本发明的示例性实施例涉及一种有机发光显示装置以及制造该有机发光显示装置的方法。更具体地,示例性实施例涉及一种具有镜子功能和触摸功能的有机发光显示装置以及制造该有机发光显示装置的方法。
背景技术:
平板显示(“FPD”)装置由于其相比于阴极射线管(“CRT”)显示装置的重量轻并且薄,被广泛地用作电子设备的显示装置。平板显示装置的典型示例包括液晶显示(“LCD”)装置和有机发光二极管(“OLED”)显示装置。与LCD相比,OLED具有诸如更高亮度和更宽视角的许多优势。另外,因为OLED显示装置不需要背光,所以OLED显示装置可以制造得比LCD薄。在OLED显示装置中,电子和空穴通过阴极和阳极注入有机薄层中,然后在有机薄层中复合以产生激子,从而发射特定波长的光。
近来,已经研制出了镜面OLED装置,该OLED装置通过包括反射构件来反射位于该OLED装置前面的物体(或目标)的图像。另外,已经研制出了具有镜子功能和触摸功能的OLED。
技术实现要素:
为了制造具有镜子功能和触摸功能的有机发光二极管(“OLED”)装置,可能需要用于形成具有触摸功能的电极层的额外工艺,增加了制造成本。
本发明的示例性实施例提供了一种具有镜子功能和触摸功能的有机发光显示装置。
本发明的示例性实施例还提供了一种制造该有机发光显示装置的方法。
在根据本发明的有机发光显示装置的示例性实施例中,有机发光显示装置包括:基底,包括发光区域和反射区域;第一感测电极,感测触摸位置,设置在反射区域中,并包括具有第一反射率的材料;第二感测电极,感测触摸位置,设置在发光区域和反射区域中,包括具有第二反射率的材料,并与第一感测电极的一部分叠置。
在示例性实施例中,有机发光显示装置还可以包括面对基底的对向基底。第一感测电极可以设置在对向基底的第一表面上,第二感测电极可以设置在与对向基底的第一表面相对的第二表面上。第一感测电极可以设置在反射区域中且在发光区域的外面。
在示例性实施例中,有机发光显示装置还可以包括面对基底的对向基底。第一感测电极可以设置在基底上,第二感测电极可以设置在对向基底的第一表面上,第二感测电极可以设置在基底与对向基底之间。
在示例性实施例中,有机发光显示装置还可以包括面对基底的对向基底。第一感测电极可以设置在对向基底的第一表面上,第一感测电极可以设置在基底与对向基底之间,第二感测电极可以设置在第一感测电极上。有机发光显示装置还可以包括:绝缘层,设置在第一感测电极与第二感测电极之间,并包括粘合材料。
在示例性实施例中,有机发光显示装置还可以包括面对基底的对向基底。第二感测电极可以设置在对向基底的第一表面上,第二感测电极可以设置在基底与对向基底之间,第一感测电极可以设置在第二感测电极上。
在示例性实施例中,有机发光显示装置还可以包括设置在基底上的薄膜包封层。第二感测电极可以设置在所述薄膜包封层上,第一感测电极可以设置在第二感测电极上。有机发光显示装置还可以包括:绝缘层,设置在第一感测电极与第二感测电极之间,并包括粘合材料。
在示例性实施例中,有机发光显示装置还可以包括设置在基底上的第一薄膜包封层。第二感测电极可以设置在第一薄膜包封层上,第一感测电极可以设置在第二感测电极上。有机发光显示装置还可以包括设置在第一感测电极与第二感测电极之间的第二薄膜包封层。
在示例性实施例中,第一感测电极可以包括沿第一方向延伸的多个第一图案,第二感测电极可以包括沿与第一方向相交的第二方向延伸的多个第二图案。
在示例性实施例中,第一图案可以包括:多个第一感测图案,感测触摸位置;多个第一虚设图案,设置在多个第一感测图案之间。多个第二图案可以包括:多个第二感测图案,感测触摸位置;多个第二虚设图案,设置在多个第二感测图案之间。
在示例性实施例中,多个第一感测图案可以具有网格形状。多个第二图案在第二方向上的宽度可以与第一图案在第一方向上的宽度相同。
在示例性实施例中,第一感测电极可以包括:多个第一感测图案,具有菱形形状并在第一方向上顺序彼此连接;多个第一虚设图案,具有菱形形状,设置在多个第一感测图案之间并彼此间隔开。第二感测电极可以包括:多个第二感测图案,具有菱形形状并在与第一方向相交的第二方向上顺序彼此连接;多个第二虚设图案,具有菱形形状,设置在多个第二感测图案之间并彼此间隔开。
在制造有机发光显示装置的方法的示例性实施例中,其中,所述有机发光显示装置包括包含发光区域和反射区域的基底,所述方法包括:在反射区域上形成包括具有第一反射率的材料的第一感测电极;在发光区域和反射区域上形成第二感测电极,其中,第二感测电极包括具有第二反射率的材料并与第一感测电极的一部分叠置。
在示例性实施例中,形成第一感测电极和第二感测电极可以包括:在面对基底的对向基底的第一表面上形成第一感测电极;在对向基底的与第一表面相对的第二表面上形成第二感测电极。第一感测电极可以设置在反射区域中且在发光区域的外面。
在示例性实施例中,形成第一感测电极和第二感测电极可以包括:在基底上形成第一感测电极;在面对基底的对向基底的第一表面上形成第二感测电极。第二感测电极可以设置在基底与对向基底之间。
在示例性实施例中,形成第一感测电极和第二感测电极可以包括:在面对基底的对向基底的第一表面上形成第一感测电极,第一感测电极设置在基底与对向基底之间;在第一感测电极上形成包括粘合材料的绝缘层;在绝缘层上形成第二感测电极。
在示例性实施例中,形成第一感测电极和第二感测电极可以包括:在面对基底的对向基底的第一表面上形成第二感测电极,第二感测电极设置在基底与对向基底之间;在第二感测电极上形成包括粘合材料的绝缘层;在绝缘层上形成第一感测电极。
在示例性实施例中,形成第一感测电极和第二感测电极可以包括:在基底上形成薄膜包封层;在薄膜包封层上形成第二感测电极;在第二感测电极上形成绝缘层;在绝缘层上形成第一感测电极。
在示例性实施例中,形成第一感测电极和第二感测电极可以包括:在基底上形成第一薄膜包封层;在第一薄膜包封层上形成第二感测电极;在第二感测电极上形成包括与第一薄膜包封层的材料相同的材料的第二薄膜包封层;在第二薄膜包封层上形成第一感测电极。
在示例性实施例中,第一感测电极可以包括沿第一方向延伸的多个第一图案,第二感测电极可以包括沿与第一方向相交的第二方向延伸的多个第二图案。
在示例性实施例中,第一感测电极可以包括:多个第一感测图案,具有菱形形状并在第一方向上顺序彼此连接;多个第一虚设图案,具有菱形形状,设置在多个第一感测图案之间并彼此间隔开。第二感测电极可以包括:多个第二感测图案,具有菱形形状并在与第一方向相交的第二方向上顺序彼此连接;多个第二虚设图案,具有菱形形状,设置在多个第二感测图案之间并彼此间隔开。
根据示出的示例性实施例,有机发光显示装置包括具有镜子功能和触摸功能的反射构件。因此,可以省略用于形成具有触摸功能的电极层的额外工艺。这样,可以减少制造成本。
另外,有机发光显示装置包括设置在反射区域中的第一反射构件和设置在发光区域以及反射区域中的第二反射构件。因此,可以减少在第一反射构件的边缘处发生的散射反射。
另外,有机发光显示装置包括薄膜包封层。因此,可以制造具有镜子功能和触摸功能的柔性有机发光显示装置。
附图说明
通过参照附图详细地描述本发明的示例性实施例,本发明的以上和其他特征与优点将变得更清楚,在附图中:
图1是示出根据本发明的有机发光显示装置的示例性实施例的平面图;
图2是沿着图1的线I-I'截取的剖视图;
图3至图9是示出制造图2的有机发光显示装置的方法的剖视图;
图10是示出图2的第一感测电极的平面图;
图11是示出图2的第二感测电极的平面图;
图12是示出图10的第一感测电极与图11的第二感测电极的平面图;
图13是示出图2的第一感测电极的平面图;
图14是示出图2的第二感测电极的平面图;
图15是示出图13的第一感测电极与图14的第二感测电极的平面图;
图16是示出图2的第一感测电极的平面图;
图17是示出图2的第二感测电极的平面图;
图18是示出图16的第一感测电极与图17的第二感测电极的平面图;
图19是示出图2的第一感测电极的平面图;
图20是放大图19的'A'部分的平面图;
图21是示出图2的第二感测电极的平面图;
图22是放大图21的'B'部分的平面图;
图23是示出图19的第一感测电极与图21的第二感测电极的平面图;
图24是放大图23的'C'部分的平面图;
图25是示出根据本发明的有机发光显示装置的示例性实施例的平面图;
图26是沿着图25的线IV-IV'截取的剖视图;
图27至图33是示出制造图26的有机发光显示装置的方法的剖视图;
图34是示出图26的第一感测电极的平面图;
图35是示出图26的第二感测电极的平面图;
图36是示出图34的第一感测电极与图35的第二感测电极的平面图;
图37是示出图26的第一感测电极的平面图;
图38是示出图26的第二感测电极的平面图;
图39是示出图37的第一感测电极与图38的第二感测电极的平面图;
图40是示出图26的第一感测电极的平面图;
图41是示出图26的第二感测电极的平面图;
图42是示出图40的第一感测电极与图41的第二感测电极的平面图;
图43是示出图26的第一感测电极的平面图;
图44是放大图43的'D'部分的平面图;
图45是示出图26的第二感测电极的平面图;
图46是放大图45的'E'部分的平面图;
图47是示出图43的第一感测电极与图45的第二感测电极的平面图;
图48是放大图47的'F'部分的平面图;
图49是示出根据本发明的有机发光显示装置的示例性实施例的平面图;
图50是沿着图49的线V-V'截取的剖视图;
图51至图58是示出制造图50的有机发光显示装置的方法的剖视图;
图59是示出图50的第一感测电极的平面图;
图60是示出图50的第二感测电极的平面图;
图61是示出图59的第一感测电极与图60的第二感测电极的平面图;
图62是示出图50的第一感测电极的平面图;
图63是示出图50的第二感测电极的平面图;
图64是示出图62的第一感测电极与图63的第二感测电极的平面图;
图65是示出图50的第一感测电极的平面图;
图66是示出图50的第二感测电极的平面图;
图67是示出图65的第一感测电极与图66的第二感测电极的平面图;
图68是示出图50的第一感测电极的平面图;
图69是放大图68的'G'部分的平面图;
图70是示出图50的第二感测电极的平面图;
图71是放大图70的'H'部分的平面图;
图72是示出图68的第一感测电极与图70的第二感测电极的平面图;
图73是放大图72的'I'部分的平面图;
图74是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图;
图75是沿着图74的线VI-VI'截取的剖视图;
图76至图83是示出制造图75的有机发光显示装置的方法的剖视图;
图84是示出图75的第一感测电极的平面图;
图85是示出图75的第二感测电极的平面图;
图86是示出图84的第一感测电极与图85的第二感测电极的平面图;
图87是示出图75的第一感测电极的平面图;
图88是示出图75的第二感测电极的平面图;
图89是示出图87的第一感测电极与图88的第二感测电极的平面图;
图90是示出图75的第一感测电极的平面图;
图91是示出图75的第二感测电极的平面图;
图92是示出图90的第一感测电极与图91的第二感测电极的平面图;
图93是示出图75的第一感测电极的平面图;
图94是放大图93的'J'部分的平面图;
图95是示出图75的第二感测电极的平面图;
图96是放大图95的'K'部分的平面图;
图97是示出图93的第一感测电极与图95的第二感测电极的平面图;
图98是放大图97的'L'部分的平面图;
图99是示出根据本发明的有机发光显示装置的示例性实施例的平面图;
图100是沿着图99的线VII-VII'截取的剖视图;
图101至图108是示出制造图100的有机发光显示装置的方法的剖视图;
图109是示出图100的第一感测电极的平面图;
图110是示出图100的第二感测电极的平面图;
图111是示出图109的第一感测电极与图110的第二感测电极的平面图;
图112是示出图100的第一感测电极的平面图;
图113是示出图100的第二感测电极的平面图;
图114是示出图112的第一感测电极与图113的第二感测电极的平面图;
图115是示出图100的第一感测电极的平面图;
图116是示出图100的第二感测电极的平面图;
图117是示出图115的第一感测电极与图116的第二感测电极的平面图;
图118是示出图100的第一感测电极的平面图;
图119是放大图118的'M'部分的平面图;
图120是示出图100的第二感测电极的平面图;
图121是放大图120的'N'部分的平面图;
图122是示出图118的第一感测电极与图120的第二感测电极的平面图;
图123是放大图122的'O'部分的平面图;
图124是示出根据本发明的有机发光显示装置的示例性实施例的平面图;
图125是沿着图124的线VIII-VIII'截取的剖视图;
图126至图133是示出制造图125的有机发光显示装置的方法的剖视图;
图134是示出图125的第一感测电极的平面图;
图135是示出图125的第二感测电极的平面图;
图136是示出图134的第一感测电极与图135的第二感测电极的平面图;
图137是示出图125的第一感测电极的平面图;
图138是示出图125的第二感测电极的平面图;
图139是示出图137的第一感测电极与图138的第二感测电极的平面图;
图140是示出图125的第一感测电极的平面图;
图141是示出图125的第二感测电极的平面图;
图142是示出图140的第一感测电极与图141的第二感测电极的平面图;
图143是示出图125的第一感测电极的平面图;
图144是放大图143的'P'部分的平面图;
图145是示出图125的第二感测电极的平面图;
图146是放大图145的'Q'部分的平面图;
图147是示出图143的第一感测电极与图145的第二感测电极的平面图;以及
图148是放大图147的'R'部分的平面图。
具体实施方式
在下文中,将参照附图详细地解释本发明。然而,本发明可以以许多不同的形式实施,而不应被解释为限于在这里所阐述的实施例。相反,这些实施例被提供为使得本发明将是彻底的和完整的,并且将把本发明的范围充分地传达给本领域的技术人员。同样的附图标记始终表示同样的元件。
将理解的是,当元件被称为“在”另一元件“上”时,该元件可以直接在另一元件上,或者可以在其间有中间元件。相反,当元件被称为“直接在”另一元件“上”时,不存在中间元件。
将理解的是,虽然在这里可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分,但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应被这些术语所限制。这些术语仅用来将一个元件、组件、区域、层或部分与另一个元件、组件、区域、层或部分区分开来。因此,在不脱离在这里的教导的情况下,下面讨论的“第一元件”、“第一组件”、“第一区域”、“第一层”或“第一部分”可以命名为第二元件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。
在这里使用的术语仅是为了描述具体实施例的目的,而不意图限制。如在这里使用的,除非上下文另外明确地指出,否则单数形式“一个(种)”和“所述(该)”(包括“至少一个(种)”)意图包括复数形式。“或”意指“和/或”。如在这里使用的,术语“和/或”包括相关列出项中的一个或更多个的任意和全部组合。还将理解的是,术语“包括”、“包含”当用在本说明书中时,说明存在所述的特征、区域、整体、步骤、操作、元件和/或组件,但不排除存在或附加一个或更多个其他特征、区域、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
此外,可以在这里使用诸如“下”或“底”以及“上”或“顶”的相对术语,以描述如在图中所示出的一个元件与另一元件的关系。将理解的是,相对术语意图包括除了在图中描绘的方位之外的不同方位。在示例性实施例中,当翻转一幅图中的装置时,描述为“在”其他元件的“下”侧上的元件然后将被定位为“在”其他元件的“上”侧上。取决于图的具体方位,示例性术语“下”可以因此包括“下”和“上”两种方位。相似地,当翻转一幅图中的装置时,描述为“在”其他元件“下方”或“之下”的元件然后将被定位为“在”其他元件“上方”。示例性术语“在……下方”或“在……之下”可以因此包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。
在这里使用的“大约”或“近似”包括所陈述的值,并意味着:考虑到正在被谈及的测量以及与具体量的测量有关的误差(即,测量系统的局限性),在由本领域的普通技术人员确定的具体值的可接受的偏差范围之内。例如,“大约”可以意指在一个或更多个标准偏差内,或者在所陈述的值的±30%、±20%、±10%、±5%之内。
除非另外定义,否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常所理解的意思相同的意思。还将理解的是,除非在这里明确地定义,否则术语(诸如在通用的字典中定义的术语)应被解释为具有与相关领域的环境和本发明中的它们的意思一致的意思,而不将以理想的或过于形式化的意思来解释。
在这里参照作为理想化实施例的示意图的剖视图来描述示例性实施例。这样,将预计出现例如由制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化。因此,在这里描述的实施例不应被解释为限于此处所示出的区域的具体形状,而将包括例如由制造引起的形状的偏差。在示例性实施例中,示出或描述为平坦的区域通常具有粗糙的和/或非线性的特征。此外,示出的锐角可以被倒圆。因此,在图中示出的区域实际上是示意性的,其形状不意图示出区域的精准形状,并且不意图限制权利要求的范围。
图1是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图。图2是沿着图1的线I-I'截取的剖视图。
参照图1和图2,根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置可以包括发光区域II和反射区域III。像素60、70和80可以位于发光区域II中,透明窗口可以位于反射区域III中。在示例性实施例中,例如,像素60可以是发射红色的像素,像素70可以是发射绿色的像素,像素80可以是发射蓝色的像素。
反射构件可以设置在发光区域II和反射区域III中。反射构件可以包括设置在反射区域III中的第一反射构件和设置在发光区域II和反射区域III中的第二反射构件。第一反射构件可以具有与第二反射构件不同的反射率。当反射构件仅包括第一反射构件时,在第一反射构件的边缘处会发生散射反射。然而,根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置包括设置在发光区域II和反射区域III中的第二反射构件。因此,可以减少在第一反射构件的边缘处发生的散射反射。在其他示例性实施例中,第一反射构件可以与像素60、70和80的一部分叠置。第一反射构件设置在像素60、70和80的外部,使得第一反射构件可以与像素60、70和80的一部分叠置。
根据本发明的示例性实施例的第一反射构件可以是包括具有预定反射率的材料的第一感测电极370。另外,根据本发明的示例性实施例的第二反射构件可以是包括具有预定反射率的材料并感测触摸位置的第二感测电极390。第一感测电极370可以与第二感测电极390叠置。
第一感测电极370和第二感测电极390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极370和第二感测电极390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极370可以具有与第二感测电极390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极370的沿着截面方向测量的厚度可以是例如大约当第一感测电极370的厚度是大约时,第一感测电极370的透射率可以是大约百分之0(0%),第一感测电极370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极390的沿着截面方向测量的厚度可以是大约当第二感测电极390的厚度是大约时,第二感测电极390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极390可以执行镜子功能。
根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置包括第一基底110、缓冲层115、第一绝缘层150、第二绝缘层190、第三绝缘层270、发光结构、像素限定层310、第一感测电极370、第二感测电极390和第二基底350。这里,发光结构包括半导体元件250、第一电极290、发光层330和第二电极340。半导体元件250包括有源图案(有源层)130、栅电极170、源电极210和漏电极230。开口380限定在第一感测电极370中。
有机发光显示装置100可以包括多个像素区域Px(参照图12)。一个像素区域可以包括发光区域II和反射区域III。反射区域III可以基本上围绕发光区域II。半导体元件250、第一电极290、发光层330和第二电极340的一部分可以设置在发光区域II中。然而,本发明不限于此,并且半导体元件250可以设置在反射区域III中。另外,第一感测电极370可以设置在反射区域III中并且在发光区域II的外面,第二感测电极390可以设置在发光区域II和反射区域III中。
显示图像可以显示在发光区域II中。位于有机发光显示装置100前面的物体的图像可以在反射区域III中反射。
发光结构可以设置在第一基底110上。第一基底110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,聚酰亚胺基底可以设置在刚性玻璃基底上以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在绝缘层设置在第二聚酰亚胺层上之后,发光结构(例如,半导体元件250、电容器、第一电极290、发光层330、第二电极340等)可以设置在绝缘层上。
在发光结构设置在绝缘层上之后,玻璃基底可以被去除。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以发光结构直接设置在聚酰亚胺基底上可能是困难的。因此,发光结构设置在刚性玻璃基底上,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底110。因为有机发光显示装置100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底110也可以包括发光区域II和反射区域III。
缓冲层115可以设置在第一基底110上。缓冲层115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层115可以控制在用于形成有源图案130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案130。此外,在第一基底110的表面相对不规则时,缓冲层115可以改善第一基底110的表面平整度。根据第一基底110的类型,可以在第一基底110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
