基板收纳容器的制作方法

本发明涉及在收纳、保管、搬运和输送由半导体晶片等构成的基板时使用的基板收纳容器。

背景技术：

作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序等中搬运的基板收纳容器，以往已为公众所知的有一种包括容器主体和盖体的结构。

容器主体具有在一端部形成有容器主体开口部且另一端部封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而成，能够收纳多个基板。盖体相对于容器主体开口部可装拆，并且能够封闭容器主体开口部。

在作为盖体的一部分的、封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分上设置有前部保持构件。在容器主体开口部被盖体封闭时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。此外，后侧基板支承部以与前部保持构件成对的方式设置在壁部上。后侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。在容器主体开口部被盖体封闭时，通过使后侧基板支承部与前部保持构件协同动作来支承多个基板，由此在使相邻的基板之间以规定的间隔分离且并列的状态下，保持多个基板。

容器主体的壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，由上壁的一端部、下壁的一端部和侧壁的一端部形成容器主体开口部。具有下壁的基板收纳容器的容器主体的底部具有抵接部，该抵接部与装入口等的定位销抵接，所述装入口用于将收纳在基板收纳空间内的基板向处理装置搬运。此外，底部具有中央被卡止部，该中央被卡止部被卡止并固定在装入口等的中央容器卡止部。中央被卡止部位于距多个各抵接部大体等距离的位置。通过将中央被卡止部固定在装入口等的中央容器卡止部，容器主体在被装入口等的定位销支承的状态下，相对于装入口等固定(参照专利文献1～3)。

此外，在容器主体的下壁设置有止回阀。氮气等不活泼气体或除去了水分(1％以下)的干空气(以下称为吹扫气体)通过止回阀，从容器主体的外部流入基板收纳空间内，进行气体吹扫。止回阀防止因气体吹扫而填充在基板收纳空间内的气体泄漏。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公报特許第4373316号

专利文献2：日本专利公开公报特开平4-340250号

专利文献3：日本专利公开公报特开2005-209891号

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题

进行气体吹扫时，由于使不活泼气体或干空气通过止回阀流入基板收纳空间内，所以气体吹扫的工序需要时间。如果为了缩短气体吹扫所需的时间，使从止回阀流入基板收纳空间内的气体的每单位时间的量增多，则因流入的气体的压力，容器主体会被向上方抬起，难以维持容器主体的抵接部与装入口等的定位销稳定地抵接的状态。

本发明的目的在于提供一种基板收纳容器，即使在气体吹扫中从止回阀流入基板收纳空间内的气体的每单位时间的量多的情况下，也能够抑制容器主体被向上方抬起。

解决技术问题的技术方案

本发明提供一种基板收纳容器，其包括：容器主体，所述容器主体具有壁部，所述壁部是在一端部形成有容器主体开口部且另一端部封闭的筒状的壁部，所述壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，由所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，由所述上壁的内表面、所述下壁的内表面、所述侧壁的内表面和所述后壁的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；以及盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部，所述下壁构成所述容器主体的底部，所述下壁的靠近所述后壁的部分具有供气用过滤器部，所述下壁的靠近所述容器主体开口部的部分具有排气用过滤器部，所述供气用过滤器部具有：气道，能够连通所述基板收纳空间和所述容器主体的外部的空间；以及过滤器，配置在所述气道上，气体能够通过所述过滤器从所述容器主体的外部的空间向所述基板收纳空间通过，所述排气用过滤器部具有：气道，能够连通所述基板收纳空间和所述容器主体的外部的空间；以及过滤器，配置在所述气道上，气体能够通过所述过滤器从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部的空间通过，所述底部具有：抵接部，分别与多个定位部抵接，所述多个定位部设置在装入口，所述装入口用于将收纳在所述基板收纳空间内的基板向处理装置搬运，并且所述多个定位部用于相对于所述装入口对所述容器主体进行定位；以及后侧底部被卡止部，在连接所述容器主体开口部和所述后壁的方向上位于比位于最靠近所述容器主体开口部位置的所述抵接部和位于最靠近所述后壁位置的所述抵接部的中央位置更靠所述后壁的位置，并且卡止并固定在所述装入口的容器卡止部。

此外，优选的是，所述后侧底部被卡止部在连接所述容器主体开口部和所述后壁的方向上位于比位于最靠近所述后壁位置的所述抵接部更靠所述后壁的位置。

此外，优选的是，在连接所述容器主体开口部和所述后壁的方向上的比位于最靠近所述后壁位置的所述抵接部更靠所述后壁的位置，沿与连接所述容器主体开口部和所述后壁的方向交叉的方向，存在有多个所述供气用过滤器部，所述后侧底部被卡止部位于连接多个所述供气用过滤器部的直线上。

此外，优选的是，所述供气用过滤器部能够使每分钟20l(升)以上的氮气从所述容器主体的外部的空间向所述基板收纳空间通过。

发明效果

按照本发明，能够提供一种基板收纳容器，即使在气体吹扫中从止回阀向基板收纳空间流入的气体的每单位时间的量多的情况下，也能够抑制容器主体被向上方抬起。

附图说明

图1是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1中收纳有基板w的状态的分解立体图。

图2a是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的右视图。

图2b是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的仰视图。

图3是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的主视图。

图4是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901接近本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下壁24的状态的放大剖视图。

图5是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的底板6中央部分的中央被卡止部623卡止的状态的放大剖视图。

图6是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901接近本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下壁24的状态的放大剖视图。

图7是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的底板6中央部分的中央被卡止部623卡止的状态的放大剖视图。

图8是沿图2b的b-b线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的后侧底部被卡止部615的平坦面部617卡止的状态的放大剖视图。

图9是沿图2b的b-b线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的后侧底部被卡止部615的斜面部616卡止的状态的放大剖视图。

图10是表示将本发明第一实施方式的基板收纳容器1的底部固定在装入口的状态的示意图。

图11a是表示本发明第二实施方式的基板收纳容器1a的仰视图。

图11b是沿图11a的c-c线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911a与本发明第二实施方式的基板收纳容器1a的容器主体2a的后侧底部被卡止部615a卡止的状态的放大剖视图。

图11c是表示本发明第二实施方式的基板收纳容器1a的后方立体图。

图12a是表示本发明第三实施方式的基板收纳容器1b的仰视图。

图12b是沿图12a的d-d线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911b与本发明第三实施方式的基板收纳容器1b的容器主体2b的后侧底部被卡止部615b卡止的状态的放大剖视图。

图12c是表示本发明第三实施方式的基板收纳容器1b的后方立体图。

图13a是表示本发明第四实施方式的基板收纳容器1c的仰视图。

图13b是沿图13a的e-e线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911c与本发明第四实施方式的基板收纳容器1c的容器主体2c的后侧底部被卡止部615c卡止的状态的放大剖视图。

