薄膜晶体管面板缺陷的检测方法及检测设备与流程

文档序号:15451928发布日期:2018-09-15 00:11阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种薄膜晶体管、即TFT面板缺陷的检测方法及检测设备,该方法包括施加电压至面板的线路,其中所述线路包含多个位置,利用热像仪扫描多个位置,以获得多个位置的多笔温度影像数据,以及将多笔温度影像数据与正常温度影像数据进行比对以检测出异常影像数据,当判断出所述异常影像数据所代表的相对应位置的温度高于用户设定值时,便将与各异常影像相对应的所有位置标示为存有缺陷的位置,以利于进行后续工艺。

技术研发人员:庄文忠
受保护的技术使用者:兴城科技股份有限公司
技术研发日:2017.05.23
技术公布日:2018.09.14
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1