能对样品进行360°旋转的透射电镜样品杆的制作方法

文档序号:14681542发布日期:2018-06-12 22:20阅读:来源:国知局
能对样品进行360°旋转的透射电镜样品杆的制作方法

技术特征:

1.能对样品进行360°旋转的透射电镜样品杆,样品杆上连接有样品夹,样品装夹于样品夹上;其特征在于:该样品杆包括中空的外壳和安装于外壳内的转轴,转轴和外壳之间设置至少一对轴承,转轴上设有驱动转轴自转的旋转驱动机构;转轴由刚性杆和压电陶瓷管组成,轴承设置于刚性杆上,压电陶瓷管沿X轴、Y轴和/或Z轴伸缩和以X轴和/或Y轴为中心摆动,压电陶瓷管一端与刚性杆固定;压电陶瓷管的另一端固定有硬质小球;样品夹通过柔性丝爪悬挂于硬质小球上,柔性丝爪沿样品夹呈圆周阵列,柔性丝爪一端与样品夹固定、另一端形成收缩口悬挂于硬质小球。

2.如权利要求1所述的能对样品进行360°旋转的透射电镜样品杆,其特征在于:旋转驱动机构具有支架和摩擦驱动组件,支架具有凹形腔体,支架与外壳固定,摩擦驱动组件固定在腔体内;摩擦驱动组件由一对基板、弹簧、螺钉和压电片组成,每个基板上固定一个压电片,螺钉依次穿过两个基板,转轴穿过腔体位于两个基板之间,压电片分别贴紧转轴。

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