图13c是表示本发明第四实施方式的基板收纳容器1c的后方立体图。

图14a是表示本发明第五实施方式的基板收纳容器1d的仰视图。

图14b是沿图14a的f-f线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911d与本发明第五实施方式的基板收纳容器1d的容器主体2d的后侧底部被卡止部615d卡止的状态的放大剖视图。

图14c是表示本发明第五实施方式的基板收纳容器1d的后方立体图。

图15a是表示本发明第六实施方式的基板收纳容器1e的仰视图。

图15b是沿图15a的g-g线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911e与本发明第六实施方式的基板收纳容器1e的容器主体2e的后侧底部被卡止部615e卡止的状态的放大剖视图。

图15c是表示本发明第六实施方式的基板收纳容器1e的后方立体图。

图16是表示本发明第七实施方式的基板收纳容器1f中收纳有基板w的状态的分解立体图。

附图标记说明

1、1a、1b、1c、1d、1e、1f基板收纳容器

2、2a、2b、2c、2d、2e、2f容器主体

3、3f盖体

7槽构件(抵接部)

20、20f壁部

21、21f容器主体开口部

22、22f后壁

23、23f上壁

24、24f下壁(底部)

25、25f第一侧壁

26、26f第二侧壁

27、27f基板收纳空间

80供气用过滤器部

81排气用过滤器部

615、615a、615b、615c、615d、615e后侧底部被卡止部

911、911a、911b、911c、911d、911e后部容器卡止部(定位部)

w基板

具体实施方式

下面，参照附图，对第一实施方式的基板收纳容器1进行说明。

图1是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1中收纳有基板w的状态的分解立体图。图2a是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的右视图。图2b是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的仰视图。图3是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的主视图。图4是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901接近本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下壁24的状态的放大剖视图。图5是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的底板6中央部分的中央被卡止部623卡止的状态的放大剖视图。

图6是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901接近本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下壁24的状态的放大剖视图。图7是沿图2b的a-a线的放大剖视图，是表示使中央容器卡止部901与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的底板6中央部分的中央被卡止部623卡止的状态的放大剖视图。图8是沿图2b的b-b线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的后侧底部被卡止部615的平坦面部617卡止的状态的放大剖视图。图9是沿图2b的b-b线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911与本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的后侧底部被卡止部615的斜面部616卡止的状态的放大剖视图。图10是表示将本发明第一实施方式的基板收纳容器1的底部固定在装入口的状态的示意图。

在此，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为朝前方向d11，将其相反的方向定义为朝后方向d12，并将它们合起来定义为前后方向d1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1的朝上方向)定义为朝上方向d21，将其相反的方向定义为朝下方向d22，并且将它们合起来定义为上下方向d2。此外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1的从右下朝向左上的方向)定义为朝左方向d31，将其相反的方向定义为朝右方向d32，并将它们合起来定义为左右方向d3。附图中，图示了表示所述方向的箭头。

此外，收纳在基板收纳容器1内的基板w(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片和蓝宝石晶片等，是用于工业的薄的基板。本实施方式的基板w是直径300mm的硅晶片。

如图1所示，基板收纳容器1用作收纳由所述硅晶片构成的基板w并在工厂内的工序中搬运的工序内容器、或者是用作用于通过陆运方式、空运方式和海运方式等输送方式输送基板的发货容器，该基板收纳容器1包括容器主体2和盖体3，容器主体2包括基板支承板状部5和后侧基板支承部56(参照图3等)，盖体3包括前部保持构件(未图示)。另外，在图1中，省略了后述的操作构件251、261的图示。

容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而成。在作为壁部20的一部分的、形成基板收纳空间27的部分上配置有基板支承板状部5。如图1所示，在基板收纳空间27内能够收纳多个基板w。

基板支承板状部5在基板收纳空间27内以成对的方式设置在壁部20上。在容器主体开口部21未被盖体3封闭时，基板支承板状部5通过与多个基板w的边缘部抵接，能够在使相邻的基板w之间以规定的间隔分离且并列的状态下，支承多个基板w的边缘部。在基板支承板状部5的后侧设置有后侧基板支承部56(参照图3等)。

后侧基板支承部56在基板收纳空间27内以与后述的前部保持构件(未图示)成对的方式设置在壁部20上。在容器主体开口部21被盖体3封闭时，后侧基板支承部56通过与多个基板w的边缘部抵接，能够支承多个基板w边缘部的后部。

盖体3相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)可装拆，并且能够封闭容器主体开口部21。前部保持构件(未图示)设置在作为盖体3的一部分的、容器主体开口部21被盖体3封闭时与基板收纳空间27相对的部分上。前部保持构件(未图示)在基板收纳空间27的内部以与后侧基板支承部56成对的方式配置。

在容器主体开口部21被盖体3封闭时，前部保持构件(未图示)通过与多个基板w的边缘部抵接，能够支承多个基板w边缘部的前部。在容器主体开口部21被盖体3封闭时，前部保持构件(未图示)通过与后侧基板支承部56协同动作来支承多个基板w，由此能够在使相邻的基板w之间以规定的间隔分离且并列的状态下，保持多个基板w。

基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成，在没有特别说明的情况下，作为其材料的树脂可以例举的是聚碳酸脂、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯、聚醚醚酮和液晶聚合物这样的热塑性树脂、以及它们的合金等。在对所述的成形材料的树脂赋予导电性的情况下，选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管和导电性聚合物等导电性物质。此外，为了提高刚性，可以添加玻璃纤维或碳纤维等。

以下，对各部分进行详细说明。

如图1等所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26由所述材料构成并一体成形。

第一侧壁25与第二侧壁26相对，上壁23与下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端和第二侧壁26的后端都与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端和第二侧壁26的前端构成开口周缘部28，该开口周缘部28形成容器主体开口部21，该容器主体开口部21具有与后壁22相对的位置关系，形成为大体长方形的形状。

开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形是箱形。壁部20的内表面亦即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面和第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。由开口周缘部28形成的容器主体开口部21与被壁部20包围且形成在容器主体2内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27内最多能够收纳25个基板w。

如图1所示，在作为上壁23和下壁24的一部分的、开口周缘部28附近的部分上形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的插销卡合凹部40a、40b、41a、41b。在上壁23和下壁24的左右两端部附近分别各形成有一个插销卡合凹部40a、40b、41a、41b，合计形成有四个。

