一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器及其制备方法与流程

文档序号:13983886阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器及其制备方法,由下至上依次包括衬底、沟道层及共平面波导电极,沟道层的载流子浓度为1×1014~1×1017cm‑3,沟道层的长度为1~10μm,沟道层的载流子浓度与沟道层的长度的乘积N的取值范围为1×1011cm‑2<N<1×1014cm‑2。本发明设计平面结构的耿氏功率放大器,器件具有明显的负微分电阻效应,能够实现微波到太赫兹频率的功率放大。有利于平面耿氏器件作为微波或太赫兹放大器在微波及太赫兹通信、雷达、成像等领域的应用。

技术研发人员:宋爱民;王汉斌;张翼飞;王卿璞
受保护的技术使用者:山东大学
技术研发日:2017.10.31
技术公布日:2018.03.20
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