技术总结
本实用新型提供了一种离子源放电模块，所述离子源放电模块包括：陶瓷管，所述陶瓷管包括外径较大部分和外径较小部分；金属件，所述金属件设置在所述外径较小部分的外围，并与所述陶瓷管的外径较大部分连接在一起；玻璃管，所述玻璃管设置在所述外径较小部分的外围，左侧与所述金属件连接，右侧连接石英管；所述金属件和玻璃管与所述外径较小部分的外缘间的距离均大于零；石英管，所述石英管包括内径较大部分和内径较小部分，所述内径较大部分的端部与所述玻璃管的右侧连接；所述石英管与所述外径较小部分间的距离大于零。本实用新型具有可靠性好、结构简单等优点。
技术研发人员：洪欢欢;闻路红;宁录胜;赵鹏;陈瑞强
受保护的技术使用者：宁波华仪宁创智能科技有限公司;宁波大学
文档号码：201621486875
技术研发日：2016.12.31
技术公布日：2017.08.25