如图1所示，在上壁23的外表面与上壁23一体成形地设置有肋235。肋235提高了容器主体2的刚性。

此外，在上壁23的中央部固定有上端凸缘236。在amhs(自动晶片搬运系统)、pgv(晶片基板搬运台车)等中吊挂基板收纳容器1时，上端凸缘236成为在基板收纳容器1上被挂住而被吊挂的部分。

如图2b所示，在下壁24的四角上作为气道形成有两种作为贯通孔的供气孔45和排气孔46。在本实施方式中，在下壁24的朝前方向d11端部的两个部位亦即下壁24的靠近容器主体开口部21的部分的两个部位的贯通孔是排气孔46，该排气孔46用于排出容器主体2内部的气体，在朝后方向d12端部的两个部位亦即下壁24的靠近后壁22的部分的两个部位的贯通孔是供气孔45，该供气孔45用于向容器内部提供气体。在供气孔45和排气孔46的贯通孔内分别配置有供气用过滤器部80和排气用过滤器部81。

即，在作为连接容器主体开口部21和后壁22的方向的前后方向d1上的比位于最靠近后壁22位置的作为抵接部的后述槽构件7更靠近后壁22的位置，沿与连接容器主体开口部21和后壁22的方向(前后方向d1)垂直的方向，存在有两个供气用过滤器部80。在作为连接容器主体开口部21和后壁22的方向的前后方向d1上的比位于最靠近容器主体开口部21位置的作为抵接部的后述的槽构件7更靠近容器主体开口部21的位置，沿与连接容器主体开口部21和后壁22的方向(前后方向d1)垂直的方向，存在有两个排气用过滤器部81。

操作构件251、261以沿着第一侧壁25、第二侧壁26的外表面的方式，分别与第一侧壁25、第二侧壁26的外表面相对配置。操作构件251、261通过固定在第一侧壁25、第二侧壁26和后述的底板6上，能够安装在容器主体2上，此外，通过从第一侧壁25、第二侧壁26和底板6上取下，由此从容器主体2取下。

供气用过滤器部80和排气用过滤器部81内部的气体的流道构成能够连通基板收纳空间27和容器主体2外部的空间的气道的一部分。此外，供气用过滤器部80和排气用过滤器部81配置在具有下壁24的壁部20上，在供气用过滤器部80和排气用过滤器部81中，气体能够通过过滤器(未图示)在容器主体2外部的空间和基板收纳空间27之间通过。供气用过滤器部80能够使每分钟20l(升)以上的氮气等不活泼气体或除去了水分(1％以下)的干空气(以下称为吹扫气体)，从容器主体2外部的空间向基板收纳空间27通过。同样地，排气用过滤器部81能够使空气或吹扫气体从基板收纳空间27向容器主体2外部的空间通过。

具体地说，如图2b所示，供气用过滤器部80具有：壳体801、过滤器(未图示)和止回阀(未图示)。过滤器(未图示)和止回阀(未图示)固定在壳体801部分上。过滤器(未图示)配置在形成于壳体801内部的气道上，并且比止回阀(未图示)更靠基板收纳空间27侧。供气用过滤器部80利用止回阀(未图示)使气体仅能够通过过滤器(未图示)从容器主体2外部的空间向基板收纳空间27通过。此时，过滤器(未图示)阻止来自容器主体2外部空间的气体所包含的颗粒等通过。

此外，排气用过滤器部81具有与供气用过滤器部80同样的结构。即，排气用过滤器部81具有与供气用过滤器部80的过滤器(未图示)和止回阀(未图示)同样的过滤器(未图示)和止回阀(未图示)。但是，排气用过滤器部81的止回阀的功能与供气用的止回阀(未图示)的功能不同，排气用过滤器部81使气体仅能够从基板收纳空间27向容器主体2外部的空间通过。

在下壁24的外表面上固定有与下壁24一起构成底部的底板6。底板6与下壁24相对，并以与下壁24之间形成有空间的方式配置，并且通过螺丝243固定在下壁24上。在与前后方向d1上的下壁24的大体中央位置相对的底板6部分上形成有一对侧方贯通孔601，此外，在一对侧方贯通孔601的中央位置形成有中央贯通孔621。此外，在底板6上形成有：贯通孔612，用于使后述的槽构件7向底板6的下方露出；以及信息衬垫安装部613，用于安装信息衬垫，该信息衬垫用于表示基板收纳容器1内容物的状态等。

更详细地说，如图2b所示，底板6的后端部具有大体半圆形状的弯曲部610。此外，如图2b所示，左右方向d3上的底板6的端部具有容器主体脚部611，该容器主体脚部611为带状的板形，沿前后方向d1以直线状延伸。容器主体脚部611沿底板6的左右两端缘存在。

在构成底部的下壁24上设置有构成底部的作为抵接部的槽构件7。槽构件7分别与多个定位销抵接，所述多个定位销是设置在用于将收纳在基板收纳空间27内的基板w向处理装置搬运的装入口(未图示)的多个定位部，并且用于相对于装入口对容器主体2进行定位。通过与所述定位销抵接，在前后方向d1、左右方向d3、上下方向d2上对基板收纳容器1进行定位。

具体地说，槽构件7具有人字形部701和下壁固定部702。人字形部701具有人字形屋顶形状。人字形部701的长边方向的两端部与板状的下壁固定部702一体成形并与下壁固定部702连接。通过将下壁固定部702用螺丝243固定在下壁24的一部分上，槽构件7被固定在下壁24上。设置有三个槽构件7，以中央贯通孔621的前部为中心并沿着下壁24的外表面，以当仰视观察时形成120°中心角的间隔固定在下壁24的三个部位上。以全部的人字形部701的长边方向都指向中央贯通孔621的方式，相对于下壁24固定槽构件7。在本实施方式中，槽构件7固定在下壁24上，但是也可以固定在底板6上。

底板6的一对侧方贯通孔601沿左右方向d3成对且具有左右对称形状，分别沿上下方向d2贯通底板6。如图2b所示，当仰视观察时，侧方贯通孔601的后部具有后边602。后边602具有：靠近中央的直线部603，与左右方向d3平行且从下壁24的中央分别向第一侧壁、第二侧壁延伸；以及靠近侧壁的直线部604，在比靠近中央的直线部603更向后侧退后一段距离的位置，从靠近中央的直线部603分别向第一侧壁25、第二侧壁26延伸。

如图2b中的双点划线所示，形成后边602的靠近侧壁的直线部604的底板6的部分构成后侧底部被卡止部615，该后侧底部被卡止部615被卡止并固定在构成装入口(未图示)的容器卡止部的后部容器卡止部911。后侧底部被卡止部615构成底部，如图8、图9所示，具有斜面部616和平坦面部617。斜面部616沿靠近侧壁的直线部604(参照图2b)延伸，伴随从靠近侧壁的直线部604向朝后方向d12前进，以上下方向d2的厚度变厚的方式倾斜。平坦面部617由从斜面部616的后端向朝后方向d12延伸的平坦面构成。

