1. 一种粒子束设备，具有：
柱（10；110），所述柱具有用于产生粒子束的粒子束光学器件，以便通过所述粒子束光学器件在真空样品室（20；120）中在曝光运行中曝光所期望的图案，
气体供给系统，以便通过所述气体供给系统在清洁运行中给所述柱（10；110）和/或所述真空样品室（20；120）供给具有可光解的气体（O3）的可调节气流，和
多个光源（15.1-15.5；115.1-115.5），所述多个光源在空间上分布地布置在所述柱（10；110）中和/或所述真空样品室（20；120）中并且在所述清洁运行中引起所供给的气体（O3）的光解，和
与所述光源（15.1-15.5；115.1-115.5）连接的控制单元（30；130），所述控制单元被构造成，使得通过所述控制单元能够在所述清洁运行中在时间上选择性地接通和关断各个光源（15.1-15.5；115.1-115.5）。
2. 根据权利要求1所述的粒子束设备，其中，所述控制单元（30；130）此外与所述气体供给系统的进入阀（3；103）有效连接并且被构造成，使得通过对所述进入阀（3；103）的作用能够在所述清洁运行中有针对性地调节所述柱（10；110）中和/或所述真空样品室（20；120）中的气体压力。
3. 根据权利要求2所述的粒子束设备，其中，对于所述柱（10；110）的和/或所述真空样品室（20；120）的所定义的空间区域，在所述控制单元（30；130）中分别存储参数组，所述参数组包含用于相应区域的最佳清洁所需的参数，并且其中，所述参数组至少包括一个或者多个确定光源（15.1-15.5；115.1-115.5）的选择、所述光源的接通时间和在所述柱（10；110）中和/或所述真空样品室（20；120）中的确定的气体压力。
4. 根据权利要求1所述的粒子束设备，其中，所述真空样品室（20；120）与真空泵（5；105）有效连接，以便泵出由所述光解产物（O-）与污物的反应产生的分解产物（CO2，H2O）并且在所述真空样品室（20；120）和所述真空泵（5；105）之间布置有转化单元（4；104），所述转化单元分解所述可光解的气体（O3）的还位于所述泵出气流中的残余物。
5. 根据权利要求1所述的粒子束设备，其中，所述粒子束设备具有布置在所述柱（10；110）中的粒子束源（11；111），在所述粒子束源前布置有保护光圈（12；112），以便保护所述粒子束源（11；111）免于光解产物（O-）的反向扩散。
6. 根据以上权利要求中任一项所述的粒子束设备，其中，所述光源（15.1-15.5；115.1-115.5）在所述柱（10；110）中和/或在所述真空样品室（20；120）中分别与易于有机污染的元件相邻地布置。
7. 根据以上权利要求中任一项所述的粒子束设备，其中，所述光源（15.1-15.5）分别被构造为LED，所述LED在200nm和300nm之间的紫外光谱范围中进行发射。
8. 根据权利要求1-6中至少一项所述的粒子束设备，其中，所述多个光源（115.1-115.5）被构造为具有多个光导纤维的纤维束的出射面并且在空间上分布地放置在所述柱（110）中和/或所述真空样品室（120）中，并且在所述纤维束的另一端部处布置有光源（150），通过所述光源（150）实现光耦合输入到所述纤维束的各个光导纤维中，并且其中，在所述光源（150）和所述光导纤维之间布置有至少一个纤维光学的开关单元（140），所述开关单元可通过所述控制单元（130）来操纵以便在时间上选择性地接通和关断各个光导纤维。
9. 根据上述权利要求中至少一项所述的粒子束设备，其中，在所述柱（10；110）之外布置有氧储存装置（1；101）以及臭氧发生器（2；102），通过所述臭氧发生器可由所述氧储存装置（1；101）产生臭氧作为可光解的气体（O3）并且可通过所述气体供给系统供给给所述柱（10；110），并且其中，通过由所述光源（15.1-15.5；115.1-115.5）发射的辐射与所述臭氧（O3）之间的相互作用产生氧自由基作为光解产物（O-），所述氧自由基与污物反应生成可泵出的分解产物（CO2，H2O）。
10. 用于运行粒子束设备的方法，所述粒子束设备具有柱（10；110），所述柱包括粒子束光学器件，以便通过所述粒子束光学器件在真空样品室（20；120）中在曝光运行中曝光所期望的图案，
其中为了清洁所述柱（10；110）和/或所述真空样品室（20；120），在清洁运行中通过气体供给系统给所述柱（10；110）和/或所述真空样品室（20；120）供给具有可光解的气体（O3）的可调节气流，并且
在所述清洁运行中，借助在空间上分布地布置在所述柱（10；110）中和/或所述真空样品室（20；120）中的多个光源（15.1-15.5；115.1-115.5）光解所供给的气体（O3），其方式是，各个光源（15.1-15.5；115.1-115.5）通过与其连接的控制单元（30；130）在时间上选择性地接通和关断。
11. 根据权利要求10所述的方法，其中，所述控制单元（30；130）此外与所述气体供给系统的进入阀（3；103）有效连接并且在所述清洁运行中作用于所述进入阀（3；103），使得定义地调节所述柱（10；110）中和/或所述真空样品室（20；120）中的气体压力。
12. 根据权利要求10所述的方法，其中，通过所述控制单元（30；130），在所述清洁运行中根据在相应的光源（15.1-15.5；115.1-115.5）的环境中的污物进行各个光源（15.1-15.5；115.1-115.5）在时间上的激活。
13. 根据权利要求10所述的方法，其中，在所述清洁运行中关断所述粒子束。
14. 根据权利要求10所述的方法，其中，通过真空泵（5；105）抽吸由所述光解产物（O-）与污物的反应产生的分解产物（CO2，H2O）。
15. 根据权利要求14所述的方法，其中，分解所述可光解的气体（O3）的还位于所述泵出气流中的残余物。