶部的鳍部包括第一部分鳍部以及第二部分鳍部；对第一部分鳍部和第二部分鳍部进行非晶化离子注入，在第一部分鳍部侧壁表面形成第一非晶化层，在第二部分鳍部顶部表面和侧壁表面形成第二非晶化层，第二非晶化层的厚度大于第一非晶化层的厚度；对第一部分鳍部和第二部分鳍部进行氧化处理，在第二部分鳍部的顶部表面和侧壁表面、以及第一部分鳍部侧壁表面形成氧化层。本发明提高形成的氧化层厚度均匀性，特别是鳍部顶部拐角区域的氧化层性能得到提高，进而提高鳍式场效应管的可靠性和电学性能。
技术研发人员：李勇
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
文档号码：201510894467
技术研发日：2015.12.07
技术公布日：2017.06.13