中央贯通孔621形成在与下壁24的中央相对的底板6的部分上。中央贯通孔621具有沿前后方向d1长边方向一致的大体长方形的形状，沿上下方向d2贯通底板6。如图2b所示，形成有中央贯通孔621的底板6的中央部分具有前端缘直线部622，该前端缘直线部622比该中央部分左右两侧的底板6部分的前端缘更向朝后方向d12退后一段距离。作为比前端缘直线部622更靠后侧的底板6的部分的、比中央贯通孔621更靠前侧的部分构成中央被卡止部623，该中央被卡止部623被卡止并固定在构成装入口的容器卡止部的中央容器卡止部901。此外，中央贯通孔621的左右两侧的底板6的部分构成中央被卡止部623，该中央被卡止部623被卡止并固定在具有大体t形形状的中央容器卡止部(未图示)。如图4等所示，与中央容器卡止部901卡止的中央被卡止部623的部分具有中央斜面部624和中央平坦面部625。中央斜面部624沿前端缘直线部622(参照图2b)在左右方向d3上延伸，伴随从前端缘直线部622向朝后方向d12前进，以朝向朝上方向d21的方式倾斜。中央平坦面部625由从中央斜面部624的后端向后方延伸的平坦面构成。

如图10所示，在作为连接容器主体开口部21和后壁22的方向的前后方向d1上，构成后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617位于比位于最靠近容器主体开口部21位置的作为抵接部的槽构件7和位于最靠近后壁22位置的作为抵接部的槽构件7的中央位置cp更靠后壁22的(朝后方向d12)位置。具体地说，具有斜面部616和平坦面部617的中央被卡止部623的位置如下：在前后方向d1上，位于最靠朝前方向d11位置的槽构件7与中央被卡止部623之间的距离l1成为中央被卡止部623与位于最靠朝后方向d12位置的槽构件7之间的距离l2的大体1/3倍程度。

如图1等所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大体一致的大体长方形的形状。盖体3相对于容器主体2的开口周缘部28可装拆，通过将盖体3安装在开口周缘部28，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在作为盖体3的内表面(图1所示的盖体3里侧的面)的、与台阶部分的面(密封面281)相对的面上安装有环状的密封构件4，所述台阶部分形成在盖体3封闭容器主体开口部21时在朝后方向d12上最接近开口周缘部28的位置上。密封构件4由能够弹性变形的聚酯类、聚烯烃类等各种热塑性弹性体、氟橡胶制和硅橡胶制的构件等构成。密封构件4以环绕盖体3的外周边缘部一周的方式配置。

盖体3安装在开口周缘部28上时，密封构件4被密封面281和盖体3的内表面夹持而弹性变形，盖体3以密封的状态封闭容器主体开口部21。通过将盖体3从开口周缘部28取下，能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板w。

在盖体3上设置有插销机构。插销机构设置在盖体3的左右两端部附近，如图1所示，其包括：两个上侧插销部32a、32b，能够从盖体3的上边向朝上方向d21突出；以及两个下侧插销部(未图示)，能够从盖体3的下边向朝下方向d22突出。两个上侧插销部32a、32b配置在盖体3的上边的左右两端附近，两个下侧插销部配置在盖体3的下边的左右两端附近。

在盖体3的外表面上设置有操作部33。通过从盖体3的前侧对操作部33进行操作，可以使上侧插销部32a、32b、下侧插销部(未图示)分别从盖体3的上边、下边突出，此外，也可以使上侧插销部32a、32b、下侧插销部成为不分别从上边、下边突出的状态。通过使上侧插销部32a、32b从盖体3的上边向朝上方向d21突出，与容器主体2的插销卡合凹部40a、40b卡合，并且使下侧插销部(未图示)从盖体3的下边向朝下方向d22突出，与容器主体2的插销卡合凹部41a、41b卡合，由此将盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。

在盖体3的内侧(与图1所示的盖体3的外表面相反的一侧)形成有向基板收纳空间27的外侧凹陷的凹部(未图示)。在凹部(未图示)和凹部的外侧的盖体3的部分上固定设置有前部保持构件(未图示)。

前部保持构件(未图示)具有前部保持构件基板承接部(未图示)。前部保持构件基板承接部(未图示)在左右方向d3上以规定的间隔分离且以成对的方式配置有两个。这样，以成对的方式配置有两个的前部保持构件基板承接部沿上下方向d2以25对并列的状态设置。通过在基板收纳空间27内收纳基板w并关闭盖体3，前部保持构件基板承接部夹持并支承基板w边缘部的端缘。

接着，说明基板收纳容器1向装入口(未图示)的固定。装入口具有定位部。具体地说，定位部由向朝上方向d21突出的定位用的定位销构成。当俯视观察时，以与中央贯通孔621相对的位置为中心形成120°中心角的间隔配置有三个定位销。定位销的前端部分别一个一个地与构成抵接部的三个槽构件7的人字形部701抵接，由此，三个定位销支承基板收纳容器1。

此外，装入口(未图示)具有中央容器卡止部901和后部容器卡止部911(容器卡止部)。中央容器卡止部901、后部容器卡止部911通过设置在装入口的缸等驱动装置(未图示)能够沿前后方向d1、上下方向d2等移动。如图3～图7所示，中央容器卡止部901具有l形状的构件，该l形状的构件具有基部侧延伸部903和前端部垂直部902。此外，如图8、图9所示，后部容器卡止部911在左右方向d3上以对称的位置关系具有一对l形状的构件，该一对l形状的构件具有前端部垂直部912和基部侧延伸部913。中央容器卡止部901、后部容器卡止部911存在如下类型：在前端部垂直部902、912具有水平的位置关系的状态下，前端部垂直部902、912分别与中央平坦面部625、平坦面部617抵接；以及在前端部垂直部902、912具有与水平交叉的倾斜的位置关系的状态下，前端部垂直部902、912分别与中央斜面部624、斜面部616抵接。

以下，首先，说明在前端部垂直部902、912具有水平的位置关系的状态下前端部垂直部902、912分别与平坦面部617、中央平坦面部625抵接类型的中央容器卡止部901、后部容器卡止部911对基板收纳容器1的固定。

当将基板收纳容器1向装入口(未图示)固定时，首先，将三个定位销(未图示)以分别一个一个相对的方式配置在三个槽构件7的人字形部701(参照图2b)，使三个定位销相对地接近三个槽构件7的人字形部701。此外，使三个定位销的前端部分别一个一个地与三个槽构件7的人字形部701抵接。由此，三个定位销成为支承基板收纳容器1的状态，基板收纳容器1成为承载在三个定位销上的状态。