半导体元件250可以包括有源图案130、栅电极170、源电极210和漏电极230。在示例性实施例中,例如,有源图案130可以设置在第一基底110上。在示例性实施例中,有源图案130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
第一绝缘层150可以设置在有源图案130上。第一绝缘层150可以在发光区域II中覆盖有源图案130,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,第一绝缘层150可以设置在第一基底110的整个表面上。在示例性实施例中,第一绝缘层150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
栅电极170可以设置在第一绝缘层150的其下设置有有源图案130的部分上。在示例性实施例中,栅电极170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
第二绝缘层190可以设置在栅电极170上。第二绝缘层190可以在发光区域II中覆盖栅电极170,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,第二绝缘层190可以设置在第一基底110的整个表面上。在示例性实施例中,第二绝缘层190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
源电极210和漏电极230可以设置在第二绝缘层190上。通过去除第一绝缘层150和第二绝缘层190的一部分,源电极210可以与有源图案130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层150和第二绝缘层190的第二部分,漏电极230可以与有源图案130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极210和漏电极230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
第三绝缘层270可以设置在源电极210和漏电极230上。第三绝缘层270可以在子像素区域II中覆盖源电极210和漏电极230,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,第三绝缘层270可以设置在第一基底110的整个表面上。在示例性实施例中,第三绝缘层270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
第一电极290可以设置在第三绝缘层270上。通过去除第三绝缘层270的一部分,第一电极290可以与漏电极230接触。另外,第一电极290可以电连接到半导体元件250。在示例性实施例中,第一电极290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,栅电极170设置在有源图案130上。然而,本发明不限于此,栅电极170可以设置在有源图案130下面。
像素限定层310可以设置在第三绝缘层270上,以暴露第一电极290的一部分。像素限定层310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,发光层330可以设置在第一电极290的被像素限定层310暴露的部分上。
发光层330可以设置在暴露的第一电极290上。发光层330可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供。然而,本发明不限于此,发光层330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
第二电极340可以设置在像素限定层310和发光层330上。第二电极340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层310和发光层330,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,第二电极340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。这些材料可以单独使用或者以其结合来使用。第一基底110可以通过使用密封构件与第二基底350结合。另外,填充物可以设置在第一基底110与第二基底350之间。
第一感测电极370可以设置在第二基底350的第一表面上。第一感测电极370的第一表面可以面对第二电极340,第一感测电极370的与第一表面相对的第二表面可以与第二基底350接触。然而,本发明不限于此,绝缘层可以设置在第二基底350与第一感测电极370之间。
第一感测电极370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极370可以包括例如合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、氧化锶钌(SRO)、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底350和第一基底110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底350可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在示例性实施例中,第二基底350可以包括透明无机材料或柔性塑料。在示例性实施例中,第二基底350可以包括例如柔性透明树脂基底。在这种情况下,为了增大有机发光显示装置100的柔性,第二基底350可以包括至少一个有机层和至少一个无机层交替堆叠的堆叠结构。
第二感测电极390可以设置在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上。第二感测电极390可以设置在发光区域II和反射区域III中。然而,本发明不限于此,绝缘层可以设置在第二基底350与第二感测电极390之间。
第二感测电极390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第五绝缘层392可以设置在第二感测电极390上。在示例性实施例中,第五绝缘层392可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
在示出的示例性实施例中,第一感测电极370可以设置在第二基底350的第一表面上,第二感测电极390可以设置在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上。然而,本发明不限于此,第一感测电极370可以设置在第二基底350的第二表面上,第二感测电极390可以设置在第二基底350的第一表面上。
图3至图9是示出制造图2的有机发光显示装置的方法的剖视图。
参照图3,在第一基底110上设置缓冲层115。然后,在缓冲层115上设置有源图案130和第一绝缘层150。
在示例性实施例中,第一基底110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
可以在第一基底110上设置发光结构。第一基底110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,可以在刚性玻璃基底上设置聚酰亚胺基底以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在在第二聚酰亚胺层上设置绝缘层之后,可以在绝缘层上设置发光结构(例如,半导体元件250、电容器、第一电极290、发光层330、第二电极340等)。
在在绝缘层上设置发光结构之后,可以去除玻璃基底。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以直接在聚酰亚胺基底上设置发光结构可能是困难的。因此,在刚性玻璃基底上设置发光结构,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底110。因为有机发光显示装置100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底110也可以包括发光区域II和反射区域III。
可以在第一基底110上设置缓冲层115。缓冲层115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层115可以控制在用于形成有源图案130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案130。此外,在第一基底110的表面相对不规则时,缓冲层115可以改善第一基底110的表面平整度。根据第一基底110的类型,可以在第一基底110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
在示例性实施例中,有源图案130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
可以在有源图案130上设置第一绝缘层150。第一绝缘层150可以在发光区域II中覆盖有源图案130,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底110的整个表面上设置第一绝缘层150。在示例性实施例中,第一绝缘层150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图4,在其上设置有第一绝缘层150的第一基底110上设置栅电极170和第二绝缘层190。
可以在第一绝缘层150的其下设置有有源图案130的部分上设置栅电极170。在示例性实施例中,栅电极170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
可以在栅电极170上设置第二绝缘层190。第二绝缘层190可以在发光区域II中覆盖栅电极170,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底110的整个表面上设置第二绝缘层190。在示例性实施例中,第二绝缘层190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图5,在其上设置有第二绝缘层190的第一基底110上设置源电极210和漏电极230。
可以在第二绝缘层190上设置源电极210和漏电极230。通过去除第一绝缘层150和第二绝缘层190的一部分,源电极210可以与有源层130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层150和第二绝缘层190的第二部分,漏电极230可以与有源层130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极210和漏电极230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,在有源图案130上设置栅电极170。然而,本发明不限于此,可以在有源图案130下面设置栅电极170。
参照图6,在其上设置有源电极210和漏电极230的第一基底110上设置第三绝缘层270和第一电极290。
可以在源电极210和漏电极230上设置第三绝缘层270。第三绝缘层270可以在子像素区域II中覆盖源电极210和漏电极230,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底110的整个表面上设置第三绝缘层270。在示例性实施例中,第三绝缘层270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
可以在第三绝缘层270上设置第一电极290。通过去除第三绝缘层270的一部分,第一电极290可以与漏电极230接触。另外,第一电极290可以电连接到半导体元件250。在示例性实施例中,第一电极290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
参照图7,在其上设置有第一电极290的第一基底110上设置像素限定层310、发光层330和第二电极340。
可以在第三绝缘层270上设置像素限定层310,以暴露第一电极290的一部分。像素限定层310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,可以在第一电极290的被像素限定层310暴露的部分上设置发光层330。
可以在暴露的第一电极290上设置发光层330。可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供发光层330。然而,本发明不限于此,发光层330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
可以在像素限定层310和发光层330上设置第二电极340。第二电极340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层310和发光层330,并且可以在第一基底110上沿着第一方向延伸。即,第二电极340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。可以单独使用或者以其结合来使用这些材料。可以通过使用密封构件将第一基底110与第二基底350结合。另外,可以在第一基底110与第二基底350之间设置填充物。
参照图8,在第二基底350上设置第一感测电极370。
可以在第二基底350的第一表面上设置第一感测电极370。第一感测电极370的第一表面可以面对第二电极340,第一感测电极370的与第一表面相对的第二表面可以与第二基底350接触。
第一感测电极370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极370可以包括例如合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底350和第一基底110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底350可以包括石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在示例性实施例中,第二基底350可以包括透明无机材料或柔性塑料。在示例性实施例中,第二基底350可以包括柔性透明树脂基底。在这种情况下,为了增大有机发光显示装置100的柔性,第二基底350可以包括至少一个有机层和至少一个无机层交替堆叠的堆叠结构。
参照图9,在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上设置第二感测电极390。在第二感测电极390上设置第五绝缘层392。
可以在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上设置第二感测电极390。可以在发光区域II和反射区域III中设置第二感测电极390。然而,本发明不限于此,可以在第二基底350与第二感测电极390之间设置绝缘层。
第二感测电极390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
图10是示出图2的第一感测电极的平面图。图11是示出图2的第二感测电极的平面图。图12是示出图10的第一感测电极与图11的第二感测电极的平面图。
参照图2以及图10至图12,示出了第一感测电极370和第二感测电极390。
第一感测电极370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极370设置在反射区域III中。第一感测电极370可以通过第一连接线375连接到感测驱动部件。第一连接线375可以包括与第一感测电极370的材料相同的材料。第一连接线375可以设置在与第一感测电极370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极390可以通过第二连接线395连接到感测驱动部件。第二连接线395可以包括与第二感测电极390的材料相同的材料。第二连接线395可以设置在与第二感测电极390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极370可以与第二感测电极390部分叠置。
第一感测电极370可以设置在第二基底350的第一表面上。第二感测电极390可以设置在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上。
第一感测电极370和第二感测电极390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极370和第二感测电极390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极370可以具有与第二感测电极390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极370的厚度可以是例如大约当第一感测电极370的厚度是大约时,第一感测电极370的透射率可以是大约0%,第一感测电极370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极390的厚度可以是大约当第二感测电极390的厚度是大约时,第二感测电极390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极390可以执行镜子功能。
图13是示出图2的第一感测电极的平面图。图14是示出图2的第二感测电极的平面图。图15是示出图13的第一感测电极与图14的第二感测电极的平面图。
参照图2以及图13至图15,示出了第一感测电极370和第二感测电极390。
第一感测电极370可以包括沿第二方向D2延伸的多个第一感测图案371和设置在第一感测图案371之间的多个第一虚设图案373。第一感测电极370设置在反射区域III中。第一感测图案371的间隔可以根据第一虚设图案373的个数来调整。第一感测电极370可以通过第一连接线375连接到感测驱动部件。第一连接线375可以包括与第一感测电极370的材料相同的材料。第一连接线375可以设置在与第一感测电极370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个第二感测图案391和设置在第二感测图案391之间的多个第二虚设图案393。第二感测电极390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极390的间隔可以根据第二虚设图案393的个数来调整。第二感测电极390可以通过第二连接线395连接到感测驱动部件。第二连接线395可以包括与第二感测电极390的材料相同的材料。第二连接线395可以设置在与第二感测电极390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极370可以与第二感测电极390部分叠置。
第一感测电极370可以设置在第二基底350的第一表面上。第二感测电极390可以设置在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上。
第一感测电极370可以具有与第二感测电极390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极370的厚度可以是例如大约当第一感测电极370的厚度是大约时,第一感测电极370的透射率可以是大约0%,第一感测电极370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极390的厚度可以是大约当第二感测电极390的厚度是大约时,第二感测电极390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极390可以执行镜子功能。
第一感测电极370和第二感测电极390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极370和第二感测电极390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
图16是示出图2的第一感测电极的平面图。图17是示出图2的第二感测电极的平面图。图18是示出图16的第一感测电极和图17的第二感测电极的平面图。
参照图2以及图16至图18,示出了第一感测电极370和第二感测电极390。
第一感测电极370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极370可以设置为网格形状。第一感测电极370设置在反射区域III中。第一感测电极370可以通过第一连接线375连接到感测驱动部件。第一连接线375可以包括与第一感测电极370的材料相同的材料。第一连接线375可以设置在与第一感测电极370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极390在第二方向D2上的宽度与第一感测电极370在第一方向D1上的宽度相同。第二感测电极390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极390可以通过第二连接线395连接到感测驱动部件。第二连接线395可以包括与第二感测电极390的材料相同的材料。第二连接线395可以设置在与第二感测电极390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极370可以与第二感测电极390部分叠置。
第一感测电极370可以设置在第二基底350的第一表面上。第二感测电极390可以设置在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上。
第一感测电极370和第二感测电极390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极370和第二感测电极390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极370可以具有与第二感测电极390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极370的厚度可以是例如大约当第一感测电极370的厚度是大约时,第一感测电极370的透射率可以是大约0%,第一感测电极370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极390的厚度可以是大约当第二感测电极390的厚度是大约时,第二感测电极390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极390可以执行镜子功能。
