缓冲腔室晶片加热机构和支撑机械臂的制作方法

技术特征：

技术总结
描述了一种缓冲腔室，所述缓冲腔室包括机械臂、转盘和至少一个加热模块，用于与批量处理腔室一起使用。描述了用于将晶片快速并且可重复地送入和送出缓冲腔室的机械臂配置，以及合并由所述缓冲腔室和机械臂的群集工具。

技术研发人员：W·T·韦弗;J·M·沙勒;R·B·沃派特;D·伯拉尼克;B·B·莱尔顿;P·E·波尔甘德
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.04.15
技术公布日：2018.01.02