接着，使中央容器卡止部901向朝上方向d21移动，在比中央被卡止部623更靠朝前方向d11的位置，使前端部垂直部902位于比底板6更靠上侧。接着，使中央容器卡止部901向朝后方向d12移动而成为图4所示的状态，此后，使中央容器卡止部901向朝下方向d22移动，如图5所示，使前端部垂直部902与中央平坦面部625抵接。由此，中央被卡止部623与中央容器卡止部901卡止。其结果，将基板收纳容器1固定在装入口(未图示)。

同样地，使一对后部容器卡止部911向朝上方向d21移动，并分别一个一个地插入侧方贯通孔601(参照图2b)。接着，使一对后部容器卡止部911分别向朝后方向d12移动，此后，使一对后部容器卡止部911分别向朝下方向d22移动，如图8所示，使前端部垂直部912一个一个地与平坦面部617抵接。由此，形成有侧方贯通孔601的底板6的部分与后部容器卡止部911卡止。其结果，基板收纳容器1的后部被可靠地固定在装入口(未图示)。此时的后部容器卡止部911对作为形成有侧方贯通孔601的底板6部分的后侧底部被卡止部615卡止的强度没有强到将后侧底部被卡止部615向朝下方向d22牵拉并压下的程度，是对抗供气用过滤器部80的吹扫气体流通时将容器主体2向朝上方向d21抬起的力，阻止后侧底部被卡止部615与容器主体2的后部一起被抬起程度的强度。

接着，说明在前端部垂直部902、912具有与水平交叉的倾斜的位置关系的状态下，前端部垂直部902、912分别与中央斜面部624、斜面部616抵接类型的中央容器卡止部901、后部容器卡止部911对基板收纳容器1的固定。由于到由三个定位销支承基板收纳容器1并使基板收纳容器1成为承载在三个定位销(未图示)上的状态的工序为止，与所述的相同，所以省略了说明。

在使基板收纳容器1成为承载在三个定位销(未图示)上的状态之后，如图6所示，使前端部垂直部902成为相对于水平倾斜大体30°程度的状态，并使中央容器卡止部901向朝上方向d21移动，如图6所示，在比中央被卡止部623更靠朝前方向d11的位置，使前端部垂直部902位于比底板6更靠上侧。接着，使中央容器卡止部901向朝后方向d12移动，此后，使中央容器卡止部901向朝下方向d22移动，如图7所示，使前端部垂直部902与中央斜面部624抵接。由此，中央被卡止部623与中央容器卡止部901卡止。其结果，将基板收纳容器1固定在装入口。

同样地，使一对后部容器卡止部911向朝上方向d21移动，分别一个一个地插入侧方贯通孔601。接着，使一对后部容器卡止部911分别向朝后方向d12移动，此后，使一对后部容器卡止部911分别向朝下方向d22移动，如图9所示，使前端部垂直部912一个一个地与斜面部616抵接。由此，形成有侧方贯通孔601的底板6的部分与后部容器卡止部911卡止。其结果，基板收纳容器1的后部被可靠地固定在装入口(未图示)。此时的后部容器卡止部911对作为形成有侧方贯通孔601的底板6的部分的后侧底部被卡止部615卡止的强度与，所述前端部垂直部912、902与平坦面部617、中央平坦面部625抵接的类型的中央容器卡止部901、后部容器卡止部911的情况相同。即，没有强到将后侧底部被卡止部615向朝下方向d22牵拉压下的程度，是对抗供气用过滤器部80的吹扫气体流通时将容器主体2向朝上方向d21抬起的力从而阻止后侧底部被卡止部615与容器主体2的后部一起被抬起程度的强度。

通过以所述方式进行固定，供气用过滤器部80的下端部与气体供给装置(未图示)的供气喷嘴的气体供给口开口部以紧密接触的状态连接。此后，从气体供给装置(未图示)的供气喷嘴的气体供给口开口部通过供气用过滤器部80，从容器主体2的外部的空间向基板收纳空间27供给吹扫气体。吹扫气体的供给量是每个供气用过滤器部80每分钟20l(升)以上。

此时，由于在供气用过滤器部80中在吹扫气体流通的气道内存在过滤器(未图示)等，所以吹扫气体流通时，将容器主体2向朝上方向d21抬起的力作用于容器主体2。具体地说，如图10所示，在作为连接容器主体开口部21和后壁22的方向的前后方向d1上，由位于最靠近容器主体开口部21的定位销921(参照图10)和位于最靠近后壁22的定位销922(参照图10)支承容器主体2。此外，不在所述定位销921、922的中央位置cp，而在比中央位置cp更靠朝前方向d11的位置，中央被卡止部623与中央容器卡止部901卡止。此外，在比所述的定位销921、922的中央位置cp更靠朝后方向d12的位置，构成后侧底部被卡止部615的底板6的部分与后部容器卡止部911卡止。因此，即使吹扫气体的供给量为每个供气用过滤器部80每分钟20l(升)以上这样的较多的量，也能够对抗作为作用于容器主体2的力的、吹扫气体流通时将容器主体2向朝上方向d21抬起的力，稳定地维持槽构件7与装入口等的定位销922抵接的状态。

按照所述结构的实施方式的基板收纳容器1，能够得到以下的效果。

如上所述，基板收纳容器1包括：容器主体2，所述容器主体2具有壁部20，该壁部20是在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部封闭的筒状的壁部，所述壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24和一对侧壁25、26，由上壁23的一端部、下壁24的一端部和侧壁25、26的一端部形成容器主体开口部21，由上壁23的内表面、下壁24的内表面、侧壁25、26的内表面和后壁22的内表面形成基板收纳空间27，所述基板收纳空间27能够收纳多个基板w，并且与容器主体开口部21连通；以及盖体3，相对于容器主体开口部21可装拆，并且能够封闭容器主体开口部21。下壁24构成容器主体2的底部。下壁24的靠近后壁22的部分具有供气用过滤器部80。下壁24的靠近容器主体开口部21的部分具有排气用过滤器部81。

供气用过滤器部80具有：气道，能够连通基板收纳空间27和容器主体2外部的空间；以及过滤器，配置在气道内，气体能够通过过滤器从容器主体2的外部的空间向基板收纳空间27通过。排气用过滤器部81具有：气道，能够连通基板收纳空间27和容器主体2外部的空间；以及过滤器，配置在气道内，气体能够通过过滤器从基板收纳空间27向容器主体2外部的空间通过。底部具有作为抵接部的槽构件7和后侧底部被卡止部615。槽构件7分别与多个定位销抵接，所述多个定位销作为设置在用于将收纳在基板收纳空间27内的基板w向处理装置搬运的装入口的多个定位部，用于相对于装入口对容器主体2进行定位。后侧底部被卡止部615在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上，位于比位于最靠近容器主体开口部21的槽构件7和位于最靠近后壁22的槽构件7的中央位置cp更靠后壁22的位置，卡止并固定在装入口的后部容器卡止部911。

