一种螺旋线行波管用一体化高频结构及该高频结构的制备方法与流程

文档序号:11869295阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种螺旋线行波管用一体化高频结构,其特征在于,所述高频结构包括螺旋线、夹持杆和管壳;

在与所述螺旋线相对应的所述夹持杆的内侧壁上设有通过曝光光刻并金属化的第一金属化镀层,所述螺旋线的外侧壁与所述夹持杆的内侧壁上的第一金属化镀层通过压力扩散焊连接;所述夹持杆的外侧壁与所述管壳的内侧壁连接固定。

2.根据权利要求1所述的一种螺旋线行波管用一体化高频结构,其特征在于,所述夹持杆的外侧壁上设有第二金属化镀层,所述夹持杆的外侧壁上的第二金属化镀层与所述管壳的内侧壁通过压力扩散焊连接。

3.根据权利要求1所述的一种螺旋线行波管用一体化高频结构,其特征在于,在与所述夹持杆相对应的所述螺旋线的外侧壁上设有第三金属化镀层;该第三金属化镀层与所述夹持杆的内侧壁上的第一金属化镀层通过压力扩散焊连接。

4.根据权利要求3所述的一种螺旋线行波管用一体化高频结构,其特征在于,所述第一金属化镀层的厚度为0.5-10μm;所述第二金属化镀层的厚度为0.5-10μm;所述第三金属化镀层的厚度为1-10μm。

5.根据权利要求1所述的一种螺旋线行波管用一体化高频结构,其特征在于,所述管壳为金属材质的管壳。

6.一种螺旋线行波管用一体化高频结构的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:

S1、与所述螺旋线相对应的夹持杆内侧壁曝光光刻,并得到焊点图形;

S2、图形化后的夹持杆内侧壁金属化,得到第一金属化镀层;

S3、夹持杆内侧壁去除剩余光刻胶;

S6、利用定位模具将螺旋线、夹持杆和管壳进行组装和定位;

S7、利用挤压法将螺旋线和夹持杆装配至管壳内;并通过压力扩散焊连接获得一体化高频结构。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,该方法进一步的包括如下步骤:

S4、夹持杆的外侧壁金属化,得到第二金属化镀层。

8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,该方法进一步的包括如下步骤:

S5、与所述夹持杆相对应的螺旋线外侧壁金属化,得到第三金属化镀层。

9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述夹持杆的外侧壁上的第二金属化镀层与所述管壳的内侧壁通过压力扩散焊连接。

10.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述第三金属化镀层与所述夹持杆的内侧壁上的第一金属化镀层通过压力扩散焊连接。

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