图19是示出图2的第一感测电极的平面图。图20是放大图19的'A'部分的平面图。图21是示出图2的第二感测电极的平面图。图22是放大图21的'B'部分的平面图。图23是示出图19的第一感测电极与图21的第二感测电极的平面图。图24是放大图23的'C'部分的平面图。
参照图2以及图19至图24,示出了第一感测电极370和第二感测电极390。
第一感测电极370可以包括具有菱形形状并在第一方向D1上顺序地彼此相连的多个第一感测图案371以及具有菱形形状并设置在第一感测图案371之间的多个第一虚设图案373。第一虚设图案373彼此间隔开。第一感测电极370设置在反射区域III中。第一感测电极370可以通过第一连接线375连接到感测驱动部件。第一连接线375可以包括与第一感测电极370的材料相同的材料。第一连接线375可以设置在与第一感测电极370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极390可以包括具有菱形形状并在第二方向D2上顺序地彼此相连的多个第二感测图案391以及具有菱形形状并设置在第二感测图案391之间的多个第二虚设图案393。第二虚设图案393彼此间隔开。第二感测电极390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极390可以通过第二连接线395连接到感测驱动部件。第二连接线395可以包括与第二感测电极390的材料相同的材料。第二连接线395可以设置在与第二感测电极390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极370可以与第二感测电极390部分叠置。
第一感测电极370可以设置在第二基底350的第一表面上。第二感测电极390可以设置在第二基底350的与第一表面相对的第二表面上。
第一感测电极370和第二感测电极390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极370和第二感测电极390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极370可以具有与第二感测电极390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极370的厚度可以是例如大约当第一感测电极370的厚度是大约时,第一感测电极370的透射率可以是大约0%,第一感测电极370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极390的厚度可以是大约当第二感测电极390的厚度是大约时,第二感测电极390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极390可以执行镜子功能。
图25是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图。图26是沿着图25的线IV-IV'截取的剖视图。
除了第一感测电极1370和第二感测电极1390之外,根据示出的示例性实施例的有机发光显示装置与图1和图2的有机发光显示装置基本相同,因此相似的附图标记用于相同的元件并将省略重复的解释。
参照图25和图26,第一感测电极1370设置在第二电极1340上。第一感测电极1370设置在第一基底1110上。第一感测电极1370可以设置在反射区域III中并且在发光区域II的外面。
第一感测电极1370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极1370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极1370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极1370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底1350和第一基底1110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底1350可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在示例性实施例中,第二基底1350可以包括透明无机材料或柔性塑料。在示例性实施例中,第二基底1350可以包括例如柔性透明树脂基底。在这种情况下,为了增大有机发光显示装置1100的柔性,第二基底1350可以包括至少一个有机层和至少一个无机层交替堆叠的堆叠结构。
第二感测电极1390可以设置在第二基底1350上。第二感测电极1390可以设置在发光区域II和反射区域III中。然而,本发明不限于此,绝缘层可以设置在第二基底1350与第二感测电极1390之间。
第二感测电极1390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极1390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极1390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极1390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第一感测电极1370可以具有与第二感测电极1390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极1370的厚度可以是例如大约当第一感测电极1370的厚度是大约时,第一感测电极1370的透射率可以是大约0%,第一感测电极1370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极1390的厚度可以是大约当第二感测电极1390的厚度是大约时,第二感测电极1390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极1390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极1390可以执行镜子功能。
图27至图33是示出制造图26的有机发光显示装置的方法的剖视图。
参照图27,在第一基底1110上设置缓冲层1115。然后,在缓冲层1115上设置有源图案1130和第一绝缘层1150。
在示例性实施例中,第一基底1110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
可以在第一基底1110上设置发光结构。第一基底1110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底1110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底1110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底1110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,可以在刚性玻璃基底上设置聚酰亚胺基底以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底1110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在在第二聚酰亚胺层上设置绝缘层之后,可以在绝缘层上设置发光结构(例如,半导体元件1250、电容器、第一电极1290、发光层1330、第二电极1340等)。
在在绝缘层上设置发光结构之后,可以去除玻璃基底。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以直接在聚酰亚胺基底上设置发光结构可能是困难的。因此,在刚性玻璃基底上设置发光结构,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底1110。因为有机发光显示装置1100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底1110也可以包括发光区域II和反射区域III。
可以在第一基底1110上设置缓冲层1115。缓冲层1115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层1115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底1110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层1115可以控制在用于形成有源图案1130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案1130。此外,在第一基底1110的表面相对不规则时,缓冲层1115可以改善第一基底1110的表面平整度。根据第一基底1110的类型,可以在第一基底1110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
在示例性实施例中,有源图案1130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
可以在有源图案1130上设置第一绝缘层1150。第一绝缘层1150可以在发光区域II中覆盖有源图案1130,并且可以在第一基底1110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底1110的整个表面上设置第一绝缘层1150。在示例性实施例中,第一绝缘层1150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图28,在其上设置有第一绝缘层1150的第一基底1110上设置栅电极1170和第二绝缘层1190。
可以在第一绝缘层1150的其下设置有有源图案1130的部分上设置栅电极1170。在示例性实施例中,栅电极1170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
可以在栅电极1170上设置第二绝缘层1190。第二绝缘层1190可以在发光区域II中覆盖栅电极1170,并且可以在第一基底1110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底1110的整个表面上设置第二绝缘层1190。在示例性实施例中,第二绝缘层1190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图29,在其上设置有第二绝缘层1190的第一基底1110上设置源电极1210和漏电极1230。
可以在第二绝缘层1190上设置源电极1210和漏电极1230。通过去除第一绝缘层1150和第二绝缘层1190的一部分,源电极1210可以与有源层1130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层1150和第二绝缘层1190的第二部分,漏电极1230可以与有源层1130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极1210和漏电极1230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,在有源图案1130上设置栅电极1170。然而,本发明不限于此,可以在有源图案1130下面设置栅电极1170。
参照图30,在其上设置有源电极1210和漏电极1230的第一基底1110上设置第三绝缘层1270和第一电极1290。
可以在源电极1210和漏电极1230上设置第三绝缘层1270。第三绝缘层1270可以在子像素区域II中覆盖源电极1210和漏电极1230,并且可以在第一基底1110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底1110的整个表面上设置第三绝缘层1270。在示例性实施例中,第三绝缘层1270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
可以在第三绝缘层1270上设置第一电极1290。通过去除第三绝缘层1270的一部分,第一电极1290可以与漏电极1230接触。另外,第一电极1290可以电连接到半导体元件1250。在示例性实施例中,第一电极1290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
参照图31,在其上设置有第一电极1290的第一基底1110上设置像素限定层1310、发光层1330和第二电极1340。
可以在第三绝缘层1270上设置像素限定层1310,以暴露第一电极1290的一部分。像素限定层1310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,可以在第一电极1290的被像素限定层1310暴露的部分上设置发光层1330。
可以在暴露的第一电极1290上设置发光层1330。可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供发光层1330。然而,本发明不限于此,发光层1330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
可以在像素限定层1310和发光层1330上设置第二电极1340。第二电极1340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层1310和发光层1330,并且可以在第一基底1110上沿着第一方向延伸。即,第二电极1340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极1340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。可以单独使用或者以其结合来使用这些材料。可以通过使用密封构件将第一基底1110与第二基底1350结合。另外,可以在第一基底1110与第二基底1350之间设置填充物。
参照图32,在其上设置有第二电极1340的第一基底1110上设置第一感测电极1370。
在第一基底1110上设置第一感测电极1370。可以在反射区域III中且在发光区域II的外面设置第一感测电极1370。
第一感测电极1370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极1370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极1370可以包括例如合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极1370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
参照图33,在第二基底1350上设置第二感测电极1390。
可以在第二基底1350上设置第二感测电极1390。可以在发光区域II和反射区域III中设置第二感测电极1390。
第二感测电极1390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极1390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极1390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极1390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
然而,本发明不限于此,可以在第二基底1350与第二感测电极1390之间设置绝缘层。
图34是示出图26的第一感测电极的平面图。图35是示出图26的第二感测电极的平面图。图36是示出图34的第一感测电极与图35的第二感测电极的平面图。
参照图26以及图34至图36,示出了第一感测电极1370和第二感测电极1390。
第一感测电极1370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极1370设置在反射区域III中。第一感测电极1370可以通过第一连接线1375连接到感测驱动部件。第一连接线1375可以包括与第一感测电极1370的材料相同的材料。第一连接线1375可以设置在与第一感测电极1370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极1390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极1390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极1390可以通过第二连接线1395连接到感测驱动部件。第二连接线1395可以包括与第二感测电极1390的材料相同的材料。第二连接线1395可以设置在与第二感测电极1390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极1370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极1390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极1370可以与第二感测电极1390部分叠置。
第一感测电极1370可以设置在第一基底1110上。第二感测电极1390可以设置在第二基底1350上。
第一感测电极1370和第二感测电极1390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极1370和第二感测电极1390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极1370可以具有与第二感测电极1390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极1370的厚度可以是例如大约当第一感测电极1370的厚度是大约时,第一感测电极1370的透射率可以是大约0%,第一感测电极1370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极1390的厚度可以是大约当第二感测电极1390的厚度是大约时,第二感测电极1390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极1390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极1390可以执行镜子功能。
图37是示出图26的第一感测电极的平面图。图38是示出图26的第二感测电极的平面图。图39是示出图37的第一感测电极和图38的第二感测电极的平面图。
参照图26以及图37至图39,示出了第一感测电极1370和第二感测电极1390。
第一感测电极1370可以包括沿第二方向D2延伸的多个第一感测图案1371和设置在第一感测图案1371之间的多个第一虚设图案1373。第一感测电极1370设置在反射区域III中。第一感测图案1371的间隔可以根据第一虚设图案1373的个数来调整。第一感测电极1370可以通过第一连接线1375连接到感测驱动部件。第一连接线1375可以包括与第一感测电极1370的材料相同的材料。第一连接线1375可以设置在与第一感测电极1370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极1390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个第二感测图案1391和设置在第二感测图案1391之间的多个第二虚设图案1393。第二感测电极1390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极1390的间隔可以根据第二虚设图案1393的个数来调整。第二感测电极1390可以通过第二连接线1395连接到感测驱动部件。第二连接线1395可以包括与第二感测电极1390的材料相同的材料。第二连接线1395可以设置在与第二感测电极1390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极1370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极1390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极1370可以与第二感测电极1390部分叠置。
第一感测电极1370可以设置在第一基底1110上。第二感测电极1390可以设置在第二基底1350上。
第一感测电极1370和第二感测电极1390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极1370和第二感测电极1390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极1370可以具有与第二感测电极1390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极1370的厚度可以是例如大约当第一感测电极1370的厚度是大约时,第一感测电极1370的透射率可以是大约0%,第一感测电极1370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极1390的厚度可以是大约当第二感测电极1390的厚度是大约时,第二感测电极1390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极1390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极1390可以执行镜子功能。
图40是示出图26的第一感测电极的平面图。图41是示出图26的第二感测电极的平面图。图42是示出图40的第一感测电极和图41的第二感测电极的平面图。
参照图26和图40至图42,示出了第一感测电极1370和第二感测电极1390。
