具有叉指背接触的太阳能电池的制作方法

文档序号:18060677发布日期:2019-07-03 03:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能电池,包括:

晶体硅基极层;

位于所述晶体硅基极层的第一侧上的本征非晶硅层;

电子集电极区域,所述电子集电极区域包括一层第一导电氧化物材料;以及

空穴集电极区域,所述空穴集电极区域包括一层第二导电氧化物材料;

其中所述电子集电极区域和所述空穴集电极区域形成叉指图案;

其中第一导电氧化物材料层和第二导电氧化物材料层与所述本征非晶硅层直接接触;并且

其中所述第一导电氧化物材料和所述第二导电氧化物材料具有不同的功函数。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池,还包括:在所述基极层和所述本征非晶硅层之间的量子隧穿势垒层。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池,其中所述电子集电极区域或所述空穴集电极区域不包含掺杂的非晶硅。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池,其中所述第一导电氧化物材料和所述第二导电氧化物材料中的至少一种是透明的。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池,其中所述第一导电氧化物材料具有小于或等于4.2eV的功函数。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池,其中所述第一导电氧化物材料包括选自以下材料组成的组中的至少一种材料:

掺铝氧化锌;

掺钨氧化铟;

掺锡氧化铟;

掺氟氧化锡;

掺锌氧化铟;以及

掺杂锌和钨的氧化铟。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池,其中所述第二导电氧化物材料具有大于或等于5.0eV的功函数。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池,其中所述第二导电氧化物材料包括选自以下材料组成的组中的至少一种材料:

掺钨氧化铟;

掺锡氧化铟;

镓铟氧化物;

镓铟锡氧化物;

锌铟氧化物;

锌铟锡氧化物;

掺钛氧化铟;

氧化铈;

氧化钨;

氧化锰;以及

氧化铟。

9.一种太阳能电池,包括:

晶体硅基极层;

位于所述晶体硅基极层的第一侧上的本征非晶硅层;

电子集电极区域;以及

空穴集电极区域;

其中所述电子集电极区域和所述空穴集电极区域在所述基极层的背侧上形成叉指图案;

其中所述电子集电极区域和所述空穴集电极区域是至少部分透明的,从而允许所述太阳能电池从所述背侧吸收光;

其中所述电子集电极区域包括一层第一透明导电氧化物材料;

其中所述空穴集电极区域包括一层第二透明导电氧化物材料;

其中第一透明导电氧化物材料层和第二透明导电氧化物材料层与所述本征非晶硅层直接接触;并且

其中所述第一透明导电氧化物材料和所述第二透明导电氧化物材料具有不同的功函数。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池,其中所述电子集电极区域和所述空穴集电极区域至少部分地被透明的导电氧化物材料覆盖。

11.根据权利要求9所述的太阳能电池,还包括:

被耦合到所述电子集电极区域并部分地覆盖所述电子集电极区域的电子集电极;以及

被耦合到所述空穴集电极区域并部分地覆盖所述空穴集电极区域的空穴集电极。

12.根据权利要求9所述的太阳能电池,其中所述电子集电极区域包括p型掺杂非晶硅;并且

其中所述空穴集电极区域包括n型掺杂非晶硅。

13.根据权利要求9所述的太阳能电池,还包括:在所述基极层和所述本征非晶硅层之间的量子隧穿势垒层。

14.一种光伏结构,包括:

晶体硅基极层;

位于所述晶体硅基极层的第一侧上的本征非晶硅层;

第一透明导电氧化物区域;以及

第二透明导电氧化物区域;

其中所述第一透明导电氧化物区域和所述第二透明导电氧化物区域位于所述基极层的相同侧上并形成叉指图案;

其中所述第一透明导电氧化物区域和所述第二透明导电氧化物区域与所述本征非晶硅层直接接触;并且

其中所述第一透明导电氧化物区域和所述第二透明导电氧化物区域具有不同的功函数。

15.根据权利要求14所述的光伏结构,其中所述第一透明导电氧化物区域和所述第二透明导电氧化物区域在没有掺杂的非晶硅的情况下被耦合到所述基极层。

16.根据权利要求14所述的光伏结构,还包括:

被耦合到所述第一透明导电氧化物区域并部分地覆盖所述第一透明导电氧化物区域的第一电极;以及

被耦合到所述第二透明导电氧化物区域并部分地覆盖所述第二透明导电氧化物区域的第二电极。

17.根据权利要求14所述的光伏结构,其中所述第一透明导电氧化物区域和所述第二透明导电氧化物区域经由量子隧穿势垒层和所述本征非晶硅层被耦合到所述基极层。

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