技术特征：
技术总结
本发明涉及用于与纳米反应器和电子显微镜协作的保持器组件，其有保持纳米反应器的远端部，电子显微镜用电子束照射有分别带第一和第二电子透明窗的第一和第二芯片的纳米反应器，芯片封闭封闭体积，电子透明窗对齐，第一芯片有流体入口流体出口，在工作中远端部在电子显微镜的抽空部分中，纳米反应器附接远端部，其有流体供应通道和流体出口管，流体供应密封元件和流体出口密封元件密封流体入口与流体供应通道间的连接，保持器组件包括凹部，其当纳米反应器附接到保持器组件时在远端部与第一平坦层之间形成由预真空通道抽空的密封预真空体积，上述密封元件暴露于空预真空体积使得经由该密封元件的流体的泄漏经由预真空通道被泵离而不进入抽空部分。
技术研发人员：P.多纳;L.梅勒
受保护的技术使用者：FEI公司
技术研发日：2016.08.23
技术公布日：2017.08.04