技术总结
本公开内容的实施方式一般涉及全面、可扩充基板检测系统。检测系统包括多个测量单元，这些测量单元经调适以检测、探测或测量基板的一或更多个特征，这些特征包括厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污点、碎屑、微裂纹、晶体分数及光致发光。可使用检测系统鉴定基板上的缺陷，并在将基板处理成太阳能电池之前评估利用基板生产的太阳能电池的太阳能电池效率。可在轨道或输送装置上将基板移送穿过测量单元之间的检测系统，且随后基于检测数据将这些基板分类。
技术研发人员：阿萨夫·施勒岑杰;钟声德
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580030766
技术研发日：2015.06.03
技术公布日：2017.02.22