第一感测电极1370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极1370可以设置为网格形状。第一感测电极1370设置在反射区域III中。第一感测电极1370可以通过第一连接线1375连接到感测驱动部件。第一连接线1375可以包括与第一感测电极1370的材料相同的材料。第一连接线1375可以设置在与第一感测电极1370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极1390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极1390在第二方向D2上的宽度与第一感测电极1370在第一方向D1上的宽度相同。第二感测电极1390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极1390可以通过第二连接线1395连接到感测驱动部件。第二连接线1395可以包括与第二感测电极1390的材料相同的材料。第二连接线1395可以设置在与第二感测电极1390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极1370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极1390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极1370可以与第二感测电极1390部分叠置。
第一感测电极1370可以设置在第一基底1110上。第二感测电极1390可以设置在第二基底1350上。
第一感测电极1370和第二感测电极1390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极1370和第二感测电极1390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极1370可以具有与第二感测电极1390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极1370的厚度可以是例如大约当第一感测电极1370的厚度是大约时,第一感测电极1370的透射率可以是大约0%,第一感测电极1370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极1390的厚度可以是大约当第二感测电极1390的厚度是大约时,第二感测电极1390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极1390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极1390可以执行镜子功能。
图43是示出图26的第一感测电极的平面图。图44是放大图43的'D'部分的平面图。图45是示出图26的第二感测电极的平面图。图46是放大图45的'E'部分的平面图。图47是示出图43的第一感测电极与图45的第二感测电极的平面图。图48是放大图47的'F'部分的平面图。
参照图26以及图43至图48,示出了第一感测电极1370和第二感测电极1390。
第一感测电极1370可以包括具有菱形形状并在第一方向D1上顺序地彼此相连的多个第一感测图案1371以及具有菱形形状并设置在第一感测图案1371之间的多个第一虚设图案1373。第一虚设图案1373彼此间隔开。第一感测电极1370设置在反射区域III中。第一感测电极1370可以通过第一连接线1375连接到感测驱动部件。第一连接线1375可以包括与第一感测电极1370的材料相同的材料。第一连接线1375可以设置在与第一感测电极1370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极1390可以包括具有菱形形状并在第二方向D2上顺序地彼此相连的多个第二感测图案1391以及具有菱形形状并设置在第二感测图案1391之间的多个第二虚设图案1393。第二虚设图案1393彼此间隔开。第二感测电极1390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极1390可以通过第二连接线1395连接到感测驱动部件。第二连接线1395可以包括与第二感测电极1390的材料相同的材料。第二连接线1395可以设置在与第二感测电极1390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极1370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极1390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极1370可以与第二感测电极1390部分叠置。
第一感测电极1370可以设置在第一基底1110上。第二感测电极1390可以设置在第二基底1350上。
第一感测电极1370和第二感测电极1390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极1370和第二感测电极1390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极1370可以具有与第二感测电极1390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极1370的厚度可以是例如大约当第一感测电极1370的厚度是大约时,第一感测电极1370的透射率可以是大约0%,第一感测电极1370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极1390的厚度可以是大约当第二感测电极1390的厚度是大约时,第二感测电极1390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极1390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极1390可以执行镜子功能。
图49是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图。图50是沿着图49的线V-V'截取的剖视图。
除了第一感测电极2370、第四绝缘层2385和第二感测电极2390之外,根据示出的示例性实施例的有机发光显示装置与图1和图2的有机发光显示装置基本相同,因此相似的附图标记用于相同的元件并将省略重复的解释。
参照图49和图50,第一感测电极2370设置在第二基底2350上。第一感测电极2370可以设置在反射区域III中并且在发光区域II的外面。第四绝缘层2385设置在第一感测电极2370上。第二感测电极2390设置在第四绝缘层2385上。
第一感测电极2370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极2370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极2370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极2370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底2350和第一基底2110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底2350可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在示例性实施例中,第二基底2350可以包括透明无机材料或柔性塑料。在示例性实施例中,第二基底2350可以包括例如柔性透明树脂基底。在这种情况下,为了增大有机发光显示装置2100的柔性,第二基底2350可以包括至少一个有机层和至少一个无机层交替堆叠的堆叠结构。
第四绝缘层2385设置在第一感测电极2370上。第四绝缘层2385可以包括粘合材料。
第二感测电极2390设置在第四绝缘层2385上。第二感测电极2390可以设置在发光区域II和反射区域III中。
第二感测电极2390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极2390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极2390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极2390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第一感测电极2370可以具有与第二感测电极2390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极2370的厚度可以是例如大约当第一感测电极2370的厚度是大约时,第一感测电极2370的透射率可以是大约0%,第一感测电极2370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极2390的厚度可以是大约当第二感测电极2390的厚度是大约时,第二感测电极2390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极2390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极2390可以执行镜子功能。
图51至图58是示出制造图50的有机发光显示装置的方法的剖视图。
参照图51,在第一基底2110上设置缓冲层2115。然后,在缓冲层2115上设置有源图案2130和第一绝缘层2150。
在示例性实施例中,第一基底2110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
可以在第一基底2110上设置发光结构。第一基底2110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底2110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底2110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底2110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,可以在刚性玻璃基底上设置聚酰亚胺基底以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底2110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在在第二聚酰亚胺层上设置绝缘层之后,可以在绝缘层上设置发光结构(例如,半导体元件2250、电容器、第一电极2290、发光层2330、第二电极2340等)。
在在绝缘层上设置发光结构之后,可以去除玻璃基底。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以直接在聚酰亚胺基底上设置发光结构可能是困难的。因此,在刚性玻璃基底上设置发光结构,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底2110。因为有机发光显示装置2100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底2110也可以包括发光区域II和反射区域III。
可以在第一基底2110上设置缓冲层2115。缓冲层2115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层2115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底2110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层2115可以控制在用于形成有源图案2130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案2130。此外,在第一基底2110的表面相对不规则时,缓冲层2115可以改善第一基底2110的表面平整度。根据第一基底2110的类型,可以在第一基底2110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
在示例性实施例中,有源图案2130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
可以在有源图案2130上设置第一绝缘层2150。第一绝缘层2150可以在发光区域II中覆盖有源图案2130,并且可以在第一基底2110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底2110的整个表面上设置第一绝缘层2150。在示例性实施例中,第一绝缘层2150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图52,在其上设置有第一绝缘层2150的第一基底2110上设置栅电极2170和第二绝缘层2190。
可以在第一绝缘层2150的其下设置有有源图案2130的部分上设置栅电极2170。在示例性实施例中,栅电极2170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
可以在栅电极2170上设置第二绝缘层2190。第二绝缘层2190可以在发光区域II中覆盖栅电极2170,并且可以在第一基底2110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底2110的整个表面上设置第二绝缘层2190。在示例性实施例中,第二绝缘层2190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图53,在其上设置有第二绝缘层2190的第一基底2110上设置源电极2210和漏电极2230。
可以在第二绝缘层2190上设置源电极2210和漏电极2230。通过去除第一绝缘层2150和第二绝缘层2190的一部分,源电极2210可以与有源层2130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层2150和第二绝缘层2190的第二部分,漏电极2230可以与有源层2130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极2210和漏电极2230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,在有源图案2130上设置栅电极2170。然而,本发明不限于此,可以在有源图案2130下面设置栅电极2170。
参照图54,在其上设置有源电极2210和漏电极2230的第一基底2110上设置第三绝缘层2270和第一电极2290。
可以在源电极2210和漏电极2230上设置第三绝缘层2270。第三绝缘层2270可以在子像素区域II中覆盖源电极2210和漏电极2230,并且可以在第一基底2110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底2110的整个表面上设置第三绝缘层2270。在示例性实施例中,第三绝缘层2270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
可以在第三绝缘层2270上设置第一电极2290。通过去除第三绝缘层2270的一部分,第一电极2290可以与漏电极2230接触。另外,第一电极2290可以电连接到半导体元件2250。在示例性实施例中,第一电极2290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
参照图55,在其上设置有第一电极2290的第一基底2110上设置像素限定层2310、发光层2330和第二电极2340。
可以在第三绝缘层2270上设置像素限定层2310,以暴露第一电极2290的一部分。像素限定层2310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,可以在第一电极2290的被像素限定层2310暴露的部分上设置发光层2330。
可以在暴露的第一电极2290上设置发光层2330。可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供发光层2330。然而,本发明不限于此,发光层2330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
可以在像素限定层2310和发光层2330上设置第二电极2340。第二电极2340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层2310和发光层2330,并且可以在第一基底2110上沿着第一方向延伸。即,第二电极2340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极2340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。可以单独使用或者以其结合来使用这些材料。可以通过使用密封构件将第一基底2110与第二基底2350结合。另外,可以在第一基底2110与第二基底2350之间设置填充物。
参照图56,在第二基底2350上设置第一感测电极2370。
可以在第二基底2350的第一表面上设置第一感测电极2370。第一感测电极2370的第一表面可以面对第二电极2340,第一感测电极2370的与第一表面相对的第二表面可以与第二基底2350接触。可以在反射区域III中且在发光区域II的外面设置第一感测电极2370。然而,本发明不限于此,可以在第二基底2350与第一感测电极2370之间设置绝缘层。
第一感测电极2370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极2370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极2370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极2370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底2350和第一基底2110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底2350可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
参照图57,在其上设置有第一感测电极2370的第二基底2350上设置第四绝缘层2385。
第四绝缘层2385可以防止第一感测电极2370的氧化。第四绝缘层2385可以包括粘合材料。第四绝缘层2385可以防止第一感测电极2370和第二感测电极2390从第二基底2350分离。第四绝缘层2385可以使第一感测电极2370与第二感测电极2390之间绝缘。
参照图58,在第四绝缘层2385上设置第二感测电极2390。
可以在发光区域II和反射区域III中设置第二感测电极2390。
第二感测电极2390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极2390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极2390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极2390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
图59是示出图50的第一感测电极的平面图。图60是示出图50的第二感测电极的平面图。图61是示出图59的第一感测电极和图60的第二感测电极的平面图。
参照图50和图59至图61,示出了第一感测电极2370和第二感测电极2390。
第一感测电极2370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极2370设置在反射区域III中。第一感测电极2370可以通过第一连接线2375连接到感测驱动部件。第一连接线2375可以包括与第一感测电极2370的材料相同的材料。第一连接线2375可以设置在与第一感测电极2370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极2390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极2390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极2390可以通过第二连接线2395连接到感测驱动部件。第二连接线2395可以包括与第二感测电极2390的材料相同的材料。第二连接线2395可以设置在与第二感测电极2390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极2370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极2390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极2370可以与第二感测电极2390部分叠置。
第一感测电极2370可以设置在第二基底2350的第一表面上。第四绝缘层2385设置在第一感测电极2370上。第二感测电极2390设置在第四绝缘层2385上。
第一感测电极2370和第二感测电极2390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极2370和第二感测电极2390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极2370可以具有与第二感测电极2390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极2370的厚度可以是例如大约当第一感测电极2370的厚度是大约时,第一感测电极2370的透射率可以是大约0%,第一感测电极2370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极2390的厚度可以是大约当第二感测电极2390的厚度是大约时,第二感测电极2390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极2390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极2390可以执行镜子功能。
