技术特征：
技术总结
本发明提供即使在基板载置台的主体产生了变形时也能将升降销的高度位置控制在所期望的位置的基板升降机构、基板载置台和基板处理装置。在等离子体处理装置的处理容器内，设置在基板载置台(3)的载置台主体(5)的多个使基板升降的基板升降机构(8)包括：插通在基板载置台主体(5)的插通孔(5a)中、以相对于基板载置面突出和没入的方式可升降地设置、用其顶端支承基板的升降销(51)；在其内部可升降地支承升降销(51)且对升降销(51)进行引导的升降‑引导部(52)；和对升降销(51)进行升降驱动的驱动部(54)，升降‑引导部(52)和驱动部(54)由载置台主体(5)支承，且不由处理容器(底壁2a)支承。
技术研发人员：伊藤毅
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.06.27
技术公布日：2018.01.05