一种具有金属绝缘体转变功能的器件的制备方法与流程

文档序号:12948270阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种具有金属绝缘体转变功能的器件的制备方法,该方法采用由底电极/高价金属氧化物/顶电极构成的三明治结构器件,该高价金属氧化物中的金属元素是具有多价态的元素,且其低价氧化物具有金属绝缘体转变特性;通过在电场作用下驱动该高价稳定金属氧化物中的氧离子迁移以及微区电退火的方法,在高价金属氧化物体相中形成具有金属绝缘体转变功能的低价金属氧化物,从而制得具有金属绝缘体转变功能的器件。与现有技术相比,该方法简单有效,制得器件的金属绝缘体转变均一、迅速、低能。

技术研发人员:李润伟;薛武红;刘钢
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2017.07.10
技术公布日:2017.11.17
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1