一种用于盛放硅片的盒子的制作方法

文档序号:11487418阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于盛放硅片的盒子,其特征在于,包括盒体,该盒体设有一开口向上的容纳腔,所述容纳腔内平行的固设有多个立板,该多个立板将容纳腔分隔成多个硅片放置腔,每一个硅片放置腔内设有一压板,所述压板平行立板设置,该压板外侧面通过若干弹簧安装在该硅片放置腔所对应的一个立板上,每个压板内侧面对应弹簧位置设有海绵缓冲块;所述每个硅片放置腔底部设有软胶缓冲层。

2.根据权利要求1所述的一种用于盛放硅片的盒子,其特征在于,所述压板顶部凸出盒体顶面设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于盛放硅片的盒子,其特征在于,所述硅片放置腔正对该压板的腔壁上设有海绵层。

4.根据权利要求1所述的一种用于盛放硅片的盒子,其特征在于,所述软胶缓冲层上还设有呈波纹状的保护层,以便于硅片放置。

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