技术特征:
技术总结
本发明的实施例公开了一种半导体结构。半导体结构包括:衬底;在衬底上方形成的栅极结构;在栅极结构的任一侧上在衬底中形成的源极区和漏极区,源极区和漏极区均具有第一导电类型;以及在栅极结构和漏极区之间的衬底上方形成的场板;其中场板连接到衬底的源极区或块状电极。本发明的实施例还公开了用于制造半导体结构的相关方法。
技术研发人员:郑志昌;朱馥钰;柳瑞兴;陈光鑫;柯志欣;黄士芬
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2016.12.19
技术公布日:2017.08.15