基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序与流程

技术特征：

1.一种基板处理装置的排程制作方法，所述基板处理装置具有对容纳于容纳架的多张基板逐张进行处理的处理部，当利用所述基板处理装置一面使用所述处理部的资源一面处理多张基板时，在实际开始处理前，控制部决定各资源的使用时机，所述基板处理装置的排程制作方法的特征在于，

所述控制部在对某基板配置使用所述处理部的资源的处理时，在存在达到寿命的所述处理部的维护处理的情况下，基于由用户预先设定是维护优先还是基板处理优先的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置所述基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在所述基板的处理前配置维护处理。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置的排程制作方法，其特征在于，

预先设定有处理任务和控制任务，

所述处理任务设定规定处理顺序的规程，所述处理任务与每个基板建立对应，

所述控制任务设定属于哪个容纳架，所述控制任务与每个基板建立对应，

所述基板处理优先能够针对每个基板或每个处理任务或每个控制任务设定配置所述维护处理的时机。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置的排程制作方法，其特征在于，

所述维护处理是在所述处理部中使用的处理液的液更换处理或清洗所述处理部的清洗处理。

4.一种基板处理装置的排程制作程序，所述基板处理装置具有对容纳于容纳架的多张基板逐张进行处理的处理部，当利用所述基板处理装置一面使用所述处理部的资源一面处理多张基板时，在实际开始处理前，控制部决定各资源的使用时机，所述基板处理装置的排程制作程序的特征在于，

所述控制部在对某基板配置使用所述处理部的资源的处理时，在存在达到寿命的所述处理部的维护处理的情况下，基于由用户预先设定是维护优先还是基板处理优先的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置所述基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在所述基板的处理前配置维护处理。