通过插入界面原子单层改进与IV族半导体的金属接触的制作方法

文档序号:13448457阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本公开案提供通过在金属与半导体之间的界面插入V族或III族原子单层,或插入各自由单层形成的双层,或插入多个所述双层,减少金属‑半导体(IV族)结的比接触电阻的技术。所得的低比电阻金属‑IV族半导体结应用为半导体设备中的低电阻电极,所述半导体设备包括电子设备(例如晶体管、二极管等)和光电设备(例如激光器、太阳能电池、光电探测器等),及/或应用为场效应晶体管(FET)中的金属源区及/或金属漏区(或者所述金属源区及/或金属漏区的一部分)。III族原子单层和V族原子单层主要为有序的原子层,所述原子层形成于IV族半导体的表面并与IV族半导体的表面原子化学结合。

技术研发人员:沃尔特·A·哈里森;保罗·A·克利夫顿;安德烈亚斯·戈贝尔;R·斯托克顿·盖恩斯
受保护的技术使用者:阿科恩科技公司
技术研发日:2012.10.18
技术公布日:2018.01.12
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