多层压电陶瓷执行器的制作方法

文档序号:16981645发布日期:2019-02-26 19:39阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明实施例涉及元器件技术领域,具体而言,涉及一种多层压电陶瓷执行器,该多层压电陶瓷执行器包括内部电极、压电陶瓷体、外部电极、柔性电极层、柔性包封层和蒸镀包封层。其中,内部电极交替设置在压电陶瓷体的内部,外部电极设置在压电陶瓷体的外部、并与内部电极电性连接,外部电极互不接触。柔性电极层设置在外部电极的外层。柔性包封层设置在柔性电极层的外层。蒸镀包封层设置在柔性包封层的外层,并将整个压电陶瓷体包裹在内。该多层压电陶瓷执行器通过在压电陶瓷体外层设置的柔性电极层、柔性包封层和蒸镀包封层,能有效防污、防湿等,提高了多层压电陶瓷执行器工作的稳定性和可靠性。

技术研发人员:丁耀民;王晓峰
受保护的技术使用者:苏州攀特电陶科技股份有限公司
技术研发日:2017.08.10
技术公布日:2019.02.26
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