具有减小的饱和电压的竖直沟道半导体器件的制作方法

文档序号:14359534阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及具有减小的饱和电压的竖直沟道半导体器件。一种竖直沟道半导体器件,包括:半导体本体,半导体本体包括:具有第一导电类型的衬底以及具有第二导电类型的前层;第一部分沟槽以及第二部分沟槽;以及在第一和第二部分沟槽内的相应的导电区域和相应的绝缘层。第一和第二部分沟槽横向地界定第一半导体区域和第二半导体区域,第一半导体区域的最大宽度比第二半导体区间的最大宽度更大。器件进一步包括具有第一导电类型的发射极区域,发射极区域在前层中延伸并且包括:完整部分,完整部分在第二半导体区域中延伸;以及环形部分,环形部分在第一半导体区域中延伸。环形部分横向地环绕具有第二导电类型的顶部区域。

技术研发人员:F·G·门塔;S·皮萨诺
受保护的技术使用者:意法半导体股份有限公司
技术研发日:2017.05.26
技术公布日:2018.05.08
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1