按照这种结构，通过后部容器卡止部911能够使容器主体2的后部与装入口卡止，从而能够将容器主体2的后部稳定地固定在装入口。即，能够与中央容器卡止部901对容器主体2的前部的固定相互配合，更可靠地将容器主体2稳定地固定在装入口。因此，能够对抗在各供气用过滤器部80中从容器主体2外部的空间向基板收纳空间27流通每分钟20l(升)以上的大量的吹扫气体的情况下所产生的将所述容器主体2向朝上方向d21抬起的力，从而能够稳定地维持槽构件7与装入口等的定位销抵接的状态，能够抑制容器主体2被向朝上方向d21抬起。

其结果，能够抑制因容器主体2的后部被抬起而使收纳在基板收纳空间27内的基板w的位置发生变化。此外，能够以紧密接触的状态将供气用过滤器部80的下端部与气体供给装置(未图示)的供气喷嘴的气体供给口开口部稳定地连接，从而能够尽可能地抑制吹扫气体从该连接部分泄漏。

此外，供气用过滤器部80能够使每分钟20l(升)以上的氮气从容器主体2外部的空间向基板收纳空间27通过。按照这种结构，能够用更短的时间将基板收纳空间27内的气体置换为吹扫气体。

接着，参照图11a～图11c，对本发明第二实施方式的基板收纳容器进行说明。图11a是表示本发明第二实施方式的基板收纳容器1a的仰视图。图11b是沿图11a的c-c线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911a与本发明第二实施方式的基板收纳容器1a的容器主体2a的后侧底部被卡止部615a卡止的状态的放大剖视图。图11c是表示本发明第二实施方式的基板收纳容器1a的后方立体图。

在第二实施方式的基板收纳容器1a中，在底板6a中，构成后侧底部被卡止部615a的斜面部616a和平坦面部617a的位置与第一实施方式的基板收纳容器1的构成后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617的位置不同。此外，伴随于此，底板6a的形状与第一实施方式的基板收纳容器1的底板6的形状不同。由于除此以外的结构与第一实施方式的基板收纳容器1的结构相同，所以对于与第一实施方式的各结构相同的结构采用相同的附图标记，并且省略了说明。

如图11a所示，底板6a的后部具有连接后端缘部631a，所述连接后端缘部631a连接具有大体半圆形状的弯曲部610a的前端和容器主体脚部611a的后端，并且沿左右方向d3延伸。如双点划线所示的形成连接后端缘部631a的底板6a的部分，其具有斜面部616a和平坦面部617a，构成后侧底部被卡止部615a。

如图11a所示，斜面部616a沿连接后端缘部631a延伸，如图11b所示，伴随从连接后端缘部631a的端缘向朝前方向d11前进，以上下方向d2的厚度变厚的方式倾斜。平坦面部617a由从斜面部616a的前端向朝前方向d11延伸的平坦面构成。如图11b所示，通过使与图8所示的类型同样类型的后部容器卡止部911a的前端部垂直部912a与平坦面部617a抵接，构成后侧底部被卡止部615a的底板6a的部分与后部容器卡止部911a卡止。此外，通过使与图9所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部与斜面部616a抵接，构成后侧底部被卡止部615a的底板6a的部分与后部容器卡止部卡止。

按照该结构的实施方式的基板收纳容器1a，能够得到以下的效果。

作为后侧底部被卡止部615a的斜面部616a和平坦面部617a，在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上，位于比第一实施方式的作为后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617更靠后壁22的位置。按照这种结构，能够在更靠朝后方向d12的位置通过后部容器卡止部911a将容器主体2卡止，从而能够对抗将容器主体2的后部向朝上方向d21抬起的力，能够更稳定地维持槽构件7与装入口等的定位销抵接的状态。

此外，通过使后部容器卡止部911a的基部侧延伸部913a与作为后侧底部被卡止部615a的后端缘部的连接后端缘部631a抵接，能够抑制基板收纳容器1的位置在前后方向d1上偏移。

接着，参照图12a～图12c，对本发明第三实施方式的基板收纳容器1b进行说明。图12a是表示本发明第三实施方式的基板收纳容器1b的仰视图。图12b是沿图12a的d-d线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911b与本发明第三实施方式的基板收纳容器1b的容器主体2b的后侧底部被卡止部615b卡止的状态的放大剖视图。图12c是表示本发明第三实施方式的基板收纳容器1b的后方立体图。

在第三实施方式的基板收纳容器1b中，在底板6b中，构成后侧底部被卡止部615b的斜面部616b和平坦面部617b的位置与第一实施方式的基板收纳容器1的构成后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617的位置不同。此外，伴随于此，底板6b的形状与第一实施方式的基板收纳容器1的底板6的形状不同。由于除此以外的结构与第一实施方式的基板收纳容器1的结构相同，所以对于与第一实施方式的各结构相同的结构采用相同的附图标记，并且省略了说明。

如图12a所示，在底板6b的后部，在前后方向d1上的具有大体半圆形状的弯曲部610b的前端和后端的中间部分，形成有合计两个角部，所述角部由沿前后方向d1延伸的边缘部和沿左右方向d3延伸的边缘部构成。如图12b等所示，形成角部的底板6b的部分具有斜面部616b和平坦面部617b，构成由双点划线所示的后侧底部被卡止部615b。具有斜面部616b和平坦面部617b的后侧底部被卡止部615b位于连接多个供气用过滤器部80的直线上。

如图12b所示，斜面部616b沿后侧底部被卡止部615b的边缘部631b延伸，伴随从该边缘部631b向左右方向d3上的底板6b的中央前进，以上下方向d2的厚度变厚的方式倾斜。平坦面部617b由从斜面部616b的后端向左右方向d3上的底板6b的中央延伸的平坦面构成。如图12b所示，通过使与图8所示的类型同样类型的后部容器卡止部911b的前端部垂直部912b与平坦面部617b抵接，构成后侧底部被卡止部615b的底板6b的部分与后部容器卡止部911b卡止。此外，通过使与图9所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部912b与斜面部616b抵接，构成后侧底部被卡止部615b的底板6b的部分与后部容器卡止部卡止。