图62是示出图50的第一感测电极的平面图。图63是示出图50的第二感测电极的平面图。图64是示出图62的第一感测电极和图63的第二感测电极的平面图。
参照图50和图62至图64,示出了第一感测电极2370和第二感测电极2390。
第一感测电极2370可以包括沿第二方向D2延伸的多个第一感测图案2371和设置在第一感测图案2371之间的多个第一虚设图案2373。第一感测电极2370设置在反射区域III中。第一感测图案2371的间隔可以根据第一虚设图案2373的个数来调整。第一感测电极2370可以通过第一连接线2375连接到感测驱动部件。第一连接线2375可以包括与第一感测电极2370的材料相同的材料。第一连接线2375可以设置在与第一感测电极2370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极2390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个第二感测图案2391和设置在第二感测图案2391之间的多个第二虚设图案2393。第二感测电极2390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极2390的间隔可以根据第二虚设图案2393的个数来调整。第二感测电极2390可以通过第二连接线2395连接到感测驱动部件。第二连接线2395可以包括与第二感测电极2390的材料相同的材料。第二连接线2395可以设置在与第二感测电极2390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极2370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极2390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极2370可以与第二感测电极2390部分叠置。
第一感测电极2370可以设置在第二基底2350的第一表面上。第四绝缘层2385设置在第一感测电极2370上。第二感测电极2390设置在第四绝缘层2385上。
第一感测电极2370和第二感测电极2390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极2370和第二感测电极2390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极2370可以具有与第二感测电极2390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极2370的厚度可以是例如大约当第一感测电极2370的厚度是大约时,第一感测电极2370的透射率可以是大约0%,第一感测电极2370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极2390的厚度可以是大约当第二感测电极2390的厚度是大约时,第二感测电极2390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极2390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极2390可以执行镜子功能。
图65是示出图50的第一感测电极的平面图。图66是示出图50的第二感测电极的平面图。图67是示出图65的第一感测电极和图66的第二感测电极的平面图。
参照图50和图65至图67,示出了第一感测电极2370和第二感测电极2390。
第一感测电极2370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极2370可以设置为网格形状。第一感测电极2370设置在反射区域III中。第一感测电极2370可以通过第一连接线2375连接到感测驱动部件。第一连接线2375可以包括与第一感测电极2370的材料相同的材料。第一连接线2375可以设置在与第一感测电极2370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极2390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极2390在第二方向D2上的宽度与第一感测电极2370在第一方向D1上的宽度相同。第二感测电极2390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极2390可以通过第二连接线2395连接到感测驱动部件。第二连接线2395可以包括与第二感测电极2390的材料相同的材料。第二连接线2395可以设置在与第二感测电极2390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极2370可以设置在第二基底2350的第一表面上。第四绝缘层2385设置在第一感测电极2370上。第二感测电极2390设置在第四绝缘层2385上。
第一感测电极2370和第二感测电极2390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极2370和第二感测电极2390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极2370可以具有与第二感测电极2390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极2370的厚度可以是例如大约当第一感测电极2370的厚度是大约时,第一感测电极2370的透射率可以是大约0%,第一感测电极2370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极2390的厚度可以是大约当第二感测电极2390的厚度是大约时,第二感测电极2390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极2390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极2390可以执行镜子功能。
图68是示出图50的第一感测电极的平面图。图69是放大图68的'G'部分的平面图。图70是示出图50的第二感测电极的平面图。图71是放大图70的'H'部分的平面图。图72是示出图68的第一感测电极与图70的第二感测电极的平面图。图73是放大图72的'I'部分的平面图。
参照图50以及图68至图73,示出了第一感测电极2370和第二感测电极2390。
第一感测电极2370可以包括具有菱形形状并在第一方向D1上顺序地彼此相连的多个第一感测图案2371以及具有菱形形状并设置在第一感测图案2371之间的多个第一虚设图案2373。第一虚设图案2373彼此间隔开。第一感测电极2370设置在反射区域III中。第一感测电极2370可以通过第一连接线2375连接到感测驱动部件。第一连接线2375可以包括与第一感测电极2370的材料相同的材料。第一连接线2375可以设置在与第一感测电极2370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极2390可以包括具有菱形形状并在第二方向D2上顺序地彼此相连的多个第二感测图案2391以及具有菱形形状并设置在第二感测图案2391之间的多个第二虚设图案2393。第二虚设图案2393彼此间隔开。第二感测电极2390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极2390可以通过第二连接线2395连接到感测驱动部件。第二连接线2395可以包括与第二感测电极2390的材料相同的材料。第二连接线2395可以设置在与第二感测电极2390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极2370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极2390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极2370可以与第二感测电极2390部分叠置。
第一感测电极2370可以设置在第二基底2350的第一表面上。第四绝缘层2385设置在第一感测电极2370上。第二感测电极2390设置在第四绝缘层2385上。
第一感测电极2370和第二感测电极2390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极2370和第二感测电极2390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极2370可以具有与第二感测电极2390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极2370的厚度可以是例如大约当第一感测电极2370的厚度是大约时,第一感测电极2370的透射率可以是大约0%,第一感测电极2370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极2390的厚度可以是大约当第二感测电极2390的厚度是大约时,第二感测电极2390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极2390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极2390可以执行镜子功能。
图74是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图。图75是沿着图74的线VI-VI'截取的剖视图。
除了第一感测电极3370、第四绝缘层3385和第二感测电极3390之外,根据示出的示例性实施例的有机发光显示装置与图1和图2的有机发光显示装置基本相同,因此相似的附图标记用于相同的元件并将省略重复的解释。
参照图74和图75,第二感测电极3390设置在第二基底2350上。第二感测电极3390可以设置在反射区域III和发光区域II中。第四绝缘层3385设置在第二感测电极3390上。第一感测电极3370设置在第四绝缘层3385上。
第二感测电极3390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极3390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极3390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极3390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底3350和第一基底3110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底3350可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在示例性实施例中,第二基底3350可以包括透明无机材料或柔性塑料。在示例性实施例中,第二基底3350可以包括例如柔性透明树脂基底。在这种情况下,为了增大有机发光显示装置3100的柔性,第二基底3350可以包括至少一个有机层和至少一个无机层交替堆叠的堆叠结构。
第四绝缘层3385设置在第二感测电极3390上。第四绝缘层3385可以包括粘合材料。
第一感测电极3370设置在第四绝缘层3385上。第一感测电极3370可以设置在发光区域II中且在反射区域III的外面。
第一感测电极3370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极3370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极3370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极3370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第一感测电极3370可以具有与第二感测电极3390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极3370的厚度可以是例如大约当第一感测电极3370的厚度是大约时,第一感测电极3370的透射率可以是大约0%,第一感测电极3370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极3390的厚度可以是大约当第二感测电极3390的厚度是大约时,第二感测电极3390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极3390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极3390可以执行镜子功能。
图76至图83是示出制造图75的有机发光显示装置的方法的剖视图。
参照图76,在第一基底3110上设置缓冲层3115。然后,在缓冲层3115上设置有源图案3130和第一绝缘层3150。
在示例性实施例中,第一基底3110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
可以在第一基底3110上设置发光结构。第一基底3110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底3110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底3110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底3110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,可以在刚性玻璃基底上设置聚酰亚胺基底以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底3110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在在第二聚酰亚胺层上设置绝缘层之后,可以在绝缘层上设置发光结构(例如,半导体元件3250、电容器、第一电极3290、发光层3330、第二电极3340等)。
在在绝缘层上设置发光结构之后,可以去除玻璃基底。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以直接在聚酰亚胺基底上设置发光结构可能是困难的。因此,在刚性玻璃基底上设置发光结构,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底3110。因为有机发光显示装置3100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底3110也可以包括发光区域II和反射区域III。
可以在第一基底3110上设置缓冲层3115。缓冲层3115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层3115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底3110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层3115可以控制在用于形成有源图案3130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案3130。此外,在第一基底3110的表面相对不规则时,缓冲层3115可以改善第一基底3110的表面平整度。根据第一基底3110的类型,可以在第一基底3110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
在示例性实施例中,有源图案3130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
可以在有源图案3130上设置第一绝缘层3150。第一绝缘层3150可以在发光区域II中覆盖有源图案3130,并且可以在第一基底3110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底3110的整个表面上设置第一绝缘层3150。在示例性实施例中,第一绝缘层3150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图77,在其上设置有第一绝缘层3150的第一基底3110上设置栅电极3170和第二绝缘层3190。
可以在第一绝缘层3150的其下设置有有源图案3130的部分上设置栅电极3170。在示例性实施例中,栅电极3170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
可以在栅电极3170上设置第二绝缘层3190。第二绝缘层3190可以在发光区域II中覆盖栅电极3170,并且可以在第一基底3110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底3110的整个表面上设置第二绝缘层3190。在示例性实施例中,第二绝缘层3190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图78,在其上设置有第二绝缘层3190的第一基底3110上设置源电极3210和漏电极3230。
可以在第二绝缘层3190上设置源电极3210和漏电极3230。通过去除第一绝缘层3150和第二绝缘层3190的一部分,源电极3210可以与有源层3130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层3150和第二绝缘层3190的第二部分,漏电极3230可以与有源层3130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极3210和漏电极3230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,在有源图案3130上设置栅电极3170。然而,本发明不限于此,可以在有源图案3130下面设置栅电极3170。
参照图79,在其上设置有源电极3210和漏电极3230的第一基底3110上设置第三绝缘层3270和第一电极3290。
可以在源电极3210和漏电极3230上设置第三绝缘层3270。第三绝缘层3270可以在子像素区域II中覆盖源电极3210和漏电极3230,并且可以在第一基底3110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底3110的整个表面上设置第三绝缘层3270。在示例性实施例中,第三绝缘层3270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
可以在第三绝缘层3270上设置第一电极3290。通过去除第三绝缘层3270的一部分,第一电极3290可以与漏电极3230接触。另外,第一电极3290可以电连接到半导体元件3250。在示例性实施例中,第一电极3290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
参照图80,在其上设置有第一电极3290的第一基底3110上设置像素限定层3310、发光层3330和第二电极3340。
可以在第三绝缘层3270上设置像素限定层3310,以暴露第一电极3290的一部分。像素限定层3310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,可以在第一电极3290的被像素限定层3310暴露的部分上设置发光层3330。
可以在暴露的第一电极3290上设置发光层3330。可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供发光层3330。然而,本发明不限于此,发光层3330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
可以在像素限定层3310和发光层3330上设置第二电极3340。第二电极3340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层3310和发光层3330,并且可以在第一基底3110上沿着第一方向延伸。即,第二电极3340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极3340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。可以单独使用或者以其结合来使用这些材料。可以通过使用密封构件将第一基底3110与第二基底3350结合。另外,可以在第一基底3110与第二基底3350之间设置填充物。
参照图81,在第二基底3350上设置第二感测电极3390。
可以在第二基底3350的第一表面上设置第二感测电极3390。第二感测电极3390的第一表面可以面对第二电极3340,第二感测电极3390的与第一表面相对的第二表面可以与第二基底3350接触。
第二感测电极3390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极3390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极3390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极3390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二基底3350和第一基底3110可以包括基本相同的材料。在示例性实施例中,第二基底3350可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在示例性实施例中,第二基底3350可以包括透明无机材料或柔性塑料。在示例性实施例中,第二基底3350可以包括例如柔性透明树脂基底。在这种情况下,为了增大有机发光显示装置3100的柔性,第二基底3350可以包括至少一个有机层和至少一个无机层交替堆叠的堆叠结构。
参照图82,在其上设置有第二感测电极3390的第二基底3350上设置第四绝缘层3385。
第四绝缘层3385可以防止第二感测电极3390的氧化。第四绝缘层3385可以包括粘合材料。第四绝缘层3385可以防止第一感测电极3370和第二感测电极3390从第二基底3350分离。第四绝缘层3385可以使第一感测电极3370与第二感测电极3390之间绝缘。
