用于晶片级封装的切割方法和具有适于晶片级封装的切割结构的半导体芯片与流程

文档序号:11142547阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于晶片级封装的切割方法,包括:

提供具有集成电路区域(2、20)的半导体衬底(1);

在衬底(1)中所述集成电路区域(2、20)之间形成沟槽(7);

在所述集成电路区域(2、20)上方和所述沟槽(7)上方施加带层(14);

从与所述带层(14)相对的衬底侧(17)去除所述衬底(1)的层部分,直到所述沟槽(7)被打开并且因此实现所述衬底(1)的切割为止;以及

去除所述带层(14),

其特征在于,

在形成所述沟槽(7)之后,在施加所述带层(14)之前,在所述集成电路区域(2、20)上方和所述沟槽(7)上方施加聚酰亚胺层(8);以及

当所述带层(14)被去除时,所述聚酰亚胺层(8)在所述沟槽(7)上方被切断。

2.根据权利要求1所述的切割方法,其中,所述聚酰亚胺层(8)作为跨越所述沟槽(7)的干膜来施加。

3.根据权利要求1或2所述的切割方法,其中,所述聚酰亚胺层(8)在所述沟槽(7)附近设置有断裂定界(9)。

4.根据权利要求3所述的切割方法,其中,所述断裂定界(9)由所述聚酰亚胺层(8)中的间隙形成。

5.根据权利要求3或4所述的切割方法,其中,所述聚酰亚胺层(8)是光敏的,并且使用光刻法来形成所述断裂定界(9)。

6.根据权利要求1至5中的一项所述的切割方法,还包括:

所述集成电路区域(2、20)设置有未被所述聚酰亚胺层(8)覆盖的接触焊垫(5);以及

在施加所述带层(14)之前施加凸点接触(13),每个所述凸点接触(13)与所述接触焊垫(5)中的一个接触焊垫电连接。

7.根据权利要求6所述的切割方法,还包括:

在所述聚酰亚胺层(8)上施加导电层(10),所述导电层(10)的部分接触所述接触焊垫(5);

在所述导电层(10)上施加覆盖层(11),所述覆盖层(11)不覆盖所述导电层(10)的局部区域;

在施加所述带层(14)之前,在所述导电层(10)的未被覆盖区域上施加凸点下金属化层(12)和所述凸点接触(13);以及

在所述覆盖层(11)上施加所述带层(14)。

8.根据权利要求7所述的切割方法,其中,通过旋涂液体聚酰亚胺层来施加所述覆盖层(11)。

9.根据权利要求1至8中的一项所述的切割方法,还包括:

在所述沟槽(7)已经被打开之后并且在所述带层(14)被去除之前,将切割箔(16)施加至所述半导体衬底(1),所述切割箔(16)是柔性的以使得所述聚酰亚胺层(8)能够通过断裂而被切断。

10.一种半导体芯片,包括:

具有设置有接触焊垫(5)的集成电路区域(2、20)的半导体衬底(1);

布置在所述集成电路区域(2、20)上方的聚酰亚胺层(8),所述聚酰亚胺层(8)不覆盖所述接触焊垫(5);以及

与所述接触焊垫(5)电连接的凸点接触(13),

其特征在于,

覆盖层(11)布置在所述聚酰亚胺层(8)上;以及

所述覆盖层(11)横向限制所述聚酰亚胺层(8)。

11.根据权利要求10所述的半导体芯片,还包括:

在所述聚酰亚胺层(8)上的导电层(10),所述导电层(10)的部分接触所述接触焊垫(5);以及

施加至所述导电层(10)的凸点下金属化层(12)和所述凸点接触(13)。

12.根据权利要求10或11所述的半导体芯片,其中,所述覆盖层(11)不覆盖所述凸点接触(13)。

13.根据权利要求10至12中的一项所述的半导体芯片,其中,所述覆盖层(11)是另外的聚酰亚胺层。

14.根据权利要求10至13中的一项所述的半导体芯片,其中,所述覆盖层(11)对所述聚酰亚胺层(8)的横向限制被设置为用于晶片切割的断裂定界(9)。

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