一种用于金刚线多晶硅片的自动喷砂装置的制造方法

文档序号:11411349阅读:来源:国知局
技术总结
公开了一种用于金刚线多晶硅片的自动喷砂装置,包括:启动系统、磨液系统、喷枪系统、上料系统、工艺仓和控制器。当外界输入的操作指令为喷砂指令时,控制器自动控制启动系统、磨液系统、喷枪系统、上料系统对金刚线多晶硅片表面进行喷砂处理,操作简单,加工精度和加工稳定性高,碎片率低,产能高;通过对金刚线多晶硅片表面进行喷砂处理,能够改变金刚线多晶硅片的表面微观形貌,经过表面处理后的金刚线多晶硅片能够直接进行电池片的制作。

技术研发人员:李名扬;雷深皓;王猛;华永云;韩震峰;张凯;张金光;陈永胜
受保护的技术使用者:北京创世捷能机器人有限公司
文档号码:201610540037
技术研发日:2016.07.11
技术公布日:2017.09.26

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