具有压电增强效应的基于BZT-BCT的双层铁电薄膜的制作方法

文档序号:13673878阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种具有压电增强效应的基于BZT-BCT的双层铁电薄膜,其特征在于:附着于Pt/Ti/SiO2/Si复合衬底的表面,复合衬底是由在单晶Si衬底上生长SiO2,在SiO2表面溅射一层金属Ti作为电极的粘附层,再溅射一层金属Pt层作底层电极得到,双层铁电薄膜沉积在Pt底电极上,自下而上分别为0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3和0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3,每层厚度均为70-200nm,用具有相近晶格常数的R相0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3作为T相0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3的过渡层,保证铁电畴的自由移动且保持极化状态。2.一种如权利要求1所述具有压电增强效应的基于BZT-BCT的双层铁电薄膜的制备方法,其特征在于:以0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3和0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3陶瓷靶材为原料,采用射频磁控溅射的方法制备双层铁电薄膜,步骤如下:1)将Pt/Ti/SiO2/Si复合衬底和0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3陶瓷靶材置入溅射室,抽真空至(1-2)×10-4,然后通入压强为2-2.5Pa、氩气与氧气的体积比为12:8-9的混合气,衬底温度为500-700℃、射频功率为50-60w、溅射时间为1.5-3h,从溅射室取出后在700-800℃和空气气氛下热处理30分钟,制得铁电陶瓷薄膜;2)将上述0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3铁电薄膜和0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3靶材置入溅射室,抽真空至(1-2)×10-4,然后通入压强为2-2.5Pa、氩气与氧气的体积比为12:8-9的混合气,衬底温度为500-700℃、射频功率为50-60w、溅射时间为1.5-4h,从溅射室取出后在700-800℃和空气气氛下热处理30分钟,制得双层铁电陶瓷薄膜。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1