一种1xN型单片集成式半导体主振荡放大器的制作方法

文档序号:17296971发布日期:2019-04-03 04:30阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种1xN型单片集成式半导体主振荡放大器。其中,所述主振荡放大器包括:基于半导体激光器的主振荡器,用于产生基横模和单纵模的种子激光;基于1xN多模干涉耦合器的半导体功率放大器,用于对所述种子激光进行功率放大,并将经过功率放大后的所述种子激光分成多路激光光束输出。本发明提供的1xN型单片集成式半导体主振荡放大器,主振荡器和半导体功率放大器集成在半导体衬底上,主振荡器产生的种子激光通过半导体功率放大器进行功率放大,并在经过功率放大后分成多路激光光束输出,有源区的面积增加,增加了功率放大器的饱和输出功率,降低热效应对器件的影响,能够提高主振荡放大器与光纤的耦合效率。

技术研发人员:李召松;徐洋;王鹏飞;张冶金;于红艳;潘教青;王庆飞;田林岩
受保护的技术使用者:北京万集科技股份有限公司
技术研发日:2017.09.26
技术公布日:2019.04.02
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