固态成像装置的制作方法

文档序号:19042735发布日期:2019-11-05 23:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种固态成像装置,包括:

一基底,含有多个光电转换元件排列成一像素阵列;

一彩色滤光层,包含多个彩色滤光部件,设置于该多个光电转换元件之上;以及

一分隔网格,包含多个分隔物,每个该分隔物设置于两个相邻的所述彩色滤光部件之间,且该彩色滤光层和该分隔网格设置于同一层中,

其中该多个分隔物包含一第一分隔物设置在该像素阵列的一中心线,以及一第二分隔物设置在该像素阵列的一边缘,且该第二分隔物的一顶部宽度大于该第一分隔物的一顶部宽度,其中该多个分隔物从该像素阵列的该中心线到该边缘具有不同的顶部宽度,且该多个分隔物的该多个顶部宽度从该像素阵列的该中心线到该边缘逐渐增加。

2.如权利要求1所述的固态成像装置,其中该分隔网格的折射率低于该彩色滤光层的折射率,且该分隔网格的材料包括氧化硅或有机光致抗蚀剂材料。

3.如权利要求1所述的固态成像装置,其中该多个分隔物从该像素阵列的该中心线到该边缘具有不同的高度,且该多个分隔物的该多个高度从该像素阵列的该中心线到该边缘逐渐增加。

4.如权利要求1所述的固态成像装置,其中设置在该像素阵列的一第一区的该多个分隔物具有一第一顶部宽度和一第一底部宽度,设置在该像素阵列的一第二区的该多个分隔物具有一第二顶部宽度和一第二底部宽度,入射光线以0至±20度的角度照射该第一区,并且入射光线以大于±20度的角度照射该第二区,在该第一区内该第一顶部宽度小于该第一底部宽度,在该第二区内该第二顶部宽度等于该第二底部宽度,且该第二顶部宽度大于该第一顶部宽度。

5.如权利要求1所述的固态成像装置,其中设置在该像素阵列的一第一区的该多个分隔物具有不同的顶部宽度,设置在该像素阵列的一第二区的该多个分隔物具有不同的顶部宽度,入射光线以0至±20度的角度照射该第一区,并且入射光线以大于±20度的角度照射该第二区,在该第二区的该多个分隔物的该多个顶部宽度大于在该第一区的该多个分隔物的该多个顶部宽度,且在该第一区和该第二区的该多个分隔物的该多个顶部宽度沿着一从该像素阵列的该中心线到该边缘的方向逐渐增加。

6.如权利要求5所述的固态成像装置,其中在该像素阵列的该第一区的每个该分隔物的底部宽度大于该分隔物的顶部宽度,且在该像素阵列的该第二区的每个该分隔物的底部宽度等于该分隔物的顶部宽度。

7.如权利要求1所述的固态成像装置,其中该多个分隔物从该像素阵列的该中心线到该边缘具有不同的顶部宽度和不同的底部宽度,该多个分隔物的该多个顶部宽度从该像素阵列的该中心线到该边缘逐渐增加,且该多个分隔物的该多个底部宽度从该像素阵列的该中心线到该边缘逐渐减少。

8.如权利要求1所述的固态成像装置,其中每个该分隔物具有顶部宽度对底部宽度的一比值,该多个分隔物的该多个比值从该像素阵列的该中心线到该边缘逐渐增加,且在该像素阵列的该边缘的该分隔物的该比值等于1。

9.一种固态成像装置,包括:

一基底,含有多个光电转换元件排列成一像素阵列;

一彩色滤光层,包含多个彩色滤光部件,设置于该多个光电转换元件之上;以及

一分隔网格,包含多个分隔物,每个该分隔物围绕一个该彩色滤光部件,且该彩色滤光层和该分隔网格设置于同一层中,

其中该彩色滤光层具有一单元由多种彩色滤光部件构成,在该单元中的一个彩色滤光部件的所有侧面被一第一分隔物围绕,在该单元中的其他彩色滤光部件的所有侧面被一第二分隔物围绕,且该第一分隔物的顶部宽度大于该第二分隔物的顶部宽度。

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