试样观察装置、盖组件及试样观察方法与流程

文档序号:11835921阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种试样观察装置,用于观察大气中的试样,

所述试样观察装置包括:

柱体部,柱体部内部形成真空空间,柱体部一侧形成有开放口,并具有能产生电子束的电子束发生装置;

支撑部,与所述柱体部的开放口面对面设置,在大气压下支撑所述试样;

盖部,与所述柱体部的开放口相结合,具有电子束能通过的透过窗及用于收集从所述试样产生之电子的收集本体;以及

检测部,与所述盖部相连,用于检测基于收集的电子所产生的电流。

2.如权利要求1所述的试样观察装置,其特征在于,

还包括:信号处理部,与所述检测部相连,用于处理所检测的电流。

3.如权利要求1或2所述的试样观察装置,其特征在于,

所述盖部包括:

主体,在中央领域形成有贯通口,具有多个层;

收集本体,结合在所述贯通口;以及

透过窗,形成在所述收集本体的中央领域。

4.如权利要求3所述的试样观察装置,其特征在于,

所述主体的多个层中,至少一层包含绝缘体层。

5.如权利要求3所述的试样观察装置,其特征在于,

所述主体包含沿上下方向层叠结合的下部层、中间层及上部层,

其中,所述中间层包含绝缘体。

6.如权利要求3所述的试样观察装置,其特征在于,

所述主体经由绝缘性密封环,与所述柱体部相结合。

7.如权利要求3所述的试样观察装置,其特征在于,

所述检测部包括:

接触针,与所述主体及所述收集本体的至少一部分领域相接触;以及

传输线,与所述接触针相连而传输电流。

8.如权利要求7所述的试样观察装置,其特征在于,

所述接触针位于所述柱体部的内部,

所述传输线贯通所述柱体部而设置。

9.如权利要求3所述的试样观察装置,其特征在于,

所述收集本体具有导电性,并与所述主体直接接合。

10.如权利要求9所述的试样观察装置,其特征在于,

所述收集本体包含硅单晶材质,并用于收集在大气压下电子束入射到试样之后,从试样所放射的二次电子。

11.如权利要求1或2所述的试样观察装置,其特征在于,

所述盖部包含用于喷射气体的气体喷射口。

12.如权利要求1或2所述的试样观察装置,其特征在于,

还包括:偏差电源供给器,与所述支撑部相连,以用于向所述试样施加偏差电源。

13.一种盖组件,结合在利用电子束来观察试样的装置,

所述盖组件包括:

主体,在中央领域形成有贯通口,并具有绝缘体;

收集本体,结合在所述贯通口,用于收集从所述试样所放射的电子;以及

透过窗,形成在所述收集本体的中央领域,以使电子束通过。

14.如权利要求13所述的盖组件,其特征在于,

所述主体包含沿上下方向层叠结合的下部层、中间层及上部层,

其中,所述中间层包含绝缘体,

所述下部层及上部层包含导电体。

15.如权利要求14所述的盖组件,其特征在于,

所述下部层及上部层包含不锈钢材质,

所述中间层包含橡胶及塑料中的至少一个。

16.如权利要求13所述的盖组件,其特征在于,

在所述主体的多个层之间形成有气体流路,于朝向所述收集本体的所述主体之端部设有与所述气体流路相连的气体喷射口。

17.一种试样观察方法,用于观察位于大气中的试样,所述方法包括如下步骤:

与内部形成了真空的柱体部相隔,在大气中准备试样;

向所述试样放射电子束;

在大气压气氛下,收集向所述试样入射的电子束与所述试样发生冲突后从试样放射的电子;

检测基于获取的电子所生成的电流;以及

处理所检测的电流,从而形成图像。

18.如权利要求17所述的试样观察方法,其特征在于,

在大气压气氛下收集电子的步骤包括:通过所述柱体部露于大气中的部位,获取从所述试样产生的二次电子。

19.如权利要求17或18所述的试样观察方法,其特征在于,

在大气压气氛下收集电子的步骤还包括:在所述柱体部的内部,收集入射到所述试样的电子束与所述试样冲突后从试样放射的背散射电子。

20.如权利要求19所述的试样观察方法,其特征在于,

所述形成图像的步骤包括:将来自所收集的二次电子的信号和来自所收集的所述背散射电子的信号相加,进而转换为图像。

21.如权利要求17或18所述的试样观察方法,其特征在于,

在所述大气压气氛下收集电子的步骤之前,包括如下步骤:在所述柱体部与所述试样之间的空间,形成惰性气体气氛。

22.如权利要求17或18所述的试样观察方法,其特征在于,

在所述大气压气氛下收集电子的步骤之前,包括如下步骤:向置于大气中的所述试样,施加偏差电源。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1