按照该结构的实施方式的基板收纳容器1b，能够得到以下的效果。

在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上的比位于最靠近后壁22位置的抵接部更靠后壁22的位置，沿与连接容器主体开口部21和后壁22的方向垂直的方向(左右方向d3)，存在有两个供气用过滤器部80。后侧底部被卡止部615b位于连接多个供气用过滤器部80的直线上。

按照这种结构，能够通过后部容器卡止部911b将作用有将容器主体2向朝上方向d21抬起的力的多个供气用过滤器部80附近的底板6b的部分卡止，从而能够对抗将容器主体2向朝上方向d21抬起的力，能够更稳定地维持槽构件7与装入口等的定位销抵接的状态。

接着，参照图13a～图13c，对本发明第四实施方式的基板收纳容器1c进行说明。图13a是表示本发明第四实施方式的基板收纳容器1c的仰视图。图13b是沿图13a的e-e线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911c与本发明第四实施方式的基板收纳容器1c的容器主体2c的后侧底部被卡止部615c卡止的状态的放大剖视图。图13c是表示本发明第四实施方式的基板收纳容器1c的后方立体图。

在第四实施方式的基板收纳容器1c中，在底板6c中，构成后侧底部被卡止部615c的斜面部616c和平坦面部617c的位置与第一实施方式的基板收纳容器1的构成后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617的位置不同。此外，伴随于此，底板6c的形状与第一实施方式的基板收纳容器1的底板6的形状不同。由于除此以外的结构与第一实施方式的基板收纳容器1的结构相同，所以对于与第一实施方式的各结构相同的结构采用相同的附图标记，并且省略了说明。

在底板6c的后部，如图13a所示，在弯曲部610c的后端部分形成有合计两个角部，所述角部由沿前后方向d1延伸的边缘部和沿左右方向d3延伸的边缘部构成。形成角部的底板6c的部分具有斜面部616c和平坦面部617c，构成用双点划线表示的后侧底部被卡止部615c。即，后侧底部被卡止部615c在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上，位于比位于最靠近后壁22的作为抵接部的槽构件7更靠后壁22的位置。

斜面部616c沿边缘部631c延伸，该边缘部631c沿左右方向d3延伸，如图13b所示，斜面部616c伴随从该边缘部631c向朝前方向d11前进，以上下方向d2的厚度变厚的方式倾斜。平坦面部617c由从斜面部616c的前端向朝前方向d11延伸的平坦面构成。如图13b所示，通过使与图8所示的类型同样类型的后部容器卡止部911c的前端部垂直部912c与平坦面部617c抵接，构成后侧底部被卡止部615c的底板6c的部分与后部容器卡止部911c卡止。此外，通过使与图9所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部与斜面部616c抵接，构成后侧底部被卡止部615c的底板6c的部分与后部容器卡止部卡止。

按照该结构的实施方式的基板收纳容器1c，能够得到以下的效果。

作为后侧底部被卡止部615c的斜面部616c和平坦面部617c在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上，位于比位于最靠近后壁22位置的作为抵接部的槽构件7更靠后壁22的位置。按照这种结构，能够通过后部容器卡止部911c在更靠朝后方向d12的位置将容器主体2卡止，从而能够对抗将容器主体2向朝上方向d21抬起的力，能够更稳定地维持槽构件7与装入口(未图示)等的定位销抵接的状态。

此外，通过使后部容器卡止部911c的基部侧延伸部913c与后侧底部被卡止部615c的作为后端缘部的边缘部631c抵接，能够抑制基板收纳容器1c的位置在前后方向d1上偏移。

接着，参照图14a～图14c，对本发明的第五实施方式的基板收纳容器1d进行说明。

图14a是表示本发明第五实施方式的基板收纳容器1d的仰视图。图14b是沿图14a的f-f线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911d与本发明第五实施方式的基板收纳容器1d的容器主体2d的后侧底部被卡止部615d卡止的状态的放大剖视图。图14c是表示本发明第五实施方式的基板收纳容器1d的后方立体图。

在第五实施方式的基板收纳容器1d中，在底板6d中，构成后侧底部被卡止部615d的斜面部616d和平坦面部617d的位置与第一实施方式的基板收纳容器1的构成后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617的位置不同。此外，仅存在一个由斜面部616d和平坦面部617d构成的后侧底部被卡止部615d。此外，伴随于此，底板6d的形状与第一实施方式的基板收纳容器1的底板6的形状不同。由于除此以外的结构与第一实施方式的基板收纳容器1的结构相同，所以对于与第一实施方式的各结构相同的结构采用相同的附图标记，并且省略了说明。

在底板6d的后部，如图14a所示，在作为弯曲部610d的最后端部分的左右方向d3的中央部分存在由斜面部616d和平坦面部617d构成的后侧底部被卡止部615d。即，后侧底部被卡止部615d在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上位于比位于最靠近后壁22位置的作为抵接部的槽构件7更靠后壁22的位置。

斜面部616d沿底板6d的后端缘631d在大体左右方向d3上延伸，伴随从底板6d的后端缘631d向朝前方向d11前进，如图14b所示，以上下方向d2的厚度变厚的方式倾斜。平坦面部617d由从斜面部616d的前端向朝前方向d11延伸的平坦面构成。如图14b所示，通过使与图8所示的类型同样类型的后部容器卡止部911d的前端部垂直部912d与平坦面部617d抵接，构成后侧底部被卡止部615d的底板6d的部分与后部容器卡止部911d卡止。此外，通过使与图9所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部与斜面部616d抵接，构成后侧底部被卡止部615d的底板6d的部分与后部容器卡止部卡止。

按照该结构的实施方式的基板收纳容器1d，能够得到以下的效果。

作为后侧底部被卡止部615d的斜面部616d和平坦面部617d在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上比位于最靠近后壁22位置的作为抵接部的槽构件7更靠后壁22且位于底板6d的最后端部分上。按照这种结构，能够在最靠朝后方向d12的位置通过后部容器卡止部911d将容器主体2卡止，从而能够对抗将容器主体2向朝上方向d21抬起的力，能够非常稳定地维持槽构件7与装入口等的定位销抵接的状态。

此外，通过使后部容器卡止部911d的基部侧延伸部913d与后侧底部被卡止部615d的作为后端缘部的后端缘631d抵接，能够抑制基板收纳容器1d的位置在前后方向d1上偏移。

接着，参照图15a～图15c，对本发明第六实施方式的基板收纳容器1e进行说明。

图15a是表示本发明第六实施方式的基板收纳容器1e的仰视图。图15b是沿图15a的g-g线的放大剖视图，是表示使后部容器卡止部911e与本发明第六实施方式的基板收纳容器1e的容器主体2e的后侧底部被卡止部615e卡止的状态的放大剖视图。图15c是表示本发明第六实施方式的基板收纳容器1e的后方立体图。

