技术总结
提供了在基板上执行构图的光刻装置。光刻装置包括：被配置为执行向从第一外部装置顺序送入的多个基板中每一个指派指示出多个基板的送入次序的次序信息的处理的处理器；被配置为并行地分别执行多个基板的构图的多个单元；以及被配置为向第二外部装置发送与多个基板中的由多个单元中的一个单元在其上构图之后被送出的基板对应的次序信息的发送设备。
技术研发人员：古德雅史;萩庭邦保
受保护的技术使用者：佳能株式会社
文档号码：201580019824
技术研发日：2015.02.27
技术公布日：2016.12.14