参照图83,在第四绝缘层3385上设置第一感测电极3370。
可以在发光区域II中且在反射区域III的外面设置第一感测电极3370。
第一感测电极3370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极3370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极3370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极3370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
图84是示出图75的第一感测电极的平面图。图85是示出图75的第二感测电极的平面图。图86是示出图84的第一感测电极和图85的第二感测电极的平面图。
参照图75和图84至图86,示出了第一感测电极3370和第二感测电极3390。
第一感测电极3370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极3370设置在反射区域III中。第一感测电极3370可以通过第一连接线3375连接到感测驱动部件。第一连接线3375可以包括与第一感测电极3370的材料相同的材料。第一连接线3375可以设置在与第一感测电极3370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极3390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极3390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极3390可以通过第二连接线3395连接到感测驱动部件。第二连接线3395可以包括与第二感测电极3390的材料相同的材料。第二连接线3395可以设置在与第二感测电极3390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极3370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极3390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极3370可以与第二感测电极3390部分叠置。
第二感测电极3390设置在第二基底3350上。第四绝缘层3385设置在第二感测电极3390上。第一感测电极3370设置在第四绝缘层3385上。
第一感测电极3370和第二感测电极3390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极3370和第二感测电极3390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极3370可以具有与第二感测电极3390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极3370的厚度可以是例如大约当第一感测电极3370的厚度是大约时,第一感测电极3370的透射率可以是大约0%,第一感测电极3370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极3390的厚度可以是大约当第二感测电极3390的厚度是大约时,第二感测电极3390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极3390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极3390可以执行镜子功能。
图87是示出图75的第一感测电极的平面图。图88是示出图75的第二感测电极的平面图。图89是示出图87的第一感测电极和图88的第二感测电极的平面图。
参照图75和图87至图89,示出了第一感测电极3370和第二感测电极3390。
第一感测电极3370可以包括沿第二方向D2延伸的多个第一感测图案3371和设置在第一感测图案3371之间的多个第一虚设图案3373。第一感测电极3370设置在反射区域III中。第一感测图案3371的间隔可以根据第一虚设图案3373的个数来调整。第一感测电极3370可以通过第一连接线3375连接到感测驱动部件。第一连接线3375可以包括与第一感测电极3370的材料相同的材料。第一连接线3375可以设置在与第一感测电极3370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极3390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个第二感测图案3391和设置在第二感测图案3391之间的多个第二虚设图案3393。第二感测电极3390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极3390的间隔可以根据第二虚设图案3393的个数来调整。第二感测电极3390可以通过第二连接线3395连接到感测驱动部件。第二连接线3395可以包括与第二感测电极3390的材料相同的材料。第二连接线3395可以设置在与第二感测电极3390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极3370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极3390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极3370可以与第二感测电极3390部分叠置。
第二感测电极3390设置在第二基底3350上。第四绝缘层3385设置在第二感测电极3390上。第一感测电极3370设置在第四绝缘层3385上。
第一感测电极3370和第二感测电极3390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极3370和第二感测电极3390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极3370可以具有与第二感测电极3390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极3370的厚度可以是例如大约当第一感测电极3370的厚度是大约时,第一感测电极3370的透射率可以是大约0%,第一感测电极3370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极3390的厚度可以是大约当第二感测电极3390的厚度是大约时,第二感测电极3390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极3390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极3390可以执行镜子功能。
图90是示出图75的第一感测电极的平面图。图91是示出图75的第二感测电极的平面图。图92是示出图90的第一感测电极和图91的第二感测电极的平面图。
参照图75和图90至图92,示出了第一感测电极3370和第二感测电极3390。
第一感测电极3370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极3370可以设置为网格形状。第一感测电极3370设置在反射区域III中。第一感测电极3370可以通过第一连接线3375连接到感测驱动部件。第一连接线3375可以包括与第一感测电极3370的材料相同的材料。第一连接线3375可以设置在与第一感测电极3370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极3390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极3390在第二方向D2上的宽度与第一感测电极3370在第一方向D1上的宽度相同。第二感测电极3390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极3390可以通过第二连接线3395连接到感测驱动部件。第二连接线3395可以包括与第二感测电极3390的材料相同的材料。第二连接线3395可以设置在与第二感测电极3390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极3370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极3390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极3370可以与第二感测电极3390部分叠置。
第二感测电极3390设置在第二基底3350上。第四绝缘层3385设置在第二感测电极3390上。第一感测电极3370设置在第四绝缘层3385上。
第一感测电极3370和第二感测电极3390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极3370和第二感测电极3390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极3370可以具有与第二感测电极3390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极3370的厚度可以是例如大约当第一感测电极3370的厚度是大约时,第一感测电极3370的透射率可以是大约0%,第一感测电极3370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极3390的厚度可以是大约当第二感测电极3390的厚度是大约时,第二感测电极3390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极3390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极3390可以执行镜子功能。
图93是示出图75的第一感测电极的平面图。图94是放大图93的'J'部分的平面图。图95是示出图75的第二感测电极的平面图。图96是放大图95的'K'部分的平面图。图97是示出图93的第一感测电极与图95的第二感测电极的平面图。图98是放大图97的'L'部分的平面图。
参照图75以及图93至图98,示出了第一感测电极3370和第二感测电极3390。
第一感测电极3370可以包括具有菱形形状并在第一方向D1上顺序地彼此相连的多个第一感测图案3371以及具有菱形形状并设置在第一感测图案3371之间的多个第一虚设图案3373。第一虚设图案3373彼此间隔开。第一感测电极3370设置在反射区域III中。第一感测电极3370可以通过第一连接线3375连接到感测驱动部件。第一连接线3375可以包括与第一感测电极3370的材料相同的材料。第一连接线3375可以设置在与第一感测电极3370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极3390可以包括具有菱形形状并在第二方向D2上顺序地彼此相连的多个第二感测图案3391以及具有菱形形状并设置在第二感测图案3391之间的多个第二虚设图案3393。第二虚设图案3393彼此间隔开。第二感测电极3390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极3390可以通过第二连接线3395连接到感测驱动部件。第二连接线3395可以包括与第二感测电极3390的材料相同的材料。第二连接线3395可以设置在与第二感测电极3390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极3370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极3390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极3370可以与第二感测电极3390部分叠置。
第二感测电极3390设置在第二基底3350上。第四绝缘层3385设置在第二感测电极3390上。第一感测电极3370设置在第四绝缘层3385上。
第一感测电极3370和第二感测电极3390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极3370和第二感测电极3390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极3370可以具有与第二感测电极3390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极3370的厚度可以是例如大约当第一感测电极3370的厚度是大约时,第一感测电极3370的透射率可以是大约0%,第一感测电极3370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极3390的厚度可以是大约当第二感测电极3390的厚度是大约时,第二感测电极3390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极3390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极3390可以执行镜子功能。
图99是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图。图100是沿着图99的线VII-VII'截取的剖视图。
除了第一感测电极4370、薄膜包封层4410、第四绝缘层4420和第二感测电极4390之外,根据示出的示例性实施例的有机发光显示装置与图1和图2的有机发光显示装置基本相同,因此相似的附图标记用于相同的元件并将省略重复的解释。
参照图99和图100,薄膜包封层4410设置在第二电极4340上。薄膜包封层4410可以通过堆叠(例如,顺序堆叠)第一无机层、有机层和第二无机层来提供。
在示例性实施例中,有机层可以包括聚合物,并且还可以是包括例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、环氧树脂、聚乙烯和聚丙烯酸酯中的一种的单层或多层(例如,堆叠的层)。有机层也可以包括聚丙烯酸酯,例如,有机层可以包括包含二丙烯酸酯单体或三丙烯酸酯单体的聚合单体成分。单体成分还可以包括单丙烯酸酯单体。在示例性实施例中,单体成分还可以包括诸如热塑性聚烯烃(“TPO”)的合适的光引发剂,但不限于此。
第一无机层和第二无机层可以是包括金属氧化物或金属氮化物的单层或堆叠的层。在示例性实施例中,第一无机层和第二无机层可以包括例如氮化硅(例如,SiNx)、氧化铝(例如,Al2O3)、氧化硅(例如,SiO2)和氧化钛(例如,TiO2)中的一种。在这种情况下,第二无机层可以防止或减少潮气渗入发光结构。
然而,本发明不限于此,薄膜包封层4410可以通过堆叠(例如,顺序堆叠)第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层和第三无机层来提供。
第二感测电极4390设置在薄膜包封层4410上。第二感测电极4390可以设置在发光区域II和反射区域III中。
第二感测电极4390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极4390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极4390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极4390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第四绝缘层4420设置在第二感测电极4390上。第四绝缘层4420可以包括粘合材料。
第一感测电极4370设置在第四绝缘层4420上。第一感测电极4370可以设置在反射区域III中且在发光区域II的外面。
第一感测电极4370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极4370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极4370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极4370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第五绝缘层4392可以设置在第一感测电极4370上。在示例性实施例中,第五绝缘层4392可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
在示出的示例性实施例中,第二感测电极4390设置在薄膜包封层4410上。第四绝缘层4420设置在第二感测电极4390上,第一感测电极4370设置在第四绝缘层4420上。然而,本发明不限于此,第一感测电极4370可以设置在薄膜包封层4410上。另外,第四绝缘层4420可以设置在第一感测电极4370上,第二感测电极4390可以设置在第四绝缘层4420上。
图101至图108是示出制造图100的有机发光显示装置的方法的剖视图。
参照图101,在第一基底4110上设置缓冲层4115。然后,在缓冲层4115上设置有源图案4130和第一绝缘层4150。
在示例性实施例中,第一基底4110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
可以在第一基底4110上设置发光结构。第一基底4110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底4110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底4110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底4110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,可以在刚性玻璃基底上设置聚酰亚胺基底以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底4110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在在第二聚酰亚胺层上设置绝缘层之后,可以在绝缘层上设置发光结构(例如,半导体元件4250、电容器、第一电极4290、发光层4330、第二电极4340等)。
在在绝缘层上设置发光结构之后,可以去除玻璃基底。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以直接在聚酰亚胺基底上设置发光结构可能是困难的。因此,在刚性玻璃基底上设置发光结构,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底4110。因为有机发光显示装置4100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底4110也可以包括发光区域II和反射区域III。
可以在第一基底4110上设置缓冲层4115。缓冲层4115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层4115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底4110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层4115可以控制在用于形成有源图案4130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案4130。此外,在第一基底4110的表面相对不规则时,缓冲层4115可以改善第一基底4110的表面平整度。根据第一基底4110的类型,可以在第一基底4110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
在示例性实施例中,有源图案4130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
可以在有源图案4130上设置第一绝缘层4150。第一绝缘层4150可以在发光区域II中覆盖有源图案4130,并且可以在第一基底4110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底4110的整个表面上设置第一绝缘层4150。在示例性实施例中,第一绝缘层4150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图102,在其上设置有第一绝缘层4150的第一基底4110上设置栅电极4170和第二绝缘层4190。
可以在第一绝缘层4150的其下设置有有源图案4130的部分上设置栅电极4170。在示例性实施例中,栅电极4170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
可以在栅电极4170上设置第二绝缘层4190。第二绝缘层4190可以在发光区域II中覆盖栅电极4170,并且可以在第一基底4110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底4110的整个表面上设置第二绝缘层4190。在示例性实施例中,第二绝缘层4190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图103,在其上设置有第二绝缘层4190的第一基底4110上设置源电极4210和漏电极4230。
可以在第二绝缘层4190上设置源电极4210和漏电极4230。通过去除第一绝缘层4150和第二绝缘层4190的一部分,源电极4210可以与有源层4130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层4150和第二绝缘层4190的第二部分,漏电极4230可以与有源层4130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极4210和漏电极4230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,在有源图案4130上设置栅电极4170。然而,本发明不限于此,可以在有源图案4130下面设置栅电极4170。
参照图104,在其上设置有源电极4210和漏电极4230的第一基底4110上设置第三绝缘层4270和第一电极4290。
