技术特征：
技术总结
本发明涉及用于蚀刻复合三维结构的压力吹扫蚀刻方法。一种用于蚀刻衬底和去除副产物的方法包括：a)设置处理室的处理参数以用于选择性干法蚀刻处理；b)对于所述选择性干法蚀刻处理，将所述处理室的处理压强设定为在1托至10托的范围内的第一预定压强；c)在第一时间段期间相对于所述处理室中的衬底的第二膜材料选择性地蚀刻所述衬底的第一膜材料；d)将所述处理室中的压强降低到第二预定压强，所述第二预定压强比所述第一预定压强小3/4或者小更多，以及e)在所述第二预定压强下吹扫所述处理室持续第二时间段。
技术研发人员：皮利翁·帕克;乔迪普·古哈
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
技术研发日：2017.07.19
技术公布日：2018.02.06