在第六实施方式的基板收纳容器1e中，构成后侧底部被卡止部615e的斜面部616e和平坦面部617e的位置与第一实施方式的基板收纳容器1的构成后侧底部被卡止部615的斜面部616和平坦面部617的位置不同。此外，仅存在一个由斜面部616e和平坦面部617e构成的后侧底部被卡止部615e。此外，伴随于此，底板6e的形状与第一实施方式的基板收纳容器1的底板6的形状不同。由于除此以外的结构与第一实施方式的基板收纳容器1的结构相同，所以对于与第一实施方式的各结构相同的结构采用相同的附图标记，并且省略了说明。

在作为下壁24的后端部的左右方向d3的中央部分，存在由斜面部616e和平坦面部617e构成的后侧底部被卡止部615e。即，后侧底部被卡止部615e在作为连接容器主体开口部21和后壁22的方向的前后方向d1上，位于比位于最靠近后壁22位置的作为抵接部的槽构件7更靠后壁22的位置。

如图15b所示，斜面部616e和平坦面部617e存在于与下壁24一体成形并连接的后侧底部被卡止部615e。当从侧方观察时，后侧底部被卡止部615e具有l形的形状，由直角弯曲的板状的构件构成。后侧底部被卡止部615e从下壁24下表面的后端部向朝下方向d22延伸，在中途弯曲成直角并向朝后方向d12延伸。此外，在所述最后端部存在斜面部616e。

斜面部616e沿后侧底部被卡止部615e的后端缘631e在左右方向d3上延伸，伴随从底板6e的后端缘631e向朝前方向d11前进，以上下方向d2的厚度变厚的方式倾斜。平坦面部617e由从斜面部616e的前端向朝前方向d11延伸的平坦面构成。如图15b所示，通过使与图8所示的类型同样类型的后部容器卡止部911e的前端部垂直部912e与平坦面部617e抵接，与下壁24一体成形的后侧底部被卡止部615e与后部容器卡止部911e卡止。此外，通过使与图9所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部与斜面部616e抵接，与下壁24一体成形的后侧底部被卡止部615e与后部容器卡止部卡止。

按照该结构的实施方式的基板收纳容器1e，能够得到以下的效果。

作为后侧底部被卡止部615e的斜面部616e和平坦面部617e在作为连接容器主体开口部21和后壁22的方向的前后方向d1上比位于最靠近后壁22的作为抵接部的槽构件7更靠后壁22且位于下壁24的最后端部分。按照这种结构，能够通过后侧底部被卡止部615e在最靠朝后方向d12的位置利用后部容器卡止部911e将容器主体2的下壁24直接卡止。其结果，能够对抗将容器主体2向朝上方向d21抬起的力，能够非常稳定地维持槽构件7与装入口等的定位销抵接的状态。

此外，通过使后部容器卡止部911e的基部侧延伸部913e与后侧底部被卡止部615e的作为后端缘部的后端缘631e抵接，能够抑制基板收纳容器1e的位置在前后方向d1上偏移。

接着，参照图16，对本发明第七实施方式的基板收纳容器1f进行说明。图16是表示本发明第七实施方式的基板收纳容器1f中收纳有基板w的状态的分解立体图。

在第七实施方式的基板收纳容器1f中，在作为基板w能够将直径450mm的硅晶片收纳在基板收纳空间27f内的方面与第一实施方式的基板收纳容器1不同。由于除此以外的结构与第一实施方式的基板收纳容器1的结构相同，所以对于与第一实施方式的各结构相同的结构采用相同的附图标记，并且省略了说明。此外，与第一实施方式的各结构相当的结构而形状不同的结构，在同样的附图标记上附加上“f”，并且省略了说明。

固定于基板收纳容器1f的容器主体2f的底板6f具有后侧底部被卡止部(未图示)，该后侧底部被卡止部具有与第一实施方式的斜面部616和平坦面部617同样的斜面部(未图示)和平坦面部(未图示)。通过使与图8所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部与平坦面部(未图示)抵接，构成后侧底部被卡止部的底板6f的部分与后部容器卡止部卡止。此外，通过使与图9所示的类型同样类型的后部容器卡止部(未图示)的前端部垂直部与斜面部(未图示)抵接，构成后侧底部被卡止部的底板6f的部分与后部容器卡止部卡止。

本发明并不限定于所述实施方式，能够在本发明的权利要求范围所记载的技术范围内进行变形。

例如，底部的结构并不限定于由本实施方式的下壁24等构成的底部的结构。因此，抵接部和后侧底部被卡止部的结构并不限定于本实施方式的槽构件7和后侧底部被卡止部615等的结构。

例如，在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上的比位于最靠近后壁22位置的抵接部(槽构件7)更靠后壁22的位置，沿与连接容器主体开口部21和后壁22的方向垂直的方向，存在有两个供气用过滤器部80，但是并不限定于此。只要在比连接容器主体开口部21和后壁22的方向上的位于最靠近后壁22位置的抵接部(槽构件7)更靠后壁22的位置，沿与连接容器主体开口部21和后壁22的方向交叉的方向，存在有多个供气用过滤器部80即可。

此外，例如，也可以采用下述的方式：后侧底部被卡止部在连接容器主体开口部21和后壁22的方向上位于比位于最靠近后壁22位置的抵接部(槽构件7)更靠后壁22的位置且位于连接多个供气用过滤器部80的直线上，所述多个供气用过滤器部80沿与连接容器主体开口部21和后壁22的方向交叉的方向存在。

此外，容器主体和盖体的形状、能够收纳在容器主体内的基板w的个数和尺寸并不限定于本实施方式的容器主体2和盖体3的形状、能够收纳在容器主体2内的基板w的个数和尺寸。

此外，中央容器卡止部、后部容器卡止部的形状也并不限定于l形的形状，可以适当地进行设计变更。此外，中央被卡止部与中央容器卡止部的卡止也可以是如下的方式：将中央容器卡止部插入中央贯通孔621，将中央部容器卡止部卡止并固定在形成于中央贯通孔621周围的中央被卡止部。例如，中央容器卡止部可以为t形，该t形具有水平状部分和与水平状部分垂直的垂直状部分。在这种情况下，作为使水平状部分的长边方向与中央贯通孔621的长边方向一致的位置关系，将水平状部分插入中央贯通孔621，此后，使垂直状的部分转动，使水平状部分的长边方向成为与中央贯通孔621的长边方向垂直的位置关系，并且使中央容器卡止部向朝下方向d22下降，可以使水平状部分与由中央贯通孔621左右两侧的底板6的部分构成的中央被卡止部623的部分卡止。