可以在源电极4210和漏电极4230上设置第三绝缘层4270。第三绝缘层4270可以在子像素区域II中覆盖源电极4210和漏电极4230,并且可以在第一基底4110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底4110的整个表面上设置第三绝缘层4270。在示例性实施例中,第三绝缘层4270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
可以在第三绝缘层4270上设置第一电极4290。通过去除第三绝缘层4270的一部分,第一电极4290可以与漏电极4230接触。另外,第一电极4290可以电连接到半导体元件4250。在示例性实施例中,第一电极4290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
参照图105,在其上设置有第一电极4290的第一基底4110上设置像素限定层4310、发光层4330和第二电极4340。
可以在第三绝缘层4270上设置像素限定层4310,以暴露第一电极4290的一部分。像素限定层4310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,可以在第一电极4290的被像素限定层4310暴露的部分上设置发光层4330。
可以在暴露的第一电极4290上设置发光层4330。可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供发光层4330。然而,本发明不限于此,发光层4330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
可以在像素限定层4310和发光层4330上设置第二电极4340。第二电极4340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层4310和发光层4330,并且可以在第一基底4110上沿着第一方向延伸。即,第二电极4340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极4340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。可以单独使用或者以其结合来使用这些材料。
参照图106,在其上设置有第二电极4340的第一基底4110上设置薄膜包封层4410。
薄膜包封层4410可以通过堆叠(例如,顺序堆叠)第一无机层、有机层和第二无机层来提供。
在示例性实施例中,有机层可以包括聚合物,并且还可以是包括例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、环氧树脂、聚乙烯和聚丙烯酸酯中的一种的单层或多层(例如,堆叠的层)。有机层也可以包括聚丙烯酸酯,例如,有机层可以包括包含二丙烯酸酯单体或三丙烯酸酯单体的聚合单体成分。单体成分还可以包括单丙烯酸酯单体。单体成分还可以包括诸如TPO的合适的光引发剂,但不限于此。
第一无机层和第二无机层可以是包括金属氧化物或金属氮化物的单层或堆叠的层。在示例性实施例中,第一无机层和第二无机层可以包括例如氮化硅(例如,SiNx)、氧化铝(例如,Al2O3)、氧化硅(例如,SiO2)和氧化钛(例如,TiO2)中的一种。在这种情况下,第二无机层可以防止或减少潮气渗入发光结构。
参照图107,在其上设置有薄膜包封层4410的第一基底4110上设置第二感测电极4390。
可以在发光区域II和反射区域III中设置第二感测电极4390。
第二感测电极4390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极4390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极4390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极4390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
参照图108,在其上设置有第二感测电极4390的第一基底4110上设置第四绝缘层4420。
第四绝缘层4420可以防止第二感测电极4390的氧化。第四绝缘层4420可以包括粘合材料。第四绝缘层4420可以使第一感测电极4370与第二感测电极4390之间绝缘。
参照图100,在其上设置有第四绝缘层4420的第一基底4110上设置第一感测电极4370。在第一感测电极4370上设置第五绝缘层4392。
可以在反射区域III中且在发光区域II的外面设置第一感测电极4370。
第一感测电极4370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极4370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极4370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极4370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
图109是示出图100的第一感测电极的平面图。图110是示出图100的第二感测电极的平面图。图111是示出图109的第一感测电极和图110的第二感测电极的平面图。
参照图100和图109至图111,示出了第一感测电极4370和第二感测电极4390。
第一感测电极4370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极4370设置在反射区域III中。第一感测电极4370可以通过第一连接线4375连接到感测驱动部件。第一连接线4375可以包括与第一感测电极4370的材料相同的材料。第一连接线4375可以设置在与第一感测电极4370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极4390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极4390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极4390可以通过第二连接线4395连接到感测驱动部件。第二连接线4395可以包括与第二感测电极4390的材料相同的材料。第二连接线4395可以设置在与第二感测电极4390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极4370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极4390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极4370可以与第二感测电极4390部分叠置。
第二感测电极4390设置在薄膜包封层4410上。第四绝缘层4420设置在第二感测电极4390上,第一感测电极4370设置在第四绝缘层4420上。
第一感测电极4370和第二感测电极4390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极4370和第二感测电极4390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极4370可以具有与第二感测电极4390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极4370的厚度可以是例如大约当第一感测电极4370的厚度是大约时,第一感测电极4370的透射率可以是大约0%,第一感测电极4370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极4390的厚度可以是大约当第二感测电极4390的厚度是大约时,第二感测电极4390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极4390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极4390可以执行镜子功能。
图112是示出图100的第一感测电极的平面图。图113是示出图100的第二感测电极的平面图。图114是示出图112的第一感测电极和图113的第二感测电极的平面图。
参照图100和图112至图114,示出了第一感测电极4370和第二感测电极4390。
第一感测电极4370可以包括沿第二方向D2延伸的多个第一感测图案4371和设置在第一感测图案4371之间的多个第一虚设图案4373。第一感测电极4370设置在反射区域III中。第一感测图案4371的间隔可以根据第一虚设图案4373的个数来调整。第一感测电极4370可以通过第一连接线4375连接到感测驱动部件。第一连接线4375可以包括与第一感测电极4370的材料相同的材料。第一连接线4375可以设置在与第一感测电极4370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极4390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个第二感测图案4391和设置在第二感测图案4391之间的多个第二虚设图案4393。第二感测电极4390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极4390的间隔可以根据第二虚设图案4393的个数来调整。第二感测电极4390可以通过第二连接线4395连接到感测驱动部件。第二连接线4395可以包括与第二感测电极4390的材料相同的材料。第二连接线4395可以设置在与第二感测电极4390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极4370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极4390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极4370可以与第二感测电极4390部分叠置。
第二感测电极4390设置在薄膜包封层4410上。第四绝缘层4420设置在第二感测电极4390上,第一感测电极4370设置在第四绝缘层4420上。
第一感测电极4370和第二感测电极4390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极4370和第二感测电极4390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极4370可以具有与第二感测电极4390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极4370的厚度可以是例如大约当第一感测电极4370的厚度是大约时,第一感测电极4370的透射率可以是大约0%,第一感测电极4370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极4390的厚度可以是大约当第二感测电极4390的厚度是大约时,第二感测电极4390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极4390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极4390可以执行镜子功能。
图115是示出图100的第一感测电极的平面图。图116是示出图100的第二感测电极的平面图。图117是示出图115的第一感测电极和图116的第二感测电极的平面图。
参照图100以及图115至图117,示出了第一感测电极4370和第二感测电极4390。
第一感测电极4370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极4370可以设置为网格形状。第一感测电极4370设置在反射区域III中。第一感测电极4370可以通过第一连接线4375连接到感测驱动部件。第一连接线4375可以包括与第一感测电极4370的材料相同的材料。第一连接线4375可以设置在与第一感测电极4370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极4390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极4390在第二方向D2上的宽度与第一感测电极4370在第一方向D1上的宽度相同。第二感测电极4390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极4390可以通过第二连接线4395连接到感测驱动部件。第二连接线4395可以包括与第二感测电极4390的材料相同的材料。第二连接线4395可以设置在与第二感测电极4390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极4370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极4390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极4370可以与第二感测电极4390部分叠置。
第二感测电极4390设置在薄膜包封层4410上。第四绝缘层4420设置在第二感测电极4390上,第一感测电极4370设置在第四绝缘层4420上。
第一感测电极4370和第二感测电极4390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极4370和第二感测电极4390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极4370可以具有与第二感测电极4390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极4370的厚度可以是例如大约当第一感测电极4370的厚度是大约时,第一感测电极4370的透射率可以是大约0%,第一感测电极4370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极4390的厚度可以是大约当第二感测电极4390的厚度是大约时,第二感测电极4390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极4390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极4390可以执行镜子功能。
图118是示出图100的第一感测电极的平面图。图119是放大图118的'M'部分的平面图。图120是示出图100的第二感测电极的平面图。图121是放大图120的'N'部分的平面图。图122是示出图118的第一感测电极与图120的第二感测电极的平面图。图123是放大图122的'O'部分的平面图。
参照图100以及图118至图123,示出了第一感测电极4370和第二感测电极4390。
第一感测电极4370可以包括具有菱形形状并在第一方向D1上顺序地彼此相连的多个第一感测图案4371以及具有菱形形状并设置在第一感测图案4371之间的多个第一虚设图案4373。第一虚设图案4373彼此间隔开。第一感测电极4370设置在反射区域III中。第一感测电极4370可以通过第一连接线4375连接到感测驱动部件。第一连接线4375可以包括与第一感测电极4370的材料相同的材料。第一连接线4375可以设置在与第一感测电极4370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极4390可以包括具有菱形形状并在第二方向D2上顺序地彼此相连的多个第二感测图案4391以及具有菱形形状并设置在第二感测图案4391之间的多个第二虚设图案4393。第二虚设图案4393彼此间隔开。第二感测电极4390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极4390可以通过第二连接线4395连接到感测驱动部件。第二连接线4395可以包括与第二感测电极4390的材料相同的材料。第二连接线4395可以设置在与第二感测电极4390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极4370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极4390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极4370可以与第二感测电极4390部分叠置。
第二感测电极4390设置在薄膜包封层4410上。第四绝缘层4420设置在第二感测电极4390上,第一感测电极4370设置在第四绝缘层4420上。
第一感测电极4370和第二感测电极4390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极4370和第二感测电极4390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极4370可以具有与第二感测电极4390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极4370的厚度可以是例如大约当第一感测电极4370的厚度是大约时,第一感测电极4370的透射率可以是大约0%,第一感测电极4370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极4390的厚度可以是大约当第二感测电极4390的厚度是大约时,第二感测电极4390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极4390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极4390可以执行镜子功能。
图124是示出根据本发明的示例性实施例的有机发光显示装置的平面图。图125是沿着图124的线VIII-VIII'截取的剖视图。
除了第一感测电极5370、第一薄膜包封层5410、第二薄膜包封层5420和第二感测电极5390之外,根据示出的示例性实施例的有机发光显示装置与图1和图2的有机发光显示装置基本相同,因此相似的附图标记用于相同的元件并将省略重复的解释。
参照图124和图125,薄膜包封层设置在第二电极5340上。薄膜包封层可以通过堆叠(例如,顺序堆叠)第一无机层、有机层和第二无机层来提供。
在示例性实施例中,有机层可以包括聚合物,并且还可以是包括例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、环氧树脂、聚乙烯和聚丙烯酸酯中的一种的单层或多层(例如,堆叠的层)。有机层也可以包括聚丙烯酸酯,例如,有机层可以包括包含二丙烯酸酯单体或三丙烯酸酯单体的聚合单体成分。单体成分还可以包括单丙烯酸酯单体。单体成分还可以包括诸如TPO的合适的光引发剂,但不限于此。
第一无机层和第二无机层可以是包括金属氧化物或金属氮化物的单层或堆叠的层。在示例性实施例中,第一无机层和第二无机层可以包括例如氮化硅(例如,SiNx)、氧化铝(例如,Al2O3)、氧化硅(例如,SiO2)和氧化钛(例如,TiO2)中的一种。在这种情况下,第二无机层可以防止或减少潮气渗入发光结构。
然而,本发明不限于此,薄膜包封层可以通过堆叠(例如,顺序堆叠)第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层和第三无机层来提供。
在示出的示例性实施例中,薄膜包封层可以包括第一薄膜包封层5410和第二薄膜包封层5420。在示例性实施例中,第一薄膜包封层5410可以包括例如第一无机层和有机层。第二薄膜包封层5420可以包括第二无机层。然而,本发明不限于此。
第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410上。第二感测电极5390可以设置在发光区域II和反射区域III中。
第二感测电极5390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极5390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极5390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极5390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第二薄膜包封层5420设置在第二感测电极5390上。第一感测电极5370设置在第二薄膜包封层5420上。第一感测电极5370可以设置在反射区域III中且在发光区域II的外面。
第一感测电极5370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极5370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极5370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极5370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
第五绝缘层5392可以设置在第一感测电极5370上。在示例性实施例中,第五绝缘层5392可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
在示出的示例性实施例中,第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410上。第二薄膜包封层5420设置在第二感测电极5390上,第一感测电极5370设置在第二薄膜包封层5420上。然而,本发明不限于此,第一感测电极5370可以设置在第一薄膜包封层5410上。另外,第二薄膜包封层5420可以设置在第一感测电极5370上,第二感测电极5390可以设置在第二薄膜包封层5420上。
图126至图133是示出制造图125的有机发光显示装置的方法的剖视图。
参照图126,在第一基底5110上设置缓冲层5115。然后,在缓冲层5115上设置有源图案5130和第一绝缘层5150。
在示例性实施例中,第一基底5110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。
