一种易失性与非易失性混合存储器及其制备方法与流程

文档序号:12614437阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种易失性与非易失性混合存储器及其制备方法,多功能存储器包括基底、底电极、存储活性层和顶电极;所述底电极位于基底表面,所述存储活性层位于交叉的底电极与顶电极之间;制备方法包括:(1)湿法制备底电极,(2)在底电极上湿法制备存储活性层,(3)在中间层上湿法制备顶电极。本发明的存储器件具有独特的易失性与非易失性混合存储性能、较高的透明度、优良的耐久性与可靠性以及可全湿法制备特性,为后摩尔时代半导体科学技术的发展开拓了新领域。

技术研发人员:刘举庆;时瑞;黄维;刘洋;王展;曹立君
受保护的技术使用者:南京工业大学
文档号码:201610862100
技术研发日:2016.09.28
技术公布日:2017.01.11

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