可以在第一基底5110上设置发光结构。第一基底5110可以包括透明材料。在示例性实施例中,第一基底5110可以包括例如石英、人造石英、氟化钙、掺氟石英、钠钙玻璃、无碱玻璃等。在可选择的示例性实施例中,第一基底5110可以包括柔性透明树脂基底。这里,用于第一基底5110的柔性透明树脂基底可以包括聚酰亚胺基底。在示例性实施例中,聚酰亚胺基底可以包括例如第一聚酰亚胺层、阻挡膜层、第二聚酰亚胺层等。当聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的时,可以在刚性玻璃基底上设置聚酰亚胺基底以帮助支持发光结构的形成。即,在示例性实施例中,第一基底5110可以具有第一聚酰亚胺层、阻挡膜层和第二聚酰亚胺层堆叠在玻璃基底上的结构。这里,在在第二聚酰亚胺层上设置绝缘层之后,可以在绝缘层上设置发光结构(例如,半导体元件5250、电容器、第一电极5290、发光层5330、第二电极5340等)。
在在绝缘层上设置发光结构之后,可以去除玻璃基底。因为聚酰亚胺基底是薄的且是柔性的,所以直接在聚酰亚胺基底上设置发光结构可能是困难的。因此,在刚性玻璃基底上设置发光结构,然后在去除玻璃基底之后,聚酰亚胺基底可以用作第一基底5110。因为有机发光显示装置5100包括发光区域II和反射区域III,所以第一基底5110也可以包括发光区域II和反射区域III。
可以在第一基底5110上设置缓冲层5115。缓冲层5115可以从发光区域II延伸到反射区域III中。缓冲层5115可以防止金属原子和/或杂质从第一基底5110扩散(例如,排气)。另外,缓冲层5115可以控制在用于形成有源图案5130的结晶工艺中的传热速率,从而获得基本均匀的有源图案5130。此外,在第一基底5110的表面相对不规则时,缓冲层5115可以改善第一基底5110的表面平整度。根据第一基底5110的类型,可以在第一基底5110上设置至少两个缓冲层,或者可以不设置缓冲层。
在示例性实施例中,有源图案5130可以包括例如氧化物半导体、无机半导体(例如,非晶硅、多晶硅等)、有机半导体等。
可以在有源图案5130上设置第一绝缘层5150。第一绝缘层5150可以在发光区域II中覆盖有源图案5130,并且可以在第一基底5110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底5110的整个表面上设置第一绝缘层5150。在示例性实施例中,第一绝缘层5150可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图127,在其上设置有第一绝缘层5150的第一基底5110上设置栅电极5170和第二绝缘层5190。
可以在第一绝缘层5150的其下设置有有源图案5130的部分上设置栅电极5170。在示例性实施例中,栅电极5170可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
可以在栅电极5170上设置第二绝缘层5190。第二绝缘层5190可以在发光区域II中覆盖栅电极5170,并且可以在第一基底5110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底5110的整个表面上设置第二绝缘层5190。在示例性实施例中,第二绝缘层5190可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
参照图128,在其上设置有第二绝缘层5190的第一基底5110上设置源电极5210和漏电极5230。
可以在第二绝缘层5190上设置源电极5210和漏电极5230。通过去除第一绝缘层5150和第二绝缘层5190的一部分,源电极5210可以与有源层5130的第一侧接触。通过去除第一绝缘层5150和第二绝缘层5190的第二部分,漏电极5230可以与有源层5130的第二侧接触。在示例性实施例中,源电极5210和漏电极5230中的每个可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
在示出的示例性实施例中,在有源图案5130上设置栅电极5170。然而,本发明不限于此,可以在有源图案5130下面设置栅电极5170。
参照图129,在其上设置有源电极5210和漏电极5230的第一基底5110上设置第三绝缘层5270和第一电极5290。
可以在源电极5210和漏电极5230上设置第三绝缘层5270。第三绝缘层5270可以在子像素区域II中覆盖源电极5210和漏电极5230,并且可以在第一基底5110上沿着第一方向延伸。即,可以在第一基底5110的整个表面上设置第三绝缘层5270。在示例性实施例中,第三绝缘层5270可以包括例如硅化合物、金属氧化物等。
可以在第三绝缘层5270上设置第一电极5290。通过去除第三绝缘层5270的一部分,第一电极5290可以与漏电极5230接触。另外,第一电极5290可以电连接到半导体元件5250。在示例性实施例中,第一电极5290可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。
参照图130,在其上设置有第一电极5290的第一基底5110上设置像素限定层5310、发光层5330和第二电极5340。
可以在第三绝缘层5270上设置像素限定层5310,以暴露第一电极5290的一部分。像素限定层5310可以包括有机材料或无机材料。在这种情况下,可以在第一电极5290的被像素限定层5310暴露的部分上设置发光层5330。
可以在暴露的第一电极5290上设置发光层5330。可以使用能产生不同颜色的光(例如,红色光、蓝色光和绿色光)的发光材料来提供发光层5330。然而,本发明不限于此,发光层5330可以堆叠能产生不同颜色的光的发光材料以发射白色光。
可以在像素限定层5310和发光层5330上设置第二电极5340。第二电极5340可以在发光区域II和反射区域III中覆盖像素限定层5310和发光层5330,并且可以在第一基底5110上沿着第一方向延伸。即,第二电极5340可以电连接到第一至第三像素。在示例性实施例中,第二电极5340可以包括例如金属、合金、金属氮化物、导电金属氧化物、透明导电材料等。可以单独使用或者以其组合来使用这些材料。
参照图131,在其上设置有第二电极5340的第一基底5110上设置第一薄膜包封层5410。
根据示出的示例性实施例的薄膜包封层可以包括第一薄膜包封层5410和第二薄膜包封层5420。薄膜包封层可以通过堆叠(例如,顺序堆叠)第一无机层、有机层和第二无机层来提供。
在示例性实施例中,有机层可以包括聚合物,并且还可以是包括例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、环氧树脂、聚乙烯和聚丙烯酸酯中的一种的单层或多层(例如,堆叠的层)。有机层也可以包括聚丙烯酸酯,例如,有机层可以包括包含二丙烯酸酯单体或三丙烯酸酯单体的聚合单体成分。单体成分还可以包括单丙烯酸酯单体。单体成分还可以包括诸如TPO的合适的光引发剂,但不限于此。
第一无机层和第二无机层可以是包括金属氧化物或金属氮化物的单层或堆叠的层。在示例性实施例中,第一无机层和第二无机层可以包括例如氮化硅(例如,SiNx)、氧化铝(例如,Al2O3)、氧化硅(例如,SiO2)和氧化钛(例如,TiO2)中的一种。在这种情况下,第二无机层可以防止或减少潮气渗入发光结构。
第一薄膜包封层5410可以包括第一无机层。然而,本发明不限于此,第一薄膜包封层5410可以包括第一无机层和有机层。
参照图132,在其上设置有第一薄膜包封层5410的第一基底5110上设置第二感测电极5390。
可以在发光区域II和反射区域III中设置第二感测电极5390。
第二感测电极5390可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第二感测电极5390可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第二感测电极5390可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第二感测电极5390可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
参照图133,在其上设置有第二感测电极5390的第一基底5110上设置第二薄膜包封层5420。
第二薄膜包封层5420可以包括第二无机层。然而,本发明不限于此,第二薄膜包封层5420可以包括有机层和第二无机层。
在示出的示例性实施例中,薄膜包封层可以包括第一薄膜包封层5410和第二薄膜包封层5420。第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410与第二薄膜包封层5420之间。即,第二感测电极5390设置在薄膜包封层之间。
参照图125,在其上设置有第二薄膜包封层5420的第一基底5110上设置第一感测电极5370。在第一感测电极5370上设置第五绝缘层5392。
可以在反射区域III中且在发光区域II的外面设置第一感测电极5370。
第一感测电极5370可以包括具有预定反射率的材料。在示例性实施例中,第一感测电极5370可以包括例如金(Au)、银(Ag)、铝(Al)、镁(Mg)、铂(Pt)、镍(Ni)、钛(Ti)等。在可选择的示例性实施例中,第一感测电极5370可以包括合金、金属氮化物、导电金属氧化物等。在示例性实施例中,第一感测电极5370可以包括例如包含铝的合金、氮化铝(AlNx)、包含银的合金、氮化钨(WNx)、包含铜的合金、氮化铬(CrNx)、包含钼的合金、氮化钛(TiNx)、氮化钽(TaNx)、SRO、氧化锌(ZnOx)、氧化锡(SnOx)、氧化铟(InOx)、氧化镓(GaOx)等。
图134是示出图125的第一感测电极的平面图。图135是示出图125的第二感测电极的平面图。图136是示出图134的第一感测电极和图135的第二感测电极的平面图。
参照图125和图134至图136,示出了第一感测电极5370和第二感测电极5390。
第一感测电极5370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极5370设置在反射区域III中。第一感测电极5370可以通过第一连接线5375连接到感测驱动部件。第一连接线5375可以包括与第一感测电极5370的材料相同的材料。第一连接线5375可以设置在与第一感测电极5370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极5390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极5390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极5390可以通过第二连接线5395连接到感测驱动部件。第二连接线5395可以包括与第二感测电极5390的材料相同的材料。第二连接线5395可以设置在与第二感测电极5390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极5370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极5390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极5370可以与第二感测电极5390部分叠置。
第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410上。第二薄膜包封层5420设置在第二感测电极5390上。第一感测电极5370设置在第二薄膜包封层5420上。
第一感测电极5370和第二感测电极5390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极5370和第二感测电极5390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极5370可以具有与第二感测电极5390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极5370的厚度可以是例如大约当第一感测电极5370的厚度是大约时,第一感测电极5370的透射率可以是大约0%,第一感测电极5370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极5390的厚度可以是大约当第二感测电极5390的厚度是大约时,第二感测电极5390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极5390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极5390可以执行镜子功能。
图137是示出图125的第一感测电极的平面图。图138是示出图125的第二感测电极的平面图。图139是示出图137的第一感测电极和图138的第二感测电极的平面图。
参照图125以及图137至图139,示出了第一感测电极5370和第二感测电极5390。
第一感测电极5370可以包括沿第二方向D2延伸的多个第一感测图案5371和设置在第一感测图案5371之间的多个第一虚设图案5373。第一感测电极5370设置在反射区域III中。第一感测图案5371的间隔可以根据第一虚设图案5373的个数来调整。第一感测电极5370可以通过第一连接线5375连接到感测驱动部件。第一连接线5375可以包括与第一感测电极5370的材料相同的材料。第一连接线5375可以设置在与第一感测电极5370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极5390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个第二感测图案5391和设置在第二感测图案5391之间的多个第二虚设图案5393。第二感测电极5390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极5390的间隔可以根据第二虚设图案5393的个数来调整。第二感测电极5390可以通过第二连接线5395连接到感测驱动部件。第二连接线5395可以包括与第二感测电极5390的材料相同的材料。第二连接线5395可以设置在与第二感测电极5390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极5370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极5390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极5370可以与第二感测电极5390部分叠置。
第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410上。第二薄膜包封层5420设置在第二感测电极5390上。第一感测电极5370设置在第二薄膜包封层5420上。
第一感测电极5370和第二感测电极5390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极5370和第二感测电极5390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极5370可以具有与第二感测电极5390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极5370的厚度可以是例如大约当第一感测电极5370的厚度是大约时,第一感测电极5370的透射率可以是大约0%,第一感测电极5370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极5390的厚度可以是大约当第二感测电极5390的厚度是大约时,第二感测电极5390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极5390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极5390可以执行镜子功能。
图140是示出图125的第一感测电极的平面图。图141是示出图125的第二感测电极的平面图。图142是示出图140的第一感测电极和图141的第二感测电极的平面图。
参照图125以及图140至图142,示出了第一感测电极5370和第二感测电极5390。
第一感测电极5370可以设置为沿第二方向D2延伸的多个图案。第一感测电极5370可以设置为网格形状。第一感测电极5370设置在反射区域III中。第一感测电极5370可以通过第一连接线5375连接到感测驱动部件。第一连接线5375可以包括与第一感测电极5370的材料相同的材料。第一连接线5375可以设置在与第一感测电极5370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极5390可以设置为沿与第二方向D2相交的第一方向D1延伸的多个图案。第二感测电极5390在第二方向D2上的宽度与第一感测电极5370在第一方向D1上的宽度相同。第二感测电极5390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极5390可以通过第二连接线5395连接到感测驱动部件。第二连接线5395可以包括与第二感测电极5390的材料相同的材料。第二连接线5395可以设置在与第二感测电极5390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极5370可以包括具有预定反射率的材料。第二感测电极5390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极5370可以与第二感测电极5390部分叠置。
第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410上。第二薄膜包封层5420设置在第二感测电极5390上。第一感测电极5370设置在第二薄膜包封层5420上。
第一感测电极5370和第二感测电极5390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极5370和第二感测电极5390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极5370可以具有与第二感测电极5390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极5370的厚度可以是例如大约当第一感测电极5370的厚度是大约时,第一感测电极5370的透射率可以是大约0%,第一感测电极5370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极5390的厚度可以是大约当第二感测电极5390的厚度是大约时,第二感测电极5390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,第二感测电极5390可以在发光区域II中显示图像,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极5390可以执行镜子功能。
图143是示出图125的第一感测电极的平面图。图144是放大图143的'P'部分的平面图。图145是示出图125的第二感测电极的平面图。图146是放大图145的'Q'部分的平面图。图147是示出图143的第一感测电极与图145的第二感测电极的平面图。图148是放大图147的'R'部分的平面图。
参照图125以及图143至图148,示出了第一感测电极5370和第二感测电极5390。
第一感测电极5370可以包括具有菱形形状并在第一方向D1上顺序地彼此相连的多个第一感测图案5371以及具有菱形形状并设置在第一感测图案5371之间的多个第一虚设图案5373。第一虚设图案5373彼此间隔开。第一感测电极5370设置在反射区域III中。第一感测电极5370可以通过第一连接线5375连接到感测驱动部件。第一连接线5375可以包括与第一感测电极5370的材料相同的材料。第一连接线5375可以设置在与第一感测电极5370设置在其上的层相同的层上。
第二感测电极5390可以包括具有菱形形状并在第二方向D2上顺序地彼此相连的多个第二感测图案5391以及具有菱形形状并设置在第二感测图案5391之间的多个第二虚设图案5393。第二虚设图案5393彼此间隔开。第二感测电极5390设置在发光区域II和反射区域III中。第二感测电极5390可以通过第二连接线5395连接到感测驱动部件。第二连接线5395可以包括与第二感测电极5390的材料相同的材料。第二连接线5395可以设置在与第二感测电极5390设置在其上的层相同的层上。
第一感测电极5370可以包括具有预定的反射率的材料。第二感测电极5390可以包括具有预定反射率的材料。第一感测电极5370可以与第二感测电极5390部分叠置。
第二感测电极5390设置在第一薄膜包封层5410上。第二薄膜包封层5420设置在第二感测电极5390上。第一感测电极5370设置在第二薄膜包封层5420上。
第一感测电极5370和第二感测电极5390可以实施为互电容型触摸屏面板的感测电极。在示例性实施例中,例如,当接触电导体时,第一感测电极5370和第二感测电极5390的围绕触摸位置的相交点的电容改变。因此,触摸面板传感器(未示出)可以基于与电容的改变对应的电容感测信号来判定触摸位置。
第一感测电极5370可以具有与第二感测电极5390的厚度不同的厚度。在示例性实施例中,第一感测电极5370的厚度可以是例如大约当第一感测电极5370的厚度是大约时,第一感测电极5370的透射率可以是大约0%,第一感测电极5370的反射率可以大于大约95%。另外,第二感测电极5390的厚度可以是大约当第二感测电极5390的厚度是大约时,第二感测电极5390的透射率可以大于大约50%并小于大约95%。当有机发光显示装置发光时,光通过发光区域II中的第二感测电极5390发射,当有机发光显示装置不发光时,第二感测电极5390可以执行镜子功能。
根据示出的示例性实施例,有机发光显示装置包括具有镜子功能和触摸功能的反射构件。因此,可以省略用于形成具有触摸功能的电极层的额外工艺。这样,可以减少制造成本。
另外,有机发光显示装置包括设置在反射区域中的第一反射构件和设置在发光区域以及反射区域中的第二反射构件。因此,可以减少在第一反射构件的边缘处发生的散射反射。
另外,有机发光显示装置包括薄膜包封层。因此,可以制造具有镜子功能和触摸功能的柔性有机发光显示装置。
上述内容是对本发明的举例说明,而不应被解释成对本发明的限制。虽然已经描述了本发明的一些示例性实施例,但是本领域技术人员将容易理解的是,在实质上不脱离本发明的新颖的教导和优点的情况下,可对示出的示例性实施例做出许多改变。因此,所有这样的改变意图被包括在如权利要求书限定的本发明的范围内。本发明由权利要求限定,权利要求的等同物将被包括在权利要求中。